Расчёт и проектирование топологии элементов КМДП СБИС. Практикум
.pdf
Примечание:
в тексте документа использованы следующие обозначения:
< > – в таких скобках указывается обозначение клавиши клавиатуры
ЭВМ;
« » – в кавычках указывается команда состояния графического ввода; <КЛ_X> – Х – клавиша графического манипулятора «Мышь». При ис-
пользовании 3-клавишного манипулятора «Мышь»: <КЛ_Л> – левая клавиша, <КЛ_С> – средняя клавиша, <КЛ_П> – правая клавиша.
При работе в режиме графического ввода курсор перемещается по экрану скачкообразно – по узлам сетки.
4. Команды графического редактора
4.1. Служебные команды
4.1.1. Сетка 1, Сетка 2, Сетка 3
Команды инициируются нажатием клавиш <1>, <2>, <3> для сеток 1, 2, 3 соответственно на основной клавиатуре и осуществляет переход на соответствующую сетку.
4.1.2. Заказ нового значения сетки
Если в процессе редактирования Вы хотите изменить шаг сетки, необходимо нажать клавишу <G>.
На экране появляется запрос:
Редактор ожидает номер сетки, значение которой будет изменено (номер сетки от 1 до 3).
После этого вводится новое значение сетки в пределах от 0 до 30000.
4.1.3. Привязка шага маркера к центру увеличения
Команда инициируется нажатием клавиши <\> на основной клавиатуре. При этом в строке подсказки появляется запрос:
Значение шага маркера задается в пределах от 1 до 4. Эта величина задает степень увеличения шага маркера при использовании команды «Центр увеличения». При задании 1 шаг маркера после команды «Центр увеличения» станет равным примерно 1.5 мм, 2 – примерно 3.0 мм, 3 – примерно 6.0 мм и при задании 4 – примерно 9.0 мм.
- 21 -
4.1.4. Шкала
Команда «Шкала» воспроизводит на экране сетку в виде точек с расстоянием между точками, равным текущему значению сетки.
Повторная подача команды «Шкала» стирает сетку с экрана. Команда подается нажатием клавиши <F3>.
4.1.5. Регенерация
Команда обновляет (регенерирует) изображение на экране. Команда подается нажатием клавиши <F2>.
4.1.6. Используемые слои
Используемые слои – это слои, в которых уже есть информация в виде фигур.
Если в процессе редактирования вы хотите занести контур фигуры в новый слой, необходимо сначала выбрать этот слой как используемый. Используемые слои выводятся на экран в столбце «Активные и видимые слои» при выборе активных или видимых слоев. Если слой неактивный и невидим, то номер слоя светится серым цветом.
Для заказа используемых слоев необходимо нажать клавишу <U>. При этом происходит инициализация режима «Используемые слои», и в правом столбце экрана выводится таблица из 98 слоев, слоя текста и слоя библиотек. При этом все слои светятся серым цветом, а слои, используемые в данном сеансе редактирования, обведены прямоугольником с цветом и типом линии, которыми отображаются фигуры данного слоя.
Выбор используемых слоев производится по следующей схеме:
–подводится маркер к слою, который вы хотите выбрать;
–для выбора слоя нажимается клавиша <Ins>. Признак «Используемый слой» убирается только после записи и повторном входе в редактор, если в данном слое нет фигур. Если все используемые слои не помещаются на страницу, можно перелистнуть страницу при помощи клавиши <PgDn>.
Выход из режима по клавише <Esc>.
4.1.7. Видимые слои
Видимые слои – это слои, информация из которых отображается на экране. Если слой видим, то в таблице «Активные и видимые слои» данный слой обведен прямоугольником с цветом и типом линии, которыми отображается данный слой.
Для заказа видимых слоев необходимо нажать клавишу <V>. При этом происходит инициализация режима «Видимые слои». Выбор видимых слоев производится из используемых слоев в таблице «Активные и видимые слои» в
- 22 -
правой колонке экрана. Видимые слои обведены прямоугольником с цветом и типом линии, которыми отображается данный слой.
