- •ПРЕДИСЛОВИЕ
- •1. ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
- •1.1. Общие сведения
- •1.3. Приборы на основе гетероструктур AlGaAs, полученных методом жидкофазной эпитаксии
- •1.4. Приборы на основе гетероструктур InGaAsP
- •1.5. Приборы на основе гетероструктур AlGaAs, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
- •2. СОВРЕМЕННЫЕ КОНСТРУКЦИИ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
- •Состав, толщина и легирующая примесь для p–n–p–n-ГС
- •3. ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СОВРЕМЕННЫХ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
- •ЗАКЛЮЧЕНИЕ
- •СПИСОК ТЕРМИНОВ И ОБОЗНАЧЕНИЙ
- •ЛИТЕРАТУРА
2. СОВРЕМЕННЫЕ КОНСТРУКЦИИ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
В работах [89, 90] представлены три современных варианта конструкции ГС, разработанных на основе базовой конструкции ГС для однокристального преобразователя–усилителя света с ПООС
(см. [71 – 74]):
1– p–n–p–n-ГС с узкозонным коллектором, содержащая ГФТ p–n–p-типа с коллектором, у которого ширина запрещенной зоны меньше, чем ширина активной области СИД;
2– p–n–p–n-ГС с широкозонным коллектором, содержащая ГФТ p–n–p-типа с коллектором, у которого ширина запрещенной зоны больше, чем ширина активной области СИД;
3– n–p–n–p-ГС, содержащая ГФТ n–p–n-типа с узкозонным коллектором.
Состав, толщина слоев и легирующая примесь для p–n–p–n- ГС с узкозонным коллектором приведены в табл. 2.1.
|
|
|
Таблица 2.1 |
|
Состав, толщина и легирующая примесь для p–n–p–n-ГС |
||||
|
|
|
|
|
Номер слоя, начи- |
Состав слоя AlxGa1-xAs, |
Толщина |
Легирующая |
|
ная от подложки |
мольная доля |
слоя, мкм |
примесь |
|
1 слой |
(0,18–0,10)±0,02 |
7,0±0,5 |
Zn |
|
2 слой |
0,72±0,02 |
1,4±0,2 |
Zn |
|
3 слой |
0,04±0,02 |
1,0±0,5 |
Te |
|
4 слой |
0,01±0,01 |
1,0±0,5 |
Zn |
|
5 слой |
0,72±0,02 |
3,2±0,2 |
Zn |
|
6 слой |
0,35±0,01 |
1,0±0,2 |
Zn |
|
7 слой |
0,70±0,02 |
1,0±0,3 |
Te |
|
8 слой |
0,58±0,04 |
1,3±0,3 |
Te |
|
Первый слой – технологический слой между подложкой и ГС – буферный слой – предусмотрен для улучшения смачиваемости поверхности подложки раствором-расплавом и для предотвращения островкового роста;
41
второй слой – широкозонный эмиттер ГФТ; третий слой – база ГФТ; четвертый слой – коллектор ГФТ;
пятый слой – эмиттер p-типа СИД; шестой слой – активная область СИД; седьмой слой – эмиттер n-типа СИД;
восьмой слой – сильнолегированный контактный слой. Энергетическая диаграмма p–n–p–n-ГС с узкозонным коллекто-
ром в несмещенном состоянии, при прямом смещении (до перехода в открытое состояние) и в открытом состоянии, вместе с процессами генерации, переноса и рекомбинации носителей, разделенными во времени, а также тип проводимости и состав слоев ГС условно изображены на рис. 2.1. ГС состоит из p–n–p-ГФТ и p–p–n-СИД в ИК области, эмиттер p-типакоторого совмещен сколлектором p-типаГФТ.
Рис. 2.1. Энергетическая диаграмма p–n–p–n-ГС с узкозонным коллектором в несмещенном состоянии (a), при прямом смещении (b) и в открытом состоянии (c)
42
ГС подключается к источнику питания последовательно с ограничительным резистором таким образом, чтобы коллекторный переход ГФТ смещался в обратном направлении. В зависимости от величины напряжения источника питания, уровня внешней подсветки и номинала ограничительного резистора ГС может находиться в одном из трех состояний:
–в закрытом состоянии, когда через ГС протекает ток, меньший, чем ток включения;
–в открытом состоянии, когда через ГС протекает ток больший чем ток удержания;
–в бистабильном состоянии, когда через ГС протекает ток, больший, чем ток включения, но меньший чем ток удержания.
Спрактической точки зрения наибольший интерес представляет работа ГС в режиме "оптического ключа" – перехода из закрытого состояния в открытое под воздействием внешнего излучения в случае, когда напряжение источника питания не превышает напряжения пробоя коллекторного перехода ГФТ. Рассмотрим физические процессы, протекающие в ГС при работе в режиме "оптического ключа".
Основное падение напряжения, прикладываемого к ГС, падает на коллекторном переходе ГФТ, так как он смещен в обратном направлении. Входное излучение вводится в ГС через широкозонные эмиттеры и активную область СИД и поглощается в коллекторном переходе ГФТ, где генерируются и разделяются электроннодырочные пары. Электроны инжектируются в базу ГФТ и смещают переход эмиттер-база в прямом направлении, а дырки инжектируются в активную область СИД и смещают излучающий переход в прямом направлении. Из эмиттера p-типа в базу ГФТ инжектируются дырки, а в активную область СИД из эмиттера n-типа инжектируются электроны. Ток через ГС возрастает и происходит перераспределение напряжения источника питания между тремя гетеропереходами ГС и ограничительным резистором. Одновременно возрастает интенсивность излучательной рекомбинации носителей в активной области СИД.
