Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Физические основы вакуумной техники. Учебное пособие
.pdf
Измерение давления на линейных шкалах
Переключатели установить в следующие положения:
– «ИЗМЕРЕНИЕ – ОБЕЗГАЖИВАНИЕ» – в положение «ИЗМЕ-
РЕНИЕ»;
– «ШКАЛЫ» – в положение «ЛИНЕЙНАЯ»;
– «МНОЖИТЕЛЬ ШКАЛЫ» – в положение «10
–6
/К2» (ИМ-12);
«10
–5
/К1» (МИ-27) или
– «ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА НУЛЯ» – в положение «УСТА-
НОВКА НУЛЯ»;
– «ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ» – в положе-
ние «УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ».
Включить тумблер «СЕТЬ».
Установить стрелку измерительного прибора на отметку «5» линейной шкалы (ручкой «УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ». После
прогрева (30 мин) перевести переключатель в положение «ИЗМЕРЕНИЕ».
Установить нуль на стрелочном приборе
резистором «УСТАНОВ-
КА НУЛЯ».
Установить переключатель «МНОЖИТЕЛЬ ШКАЛЫ» в положение, удобное для отсчета показаний стрелочного прибора.
Установить переключатель «ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА НУЛЯ»
в положение «ИЗМЕРЕНИЕ».
Величина давления Р определяется по формуле
P = I/K, мм рт. ст., (ПБ.2)
где I – ток в амперах, равный произведению отсчета по шкале прибора
на соответствующий множитель
А/мм рт. ст. Для МИ-27 – K
Пример. При работе с МИ-27 переключатель «МНОЖИТЕЛЬ
ШКАЛЫ» находится в положении 10
лений.
Давление в объеме Р = 8× 10
; K – постоянная преобразователя в
= 4 · 10–1, для ИМ-12 K2 = 2.5 · 10–2.
1
–6
/K1, показание прибора – 8 де-
-6
А/ 4 10-1 мм рт. ст/А = 2×10–5 мм рт. ст.
Измерение давления на логарифмических шкалах
Переключатели установить в следующие положения:
– «ИЗМЕРЕНИЕ – ОБЕЗГАЖИВАНИЕ» – в положение «ИЗМЕ-
РЕНИЕ»;
– «ШКАЛЫ ПРИБОРА» – в положение «ЛИНЕЙНАЯ»;
– «МНОЖИТЕЛЬ ШКАЛЫ» – в положение 10
81
–1
/K2;
– «ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ» – в положе-
ние «УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ»;
«ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА НУЛЯ» – в положение «УСТА-
НОВКА НУЛЯ».
Включить тумблер в сеть.
После прогрева прибора установить тумблер «ИЗМЕРЕНИЕ –
УСТАНОВКА ТОКА ЭМИССИИ» – в положение «ИЗМЕРЕНИЕ».
Установить нуль на приборе резистором «УСТАНОВКА НУЛЯ».
Перевести переключатель «МНОЖИТЕЛЬ ШКАЛЫ» в положение
–6
/K
10
2.
Установить пепеключатель «ШКАЛЫ ПРИБОРА» в положение (I)
или (II) (в зависимости от давления в системе), тумблер «ИЗМЕРЕНИЕ – УСТАНОВКА НУЛЯ» – в положение «ИЗМЕРЕНИЕ».
Отсчет давления производится непосредственно по шкале прибора,
мм рт. ст.
Калибровка логарифмических шкал производится резистором
«КАЛИБРОВКА ЛОГАРИФМИЧЕСКИХ ШКАЛ» по давлению, измеренному по линейной шкале прибора.
Работа на логарифмических
шкалах возможна только с преобра-
зователем МИ-27.
2.2. Магниторазрядные преобразователи
Используемые в работе вакуумметры предназначены для управления устройствами автоматики в вакуумных системах и измерения давления в диапазоне:
ВМБ-8 – 1,3×10
–6
–1
10
…10
Па. В качестве манометрического преобразователя в вакуумметрах используются инверсно-магнетронные датчики ПММ-32-1
(ВМБ-8, ВМБ1-2) и ПММ-46 (ВМБ-1/8-001).
Для измерения низких давлений преобразователи после присоединения к вакуумной системе обезгаживаются (обычно совместного с
установкой) термическим нагревом внешним нагревателем при давлениях в объеме не выше 10
ратура прогрева для ПММ-46 не выше 720 К, ПММ-32-1 – 620 К.
-7
+ 1.3Па: ВМБ-1/8-001 – 10–8…10
–3
Па в течение не менее трех часов. Темпе-
–1
Па, ВМБ1-2 –
82
Порядок работы
ВМБ-1/8-001
1. Включить кнопку СЕТЬ И НАКАЛ. После прогрева анода датчика прямым пропусканием тока в течение 30 мин отключить HAKAЛ
(давление в системе – ниже 10–4 Па). Операция проводится после длительной разгерметизации объема.
2. Дать остыть преобразователю до температуры не более 320 К и
произвести измерения.
ВМБ-8
1. Установить тумблеры КАЛИБР-ИЗМЕР в положение ИЗМЕР.,
АВТОМАТ.-РУЧН. в положение РУЧН.
2. Включить тумблер СЕТЬ и прогревать прибор 30 мин.
3. Потенциометром УСТАНОВКА НУЛЯ установить ноль на шка-
ле прибора.
Для определения давления воспользоваться градуировочной кри-
вой (рис. ПБ.3).
Рис. ПБ.3. Градуировочная характеристика
преобразователя ПММ 32
83
Беркин Александр Борисович
Василевский Александр Иванович
ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие
Редактор Л.Н. Ветчакова
Выпускающий редактор И.П. Брованова
Дизайн обложки А.В. Ладыжская
___________________________________________________________________________________
Подписано в печать 25.03.2014. Формат 60 × 84 1/16. Бумага офсетная. Тираж 100 экз.
Уч.-изд. л. 4,88. Печ. л. 5,25. Изд. № 336/ 13. Заказ № Цена договорная
___________________________________________________________________________________
Новосибирского государственного
Компьютерная верстка Л.А. Веселовская
Отпечатано в типографии
технического университета
630073, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20
84
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]