Выбор видимых слоев производится по следующей схеме:
–подводится маркер к слою, который вы хотите выбрать;
–для выбора слоя нажимается клавиша <Ins>. Если слой уже был видимым, признак видимости убирается. Если все используемые слои не помещаются на страницу, можно перелистнуть страницу при помощи клавиши <PgDn>. Количество видимых слоев, заданных одновременно, не ограничивается.
Выход из режима по клавише <Esc>.
4.1.8. Активные слои.
Активные слои – это слои, в которые заносится контур фигуры. Для заказа активных слоев необходимо нажать клавишу <A>. При этом происходит инициализация режима «Активные слои».
Выбор активных слоев производится из используемых слоев в таблице «Активные и видимые слои» в правой колонке экрана. Активные слои светятся красным цветом. Выбор активных слоев производится по следующей схеме:
1.подводится маркер к слою, который вы хотите выбрать;
2.для выбора слоя нажимается клавиша <Ins>. Если слой уже был активным, признак активности убирается. Если все используемые слои не помещаются на страницу, можно перелистнуть страницу при помощи клавиши <PgDn>. Количество активных слоев, заданных одновременно, не ограничивается.
Выход из режима по клавише <Esc>.
4.1.9. Установка цвета слоев
В процессе редактирования можно изменить цвет отображаемых слоев. Для заказа цвета слоев необходимо нажать клавишу <F5>. При этом про-
исходит выход в режим «Слои».
Маркер находится в столбце с информацией о слоях.
Внизу под столбцом светится увеличенный закрашенный квадрат с цветом, которым отображается данный слой. Подводя маркер к нужному номеру слоя, и, просматривая по клавише <PgUp> различные цвета, можно выбрать необходимый цвет для данного слоя.
Выход из режима по клавише <Esc>.
Данная команда может использоваться как самостоятельная (в этом случае изменить цвет можно только у активных и видимых слоев), так и с любой из команд «Активные слои», «Видимые слои», «Используемые слои».
4.1.10. Установка типа линии
В процессе редактирования можно изменить тип линии для отображаемых слоев.
Для заказа типа линии отображаемых слоев необходимо нажать клавишу
<F6>.
- 23 -
При этом происходит выход в режим «Слои». Маркер находится в столбце с информацией о слоях.
Внизу под столбцом светится увеличенная линия цвета и типа, которым отображается данный слой. Подводя маркер к нужному слою и просматривая по клавише <PgUp> различные линии, можно выбрать необходимый тип для данного слоя.
Выход из режима по клавише <Esc>.
Данная команда может использоваться как самостоятельная (в этом случае изменить тип линии можно только у активных и видимых слоев), так и с любой из команд «Активные слои», «Видимые слои», «Используемые слои».
4.1.11. Счетчик
«Счетчик» – команда предназначена для измерения расстояния между двумя отмеченными точками.
Команда инициируется нажатием клавиши <0> на основной клавиатуре. Клавишей <Enter> отмечаем две точки, расстояние между которыми мы хотим определить.
После ввода первой точки на экране появляется «Резиновая нить», показывающая начало и конец отрезка.
После ввода второй точки на экране появляется:
По команде «Счетчик» можно измерять расстояние при любой инициированной команде редактирования и построения фигур. По окончании измерения нажать клавишу <Esc>.
4.1.12.Смена режима ввода шины и полигона. Точный
иприближенный ввод
Многоугольник и шину можно строить точно и приближенно. Если фигуру можно построить приближенно, нажимаем клавишу <H>. В этом случае максимальный угол отклонения вводимой точки от указанных разрешенных направлений составляет 22.5 градусов.
В зоне подсказки на экране рядом с текущим значением сетки светится белая буква <Т> – если используется точный ввод фигуры, и <П> – если ввод фигуры приближенный.
4.1.13.Смена способа отбора реперной точки при операциях сдвига
икопирования
При операциях сдвига и копирования возможно два способа отбора реперной точки:
–точка должна являться точкой излома одной из фигур, отобранных для сдвига и копирования. В этом случае при отборе реперной включается команда «Область», на экране после ввода первой точки появляется
-24 -
«Резиновый» прямоугольник. Необходимо областью указать точку излома одной из фигур, подлежащих сдвигу или копированию;
–точка может не являться точкой излома фигуры и может находиться в любом месте чертежа. В этом случае для отбора реперной точки необходимо просто указать точку в нужном месте топологии.
