Расчёт и проектирование топологии элементов КМДП СБИС. Практикум

Необходимо задать требуемую высоту контурного текста. Минимальная высота равна 5 мкм, расстояние между строками при данной высоте текста 1.4 мкм. Если Вас устраивает заданная высота, необходимо нажать клавишу <Enter>. При задании новой высоты контурного текста расстояние между строками увеличивается пропорционально высоте.

После этого в строке с подсказкой:

необходимо набрать вводимый текст и нажать клавишу <Enter>, после чего заданный текст будет прорисован на экране, и можно будет вводить следующую строку.

Если вы вводите пустую строку или отказываетесь от ввода текста по команде <Esc>, редактор ожидает новой точки привязки контурного текста.

В строке текста могут быть использованы буквы русского и латинского алфавитов, строчные и прописные буквы, цифры, служебные символы.

Действия с символами контурного текста аналогичны действиям с фигурами, т.е. их можно деформировать, модифицировать, копировать, сдвигать и т.д.

Символы контурного текста появляются в активных слоях.

4.3.11. Ввод векторного текста

Режим ввода векторного текста инициализируется нажатием клавиш

<Alt T>.

Для ввода векторного текста необходимо указать точку привязки текста и необходимую ориентацию. После этого в строке подсказки светится запрос:

Это масштабный коэффициент для высоты векторного текста. При высоте 1 размер буквы составляет 1.6×2.4 мкм и расстояние между строками 0.8 мкм.

Если Вас устраивает заданная высота, необходимо нажать клавишу <Enter>. При задании нового масштабного коэффициента для высоты векторного текста размер буквы и расстояние между строками увеличивается пропорционально высоте.

После этого в строке с подсказкой:

Необходимо набрать вводимый текст и нажать клавишу <Enter>, после чего заданный текст будет прорисован на экране, и можно будет вводить следующую строку.

Если вы вводите пустую строку или отказываетесь от ввода текста по команде «Esc», редактор ожидает новой точки привязки векторного текста.

- 31 -

После нажатия клавиши <N> на клавиатуре дисплея, следует ввести имя ссылки:

Идентифицируются все библиотечные элементы с заданным именем

TEST.

При вводе имени ссылки допускается использование знаков «*» и «?». Например, при заказе имени:

Имя: T* – будут отобраны все ссылки, имена которых начинаются с бук-

вы T.

Имя: T?1 – будут отобраны все ссылки, имена которых состоят из трех символов имеют первую букву «T» и последнюю «1».

Программа снова находится в режиме ожидания управляющего ключа. Ключи <R>, <Y> и <X> изменяют соответственно ориентацию, Y и X- компоненты точки привязки ссылки. Управляющий ключ <Enter> в режиме ожидания вызывает отбор всех ссылок, соответствующих данной строке заказа и переход к очередной начальной строке заказа:

Если не был задан ни один из параметров, то отбираются все ссылки. Выход из команды «Идентификация ссылок» осуществляется подачей

управляющего ключа <P> после перехода к очередной начальной строке заказа или команды <Esc>.

4.5. Команды редактирования

4.5.1. Удаление

Команда стирает идентифицированные фигуры в активных слоях. Инициируется нажатием клавиши <Delete>. После этого в строке подсказки появляется запрос:

Для удаления отобранных фигур в активных слоях необходимо нажать клавишу <1>. Для удаления отобранных фигур во всех слоях необходимо нажать клавишу <2>.

4.5.2. Сохранение

Команда сохраняет идентифицированные фигуры в активном слое, все остальные фигуры удаляются. Инициируется нажатием клавиши <*> на цифровой клавиатуре. После этого в строке подсказки появляется запрос:

- 33 -

Для сохранения отобранных фигур в активных слоях необходимо нажать клавишу <1>. Для сохранения отобранных фигур во всех слоях необходимо нажать клавишу <2>.

4.5.3. Копия

«Копия» – копирует, с изменением ориентации, отобранные фигуры, находящиеся в активных слоях.

