- •Криовакуумная техника
- •Лекция №1
- •1.1. Понятие о вакууме
- •1.2. Степени вакуума
- •Лекция №2
- •2.1. Вывод уравнения состояния для идеального газа
- •2.2. Законы идеальных газов
- •2.3. Испарение и конденсация
- •2.4. Термины и определения вакуумной техники
- •Лекция №3
- •3.1. Расчетные понятия вакуумной техники
- •3.2. Понятие о процессе откачки газа из вакуумной системы
- •3.3. Режимы течения газа по трубопроводу
- •Лекция №4
- •4.1. Взаимодействие газов с твердыми телами
- •4.2. Основные понятия теории массообмена
- •Лекция №5
- •5.1. Перенос теплоты в вакууме
- •5.2. Вязкость газов
- •Лекция №6
- •6.1. Тепловые нагрузки на криогенные вакуумные насосы
- •6.2. Классификация вакуумных насосов
- •6.3. Области действия вакуумных насосов
- •6.4. Объемные вакуумные насосы
- •6.4.1. Поршневые насосы
- •6.4.2. Жидкостно-кольцевые насосы
- •6.4.3. Роторные вакуумные насосы
- •Лекция №7
- •7.1. Молекулярные вакуумные насосы
- •7.2. Струйные вакуумные насосы
- •Лекция №8
- •8.1. Ионные вакуумные насосы
- •8.2. Испарительные насосы
- •8.3. Криогенные вакуумные насосы
- •Лекция №9
- •8.1. Криоадсорбционные вакуумные насосы
- •8.2. Криоконденсационные вакуумные насосы
- •Лекция №10
- •10.1. Конструкция криоконденсационных насосов
- •10.2. Другие типы сорбционных вакуумных насосов
- •Лекция №11
- •11.1. Техника измерения общего и парциального давлений газа
- •Лекция №12
- •12.1. Специфика измерения вакуума при низких температурах
- •12.2. Герметичность вакуумных систем
- •12.3. Измерение и контроль основных параметров вакуумных насосов
- •Лекция №13
- •13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем
- •13.2. Элементы вакуумных систем
- •13.3. Ловушки
- •Лекция №14
- •14.1. Типовые схемы вакуумных установок
- •Лекция № 15
- •15.1. Методика расчета вакуумных систем
- •Лекция №16
- •16.1. Выполнение принципиальных вакуумных схем
Лекция №5
Конвективная диффузия. Массоотдача.
Конвективной диффузией называется массоперенос, обусловленный перемещением мольных объемов компонентов, составляющих смесь.
Конвективная диффузия всегда сопровождается молекулярной диффузией. Совместный перенос молекулярной и конвективной диффузией называют конвективным массообменном, или массоотдачей.
Процесс массоотдачи i-го компонента в кг описывается уравнением
где – коэффициент массообмена iго компонента, м/с; – массовые концентрации рассматриваемого компонента в единице объема на 2-х изоконцентрационных поверхностях, кг/м3; – площадь изоконцентрационной поверхности, м2; – время процесса, с.
Массоотдача между газовой средой и поверхностью твердого тела
В соответствии с 1-ым законом Фика
,
где – соответственно массовая концентрация i-го компонента у поверхности твердого тела и в объеме среды (газа), кг/м3.
Это уравнение называется уравнением массоотдачи.
Уравнение конвективной диффузии в прямоугольных координатах
В соответствии со 2-ым законом Фика это уравнение для i-го компонента будет иметь следующий вид
(5.1)
где – субстанциональная (полная) производная.
Для стационарных процессов
(5.2)
В (5.1) и (5.2)
–оператор Лапласа.
Уравнение массопереноса при наличии концентрационной диффузии, термодиффузии и бародиффузии
Поскольку тоже, что идля i-го газа это уравнение с учетом (5.1), (4.3) и (4.4) принимает вид
,
где – плотность iго компонента, кг/м3.
Диффузия газов в твердых телах
Механизм проницаемости газа сквозь твердое тело можно представить как процесс растворения газа в материале со стороны высокого давления, диффузии в направлении убывающей концентрации и последующего выделения газа на стороне низкого давления.
Удельным потоком диффузии газа в твердом теле называется количество газа, диффундирующее в единицу времени через единичную площадку в направлении, перпендикулярном этой площадке.
Уравнения для случая диффузии газов в твердых телах имеют вид:
–1-ый закон Фика;
–2-ой закон Фика,
где – удельный поток диффузии газа в твердом теле, кг/(м2·с); – коэффициент диффузии газа в твердом теле, м2/с;
Коэффициент диффузии в твердом теле зависит от температуры твердого тела следующим образом:
,
где – константа диффузии, зависящая от свойств системы «твердое тело – газ»; Ед – энергия активации диффузии для данной системы «твердое тело – газ»; j – коэффициент, зависящий от характера взаимодействия газа с твердым телом, равный единице для систем с молекулярным взаимодействием (неметаллы – газы) и числу атомов в молекуле газов, растворяющихся в твердых телах (обычно металлы); Rунив. – универсальная газовая постоянная; Т – абсолютная температура твердого тела.
Газовыделение из обрабатываемых в вакууме изделий
Общее количество газа м3·Па, выделяющегося из обрабатываемых в вакууме изделий и поступающего в вакуумную систему можно оценить по формуле
где – масса обрабатываемых в вакууме изделий, кг;– удельное газовыделение из материала обрабатываемых изделий, м3·Па/кг (для каждого материала определяется опытным путем).
Поток газов м3·Па/с, поступающих в вакуумную систему рассчитывается из выражения
где – длительность процесса вакуумной обработки, с;– коэффициент неравномерности процесса газовыделения во времени (обычно=1,5…3,0).