При входе в редактор инициирован второй способ отбора реперной точки. Для смены способа отбора реперной точки необходимо нажать клавишу <[>.
4.1.14. Возврат
В процессе описания многоугольника и шины (до нажатия клавиши <Esc>) можно вернуться на шаг назад по команде «Возврат» (клавиша <~>).
Команда «Возврат» может применяться несколько раз вплоть до возврата в начальную точку описываемой фигуры.
4.1.15. Отмена в режиме ввода фигур.
Если при вводе фигуры, при отборе фигуры или при другом активном режиме редактирования Вы хотите отказаться от данного режима, пользуйтесь командой «Отмена».
Команда инициируется нажатием клавиши </>.
4.1.16. Запись файла
Команда записи файла происходит при нажатии клавиши <F>. При этом на экране появляется запрос:
Нажатие клавиши <Q> осуществляет выход без сохранения. Для сохранения нажать клавишу <S>.
При этом на экране появляется запрос:
Если данное имя схемы устраивает, необходимо нажать <Enter>, в противном случае необходимо задать новое имя схемы.
4.1.17. Выход из задачи без записи
Для экстренного выхода из задачи без записи результатов сеанса редактирования используется клавиша <F10>.
4.2. Команды управления изображением
Эта группа команд предназначена для управления изображением на экране (сдвиг, увеличение или уменьшение масштаба, центрирование и т.д.) без активного изменения реального изображения фрагментов топологии.
- 25 -
4.2.1. Центр
Команда «Центр» центрирует фрагмент изображения на экране, в точке, которая предварительно указывается клавишей <Enter>.
Команда «Центр» используется для эффективного использования поля экрана.
Инициируется нажатием клавиши <Пробел>.
4.2.2. Центр увеличения
Команда «Центр.у» аналогична действию команды «Центр». Изображение центрируется в точке, предварительно указанной клавишей <Enter> и увеличивается до масштаба, при котором становится различим шаг маркера при текущем значении сетки. Величина шага маркера задается по команде: «Шаг маркера» (в пределах от 1 до 4).
При повторном использовании команды «Центр увеличения» изображение возвращается в координаты, из которых была подана команда первый раз.
4.2.3. Окно увеличения
По действию команда аналогична команде «Центр увеличения» и также используется для быстрого выхода в определенную зону топологии.
4.2.4. Сдвиг изображения
«Сдв.из.» – команда, позволяющая передвигать изображение на экране в восьми направлениях. За один раз можно максимально передвинуть изображение на величину, равную 6/4 частям экрана.
При инициировании команды, в центре экрана высвечивается подсказка в виде ортогональных осей, разделенных на 6 частей, шаг маркера автоматически становится равным 1/4 части оси.
Далее отмечаем клавишей <Enter> направление и величину сдвига, и изображение сдвигается.
4.2.5. Увеличение изображения
Команда увеличивает масштаб изображения на экране равномерно во все стороны. Многократное последовательное использование команды «Увел.» позволяет увеличить изображение в 3000 раз относительно минимального.
4.2.6. Уменьшение изображения
Команда «Уменьш.» уменьшает масштаб изображения на экране.
4.3. Команды ввода фигур
В редакторе имеются команды ввода следующих фигур:
прямоугольник; наклонный прямоугольник под углом 45 градусов и под любым углом; шина; жгут; круг; кольцо; контурный текст; векторный текст; экспозиция.
- 26 -
Ввод фигур осуществляется одновременно во всех активных слоях. В процессе ввода фигур производится их контроль на минимальную ширину. Если ширина фигуры оказывается меньше допустимой для данного слоя, то выдается диагностическое сообщение, но ввод фигуры разрешается. Если же минимальная ширина фигуры меньше 0,4 мкм, то ввод такой фигуры не разрешается.
Для исправления ошибочных действий во время ввода фигур можно пользоваться командой «Отмена» (клавиша </>) или «Возврат» (<~>).
Описание фигур элементов топологии производится указанием (клавишей <КЛ_Л>) характерных точек фигуры, определяющих ее геометрию. Процесс описания элементов топологии может быть отменен по команде «Отмена» или любой другой команде редактирования элемента (типа «Сдвиг», «Удалить» и т.д.). При построении многоугольника и шины на экране высвечивается подсказка разрешенных направлений построения этих фигур.