Необходимо инициировать режим «Копия», нажав клавишу <R> . После этого на экране светится запрос:

Для копирования фигур, находящихся в активных слоях, необходимо нажать <1>.

После этого необходимо одним из способов отобрать реперную точку (она должна быть либо точкой излома любой из фигур, либо любой точкой чертежа, в зависимости от установленного способа отбора реперной точки), и указывая точки привязки, копировать отобранные фигуры. Фигура копируется после указания ориентации, далее можно отмечать новую точку привязки копируемой фигуры. По окончании копирования нажать клавишу <Esc>. Команда также может быть использована для получения копий элементов в других слоях.

Для этого в режиме «Копия» необходимо подать команду «Активные слои». На экране появится запрос:

Необходимо указать номер слоя, в который будут копировать все отобранные фигуры из всех активных слоев. Заданный копируемый слой светится желтым цветом в колонке «Активные и видимые слои».

При копировании фигур сразу в нескольких активных слоях, происходит копирование всех отобранных фигур в выбранный слой.

Для копирования сложных структур необходимо пользоваться командой «Груп.копия».

Возможно копирование сколько угодно раз. По окончании копирования нажать клавишу <Esc>.

4.5.3.1. Групповая копия

«Групповая копия» – команда аналогична команде «Копия». Копируются все идентифицированные фигуры, независимо от заданных активных слоев.

- 34 -

указания точек определяет направление деформации (сжатие или растяжение). Если в область попала вся фигура, то она просто передвигается.

Команду «Деформ.» можно применять для прямоугольников, шин, многоугольников.

4.5.5.1. Групповая деформация

Команда аналогична команде «Деформ.», модифицирует геометрию фигур вне зависимости от заданных активных слоев.

4.5.6. Модификация

Команда удаляет один или несколько последовательных отрезков многоугольника с последующим продолжением описания его в режиме PGRED.

С помощью команды «Модиф.» можно изменять конфигурацию многоугольника, шины, прямоугольника.

Модификацию фигуры можно производить только в одном активном

слое.

Инициируется команда нажатием клавиши <F9>. После этого необходимо выбрать фигуру, которая будет модифицирована. Контур фигуры после отбора будет отображен белым цветом. Дальше необходимо последовательно указать удаляемую сторону и конечную точку отрезка, с которого будет производиться модификация фигуры. В этой точке появятся разрешенные направления построения фигуры и после этого все действия аналогичны действиям при работе в режиме «Полигон».

Завершается модификация фигуры подачей команды <Esc>, при которой производится контроль фигуры на соответствие требованиям, предъявляемым к полигону, и новый контур включается в топологию.

Если модификация произведена неправильно, то до нажатия клавиши <Esc> можно воспользоваться командой «Отмена», и на экране восстановится старый контур фигуры.

После проведения модификации одной фигуры можно, используя ту же последовательность действий, проводить модификацию следующей фигуры.

4.6. Команды создания и редактирования библиотечных элементов

Если фрагмент топологии неоднократно повторяется на топологическом чертеже, то целесообразно описать его один раз (в режиме PGRED) и затем использовать как элемент библиотеки, помещая его в заданную точку привязки формируемого изображения в нужной ориентации. Файл, описывающий фрагмент изображения, принимает свойства элемента библиотеки лишь тогда, когда вызов его осуществляется по командам «Ссылка» или «Итерация».

Символьное обозначение элементов библиотеки (ячеек) образует отдельный слой – слой «C».

Если библиотечные элементы встречаются в нескольких топологических чертежах, можно из них сформировать каталог библиотечных элементов. Для того, чтобы эти библиотечные элементы прорисовывались на экране, необхо-

- 36 -

димо данный каталог указать во второй строке файла CONFIG.GRD, который имеет вид:

Данный файл должен быть помещен в текущем каталоге или в каталоге

\PAROM\.