Большая часть излучения СИД, с учетом внутренних потерь и выводимого из кристалла излучения, поглощается в коллекторном переходе ГФТ. Это приводит к образованию ПООС между СИД и ГФТ и, следовательно, к возрастанию тока через ГС. Когда ток через ГС превысит ток включения, ГС перейдет в открытое состояние и
43
ток через ГС возрастет до величины, определяемой ограничительным резистором в цепи питания.
Состав, толщина слоев и тип проводимости слоев для n–p–n–p-ГС приведены в табл. 2.2.
Таблица 2.2 Состав, толщина слоев и тип проводимости слоев для n–p–n–p-ГС
Номер слоя, начи- |
Состав слоя Al Ga |
As, |
Толщина |
Тип прово- |
ная от подложки |
x |
1-x |
слоя, мкм |
димости |
мольная доля |
||||
1 слой |
0,78±0,04 |
|
7,0±1,0 |
n |
2 слой |
0,10±0,04 |
|
0,5±0,3 |
p |
3 слой |
0,02±0,01 |
|
0,5±0,3 |
p |
4 слой |
0,02±0,01 |
|
0,5±0,3 |
n |
5 слой |
0,78±0,04 |
|
2,5±0,5 |
n |
6 слой |
0,45±0,04 |
|
0,2±0,2 |
p |
7 слой |
0,35±0,01 |
|
2,5±0,5 |
p |
8 слой |
0,58±0,04 |
|
5,0±1,0 |
p |
Первый слой – широкозонный эмиттер ГФТ, одновременно выполняющий функции буферного слоя;
второй слой – технологический слой, необходимый для оптимизации условий формирования эмиттерного перехода ГФТ (подробно назначение этого слоя рассмотрено в главе 3);
третий слой – база ГФТ; четвертый слой – коллектор ГФТ; пятый слой – эмиттер n-типа СИД;
шестой слой – технологический слой, необходимый для оптимизации условий формирования излучающего перехода СИД (подробно назначение этого слоя рассмотрено в главе 3);
седьмой слой – активная область СИД;
восьмой слой – эмиттер p-типа СИД и одновременно контактный слой.
Энергетическая диаграмма n–p–n–p-ГС в несмещенном состоянии, при прямом смещении (до перехода в открытое состояние) и в открытом состоянии вместе с процессами генерации, переноса и рекомбинации носителей, разделенными во времени, а также тип проводимости и состав слоев ГС условно изображены на рис. 2.2.
44
Рис. 2.2. Зонная энергетическая диаграмма n–p–n–p-ГС в несмещенном состоянии (a), при прямом смещении (b)
и в открытом состоянии (c)
ГС состоит из n–p–n-ГФТ и n–p–p-СИД, излучающего в ИКдиапазоне, эмиттер n-типа которого совмещен с коллектором n-типа ГФТ. Физические принципы работы n–p–n–p-ГС те же, что и у p–n–p–n-ГС с узкозонным коллектором. Основное отличие состоит в том, что неосновными носителями в базе ГФТ для n–p–n–p-ГС являются электроны, а для p–n–p–n-ГС – дырки.
Такая n–p–n–p-ГС с широкозонным коллектором отличается от p–n–p–n-ГС с узкозонным коллектором только тем, что ее 4-ый
слой (см. табл. 2.1) имеет состав Al0,40±0,02Ga0,60±0,02As и толщину 1,0 мкм ± 0,5 мкм. Физические принципы работы p–n–p–n-ГС с ши-
45
рокозонным коллектором те же что и у p–n–p–n-ГС с узкозонным коллектором. Различается лишь механизм доставки основных носителей в базу ГФТ.
Вслучае ГС с широкозонным коллектором поглощение излучения, генерация электронно-дырочных пар и последующее разделение их полем ОПЗ коллекторного перехода ГФТ происходят непосредственно в базовой области ГФТ.
Вслучае ГС с узкозонным коллектором механизм доставки основных носителей в базу ГФТ усложняется. Интенсивное поглощение излучения и генерация электронно-дырочных пар начинаются на границе между узкозонным коллектором ГФТ и широкозонным эмиттером СИД. При этом только часть носителей, генерированных излучением в узкозонном коллекторном слое вне области пространственного заряда, диффундирует к ОПЗ и переносится в базу ГФТ.
С увеличением толщины узкозонного коллекторного слоя ГФТ возрастает доля поглощаемого излучения, но при этом эффективность механизма доставки основных носителей в базу ГФТ снижается.
Таким образом, существует оптимальная толщина узкозонного коллекторного слоя ГФТ, при которой количество основных носителей, доставляемых в базу ГФТ, будет максимальным. Очевидно, что оптимальная толщина ограничена либо диффузионной длиной неосновных носителей в коллекторном слое, либо длиной свободного пробега фотонов воздействующего излучения.
Антистоксово преобразование длины волны излучения в разработанных вариантах конструкции ГС достигается за счет разной ширины запрещенной зоны у базового слоя ГФТ (ширина запрещенной зоны которого определяет длинноволновую границу области спектральной чувствительности ГС) и активной области СИД, ширина запрещенной зоны которого определяет коротковолновую границу области спектральной чувствительности и длину волны в максимуме спектра электролюминесценции ГС.
Отметим, что для возникновения ПООС в ГС необходимо, чтобы скорость рекомбинации неравновесных носителей в базе ГФТ не превышала скорости доставки этих носителей в базу ГФТ, основной вклад в которую вносит скорость излучательной рекомбинации в активной области СИД.
46