Многоугольник и шину можно строить точно и приближенно. Если фигуру можно построить приближенно, нажимаем клавишу <H>. Максимальный угол отклонения указываемой точки от указанных разрешенных направлений составляет 22,5 градусов.
Для построения фигур с автоматическим упреждением размеров служит режим автоупреждения. Он применяется при построении шины, полигона и прямоугольника. Ключом режима автоупреждения является символ <'>. Размер упреждения задается по МИНИМАЛЬНОМУ ВНЕШНЕМУ РАССТОЯНИЮ (клавиша <E>) в таблице «Слой-расстояние». Величина автоупреждения задается на сторону. При повторном нажатии клавиши <'> получаем выключение автоупреждения.
4.3.1. Ввод прямоугольника
Инициализация команды ввода прямоугольников осуществляется нажатием клавиши <0> на цифровой клавиатуре.
После инициализации необходимо установить курсор в точку, где должна находиться вершина прямоугольника, и дать команду «Enter» (клавиша <КЛ_Л>). При этом возникает курсор типа «Резиновый прямоугольник», у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. После этого необходимо установить курсор в точку на противоположном конце диагонали прямоугольника и повторить команду «Enter». После ввода второй точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы и на экране сразу появится изображение прямоугольника.
После ввода второй точки прямоугольника редактор ожидает ввода первой точки нового прямоугольника (т.е. функция ввода прямоугольников остается инициализированной).
4.3.2. Ввод наклонного прямоугольника под углом 45 градусов
Инициализация функции ввода наклонного прямоугольника осуществляется нажатием клавиши <1> на цифровой клавиатуре.
- 27 -
Допускается ввод наклонных прямоугольников только наклоненных под углом 45 градусов.
После инициализации необходимо установить курсор в точку, где должна находиться вершина наклонного прямоугольника, и дать команду «Enter» (клавиша <КЛ_Л>). При этом возникает курсор типа «Резиновый наклонный прямоугольник», у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. После этого необходимо установить курсор в точку на противоположном конце диагонали наклонного прямоугольника и повторить команду «Enter». После ввода второй точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы и на экране сразу появится изображение прямоугольника.
После ввода второй точки наклонного прямоугольника редактор ожидает ввода первой точки нового наклонного прямоугольника (т.е. функция ввода прямоугольников остается инициализированной).
4.3.3. Ввод наклонного прямоугольника под любым углом
Инициализация функции ввода наклонного прямоугольника осуществляется нажатием клавиши <End> на дополнительной клавиатуре.
После инициализации необходимо установить курсор в точку, где должна находиться вершина наклонного прямоугольника, и дать команду «Enter» (клавиша <КЛ_Л>). При этом возникает курсор типа «Резиновая нить» у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. Необходимо указать ширину прямоугольника (вторую точку) и после этого возникает курсор типа «Резиновый наклонный прямоугольник», у которого один угол зафиксирован в положении первой точки, второй – в положении второй точки.
После ввода третьей точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы и на экране сразу появится изображение прямоугольника.
После ввода третьей точки наклонного прямоугольника редактор ожидает ввода первой точки нового наклонного прямоугольника (т.е. функция ввода прямоугольников остается инициализированной).
4.3.4. Ввод полигона
Для ввода полигона надо указать все точки – вершины полигона. Инициализация функции ввода полигона осуществляется нажатием кла-
виши <3> на цифровой клавиатуре.
После инициализации необходимо установить курсор в точку, где должна находиться одна из вершин полигона, и дать команду «Enter» (клавиша <КЛ_Л>). На месте введенной точки появятся разрешенные направления построения сторон.
После этого необходимо, последовательно устанавливая курсор в точки - вершины полигона, указать все вершины (командой «Enter»). Последняя вершина должна совпадать с первой (т.е. первая вершина указывается дважды - вначале и в конце), или лежать на одной прямой.
- 28 -
Закончить ввод вершин полигона необходимо командой «Esc» (клавиша <КЛ_П>), после этого полигон будет проверен на отсутствие острых углов и пересечение сторон в теле фигуры.