4.6.1. Ссылка

Для вызова и размещения элемента библиотеки необходимо нажать клавишу <C> на клавиатуре и задать имя элемента, указать точку привязки элемента библиотеки и его ориентацию клавишей <Enter> и в этих точках появится символ библиотечного элемента, если слой «C» входит в список наблюдаемых слоев. По окончании указания точек привязки нажать клавишу <Esc>.

Чтобы отменить выполнение команды «Ссылка» необходимо нажать клавишу <Esc> после задания имени файла.

4.6.2. Итерация

Итерация (формирование матрицы идентичных компонентов) с заданным шагом. При вызове команды клавишей <I>, имеем на экране дисплея:

Для задания шага мультипликаций DY и DX по осям Y и X соответственно, надо указать начало мультипликации – точку А, и вторую точку – точку B по клавише <Enter> и на экране будем иметь:

–символьное обозначение мультиплицируемых элементов;

–символьное обозначение начала мультипликации.

После указания точки A, клавишей <Enter> указываем необходимую ориентацию.

С матрицей итераций можно манипулировать как с единым элементом, указание которого (по командам «Отбор» или «Область») осуществляется через символьный признак всей мультипликации, если слой «C» есть в списке активных слоев.

4.6.3. Развернуть ссылку

Команда «Разв.эб» развертывает отобранный по «Отбор» или «Область» элемент библиотеки. После нажатия клавиши <+> на цифровой клавиатуре на экране выводится следующие сообщение:

- 37 -

Если слой «C» содержится в списке наблюдаемых слоев, на экран выводится полное изображение элемента библиотеки с символом элемента библиотеки (эб) в точке привязки. Чтобы раскрыть на экране изображение мультипликации, надо отобрать символ мультипликации.

4.6.4. Свернуть ссылку

Свертывает раскрытый элемент библиотеки (мультипликацию) до уровня символьного обозначения фрагментов (мультипликации), т.е. эта команда обратна команде «Разв.эб». После нажатия клавиши <–> на цифровой клавиатуре на экране выводится следующие сообщение:

Если слой «C» содержится в списке наблюдаемых слоев, на экран выводится изображение символа элемента библиотеки (эб) в точке привязки.

4.6.5. Раскрыть ячейку

Команда «Раск.эб» раскрывает выбранный элемент библиотеки (эб) символьного признака обозначения элемента и данный элемент библиотеки становится обычным фрагментом изображения формируемого файла, над частями которого можно выполнить команды графического редактирования.

Если применить команду «Раск.эб» к мультипликации, то мультипликация раскрывается до уровня символьных обозначений элементов (т.е. признак

«+» заменяется на « » на экране и каждый элемент мультипликации становится независимым элементом, т.е. таким, каким он был бы, если бы мы его задали как отдельный элемент библиотеки (эб) по команде «Ссылка»).

После нажатия клавиши <O> на экране появляется запрос:

Если мы хотим раскрыть именно этот элемент библиотеки (эб), необходимо нажать клавишу <Y>. При отборе нескольких библиотечных элементов аналогичное сообщение появляется для каждого элемента библиотеки (эб). Таким образом, существует возможность из нескольких элементов библиотеки (эб), посаженных в одну точку, раскрыть только нужные.

4.6.6. Модификация ссылки

Команда «Мод.эб» изменяет имя, ориентацию и точку привязки элемента библиотеки, отобранного по «Отбор» или «Область».

При отборе нескольких элементов библиотек (эб) можно модифицировать любой из них. При инициировании команды по <L> на экране появляется надпись:

- 38 -

Если модификация данного элемента библиотеки (эб) не требуется, нажать клавишу <Enter>.Для изменения параметров элемента библиотеки (эб) необходимо нажать, соответственно, клавиши:

<N> – для изменения имени,

<P> – для изменения ориентации, <Y> – для изменения координаты Y, <X> – для изменения координаты X,

произвести необходимые изменения и нажать <Enter>.

4.6.7. Активизация ссылки

Команда раскрывает выбранный элемент библиотеки, который временно становится доступным для редактирования.