Если полигон им удовлетворяет, то он включается в топологию редактируемой группы, если нет, то выдается диагностическое сообщение. Необходимо, пользуясь командой «Возврат», отменить требуемое количество точек и ввести их снова. Можно также отказаться от ввода (исправления) полигона командой «Отмена».
Команда «Возврат» позволяет отказаться от одной или нескольких последних точек полигона в процессе его ввода. После команды «Конец» (если полигон введен корректно и занесен в описание топологии) воспользоваться командами «Отмена» и «Возврат» уже невозможно.
После включения полигона в описание топологии редактор ожидает ввода первой точки нового полигона.
4.3.5. Ввод шины «по боковой»
Ввод шины «по боковой» аналогичен вводу полигона. Однако, здесь существенна последовательность ввода точек. Две первые введенные точки должны быть точками торца шины. Остальные точки - это точки изломов шины, лежащие на одной из ее сторон. Т.е. при вводе шины по боковой вводятся не все вершины будущего контура, а лишь вершины одной из сторон шины (любой стороны). Полный контур достраивается редактором, автоматически исходя из ширины шины (шириной шины будет расстояние между двумя точками торца шины).
Ввод точек заканчивается командой «Esc». После этого производится контроль шины на отсутствие самопересечений. Если таковые не обнаружены, шина включается в описание топологии.
Инициализация функции ввода шины «по боковой» осуществляется нажатием клавиши <5> на цифровой клавиатуре.
Максимальное количество указываемых точек шины равно 31.
4.3.6. Ввод шины по средней линии
Ввод шины по средней линии отличается тем, что требуется вводить не точки одной из сторон шины, а точки ее средней линии. В качестве ширины шины берется значение из специальной таблицы: «Слой-расстояние», которая вызывается нажатием клавиши <E> на клавиатуре. Минимальная ширина шины равна 0,4мкм, макcимальная ширина шины равна 204,8 мкм.
Первая отмечаемая точка является началом средней линии. Средняя линия последовательно отображается на экране монитора после указания очередной точки. После указания всех точек излома описание завершает нажатие клавиши <Esc> и на экране появляется изображение шины.
Максимальное количество указываемых точек шины равно 31.
- 29 -
4.3.7. Ввод жгута
Под жгутом понимается некоторое множество шин, проходящих параллельно друг другу. Ввод жгута напоминает ввод шины «по боковой», но жгут можно вводить только в одном активном слое.
Перед построением жгута необходимо в таблице «Слой-расстояние» задать ширину каждой шины в жгуте (в колонке «Минимальное внутреннее расстояние») и расстояние между шинами (в колонке « Минимальное внешнее расстояние»).
Далее для построения жгута, т.е. пучка шин, расположенных на равном расстоянии друг от друга, нажимаем клавишу <9> на цифровой клавиатуре. После подачи команды следует диалог:
Задаем необходимую величину.
После этого клавишей <Enter> отмечаем точки излома жгута. Ввод точек заканчивается командой «Esc». После этого производится контроль шин на отсутствие самопересечений.
На экране прорисовываются все шины, составляющие жгут.
4.3.8. Ввод круга
Режим ввода круга инициализируется нажатием клавиши <J>. Необходимо указать центр круга, после этого появляется маркер типа «Резиновая нить» с одним концом, закрепленным в центре круга. Введя вторую точку, указываем радиус круга и после этого круг формируется на экране.
Минимальный допустимый радиус круга 5 мкм.
4.3.9. Ввод кольца
Режим ввода кольца инициализируется нажатием клавиши <Z>.
Для ввода кольца необходимо указать три точки: центр кольца, внутренний радиус и внешний радиус, причем порядок указания радиусов не существенен.
После задания центра круга появляется маркер типа «Резиновая нить» с одним концом, закрепленным в центре круга. После ввода второй точки на экране появляется контур окружности, соответствующей заданному радиусу, и маркер типа «Резиновая нить», закрепленный в центре кольца.
После ввода третьей точки кольцо формируется на экране. Минимальный допустимый внешний радиус кольца 5 мкм.
4.3.10. Ввод контурного текста
Режим ввода контурного текста инициализируется нажатием клавиши
<T>.
Для ввода контурного текста необходимо указать точку привязки текста и необходимую ориентацию. После этого в строке подсказки светится запрос:
- 30 -