Инициируется команда нажатием клавиши <=> на основной клавиатуре. После активизации команды на экране появляется запрос:

При нажатии <Y> на экране появляется изображение активированного элемента библиотеки и он доступен для редактирования.

ВНИМАНИЕ !!!

Активировать можно библиотечный элемент любого уровня вложенности путем последовательного доступа через файлы, в которые он вложен.

После внесения корректировок в активированный файл его нужно СОХРАНИТЬ по команде «Файл» (<F>).

4.6.8. Переход между двумя активированными ссылками

В режиме «Активизация ссылки» можно одновременно корректировать и активированную ссылку, и файл, в который эта ссылка вложена. Для перехода из активированной ссылки в файл и из файла в активированную ссылку необходимо нажать клавишу <M>.

При этом в левом верхнем углу экрана подсвечивается имя файла, который в данный момент доступен для редактирования.

4.6.9. Возврат к предыдущей активированной ссылке

Если вы, используя команду «Активизация ссылки», активировали ссылку третьего уровня и выше, то для возврата в исходный файл необходимо воспользоваться последовательным использованием команды: «Возврат к предыдущей активированной ссылке», которая инициируется нажатием клавиши <]>.

- 39 -

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

УЧЕБНЫЙ ФРАГМЕНТ ПРАВИЛ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ DC3L2P1M для CMOS БИС

1. Топологические ограничения

-Min ширина активной области (AO) – 3 мкм;

-Min расстояние между двумя АО одного типа – 3 мкм;

-Min ширина диффузионной области N+(P+) типа, образованной толстым окислом - 3 мкм;

-Min ширина диффузионной области N+(P+) типа, образованной этой областью - 3 мкм;

-Min перекрытие АО областью N+-типа (или Р+-типа) - 1,5 мкм;

-Min перекрытие области N+-типа областью кармана Р-типа - 3,5 мкм;

-Min расстояние между АО Р+-типа и карманом Р-типа - 12 мкм;

-Ширина стороны контактного окна (КО1) - 3 мкм;

-Min расстояние между двумя КО1 к одной области - 3 мкм;

-Min перекрытие КО1 к АО N+-типа этой областью - 4 мкм;

-Min перекрытие КО1 к АО Р+-типа этой областью - 2 мкм;

-Min ширина шины поликремния 1-го уровня (poly-Si1) - 3 мкм;

-Min топологическая длина канала N-канального транзистора – 3,5 мкм;

-Min топологическая длина канала Р-канального транзистора – 4,5 мкм;

-Min расстояние между двумя шинами poly-Si1– 3,5 мкм;

-Min перекрытие poly-Si затвором АО - 4 мкм;

-Min расстояние между poly-Si1, лежащем на толстом окисле и краем АО - 2 мкм;

-Min перекрытие КО1 к poly-Si1 этим poly-Si1 - 3 мкм;

-Min ширина шины поликремния 2-го уровня (poly-Si2) - 3 мкм;

-Min перекрытие КО1 к poly-Si2 этим poly-Si2 - 4 мкм;

-Min ширина шины МЕ1 - 5 мкм;

-Min расстояние между двумя шинами МЕ1 - 3 мкм;

-Min перекрытие КО1 шиной МЕ1 - 2 мкм;

-Min ширина шины МЕ2 - 7 мкм;

-Min расстояние между двумя шинами МЕ2 - 3 мкм;

-Min перекрытие КО2 шиной МЕ1 – 4 мкм;

-Min перекрытие КО2 шиной МЕ2 – 3 мкм;

-Min расстояние между краем КО1 к poly-SI1 и рядом лежащим

poly-SI2 - 3,5 мкм;

-Min расстояние между краем КО1 к АО и рядом лежащим poly-SI затвором - 3,0 мкм;

-Min перекрытие КО1 к АО, выполняющего контакт к карману Р-типа, этой АО - 2 мкм;

-Min перекрытие любой АО, расположенной в кармане Р-типа, этим карманом - 5 мкм.

-40 -