Акустоэлектроника объемные акустические волны в кристаллах. Сборник задач
.pdf
№ 1985 |
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ |
|
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
«НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИСиС»
Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков
Н.В. Переломова А.Н. Забелин
Акустоэлектроника
Объемные акустические волны в кристаллах
Сборник задач
Рекомендовано редакционно-издательским советом университета
Москва 2010
1
УДК 548
П27
Р е ц е н з е н т проф. В.Т. Бублик
Переломова Н.В., Забелин А.Н.
П27 Акустоэлектроника: Объемные акустические волны в кри- сталлах: Сб. задач. – М.: Изд. Дом МИСиС, 2010. – 43 с.
ISBN 978-5-87623-354-7
Сборник задач содержит краткие теоретические сведения по теме «Объ- емные акустические волны в кристаллах». Приводятся примеры решения ти- повых задач. Задачи для самостоятельного решения позволят освоить техни- ку расчетов характеристик объемных акустических волн.
Предназначен для студентов четвертого курса направления 140400 «Тех- ническая физика».
УДК 548
ISBN 978-5-87623-354-7 |
♥ Переломова Н.В., |
|
Забелин А.Н., 2010 |
2
|
СОДЕРЖАНИЕ |
|
1. |
Объемные акустические волны в кристаллах.................................... |
4 |
|
1.1. Фазовые скорости и поляризации объемных |
|
|
акустических волн ................................................................................ |
4 |
|
1.2. Лучевые и групповые скорости объемных |
|
|
акустических волн ................................................................................ |
8 |
|
1.3. Особые направления в кристаллах............................................. |
10 |
2. |
Примеры решения задач .................................................................... |
12 |
3. |
Задачи для самостоятельного решения ............................................ |
28 |
Ответы ..................................................................................................... |
33 |
|
Библиографический список................................................................... |
35 |
|
Приложение............................................................................................. |
36 |
|
3
1.ОБЪЕМНЫЕ АКУСТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ
ВКРИСТАЛЛАХ
Вобщем случае в заданном направлении в безграничном кристал- ле могут распространяться три плоские однородные объемные аку- стические волны с разными скоростями и взаимно ортогональными поляризациями. Эти три волны, имеющие общую волновую нормаль, называются изонормальными.
Волна, вектор поляризации которой составляет наименьший угол
сволновой нормалью, называется квазипродольной (QL), а если ее
поляризация совпадает с направлением волновой нормали – про- дольной (L). Две другие волны называются квазипоперечными (QS), если их векторы поляризаций не ортогональны вектору волновой нормали, и поперечными (S), если их поляризации ортогональны волновой нормали. Если фазовая скорость одной из квазипоперечных волн больше фазовой скорости другой, то они называются соответст- венно быстрой квазипоперечной (QFS) и медленной квазипопереч- ной (QSS).
1.1.Фазовые скорости и поляризации объемных
акустических волн
Распространение плоских объемных акустических волн в диэлек- трических кристаллах описывается уравнением Кристоффеля
(Γik – ρV2δik)pk = 0, |
(1.1) |
|||
где |
|
|
|
|
Γ |
ik |
= cS |
n n |
(1.2) |
|
ijkl |
j l |
|
|
тензор Кристоффеля; ρ – плотность кристалла; V – фазовая скорость акустической волны; δik – символ Кронекера; pk – компоненты еди-
ничного вектора поляризации p; cijklS – адиабатические коэффициен-
ты упругой жесткости кристалла; nj – компоненты единичного векто- ра волновой нормали n.
В большинстве практически важных случаев объемные акустиче- ские волны в пьезоэлектрических кристаллах рассматриваются в рамках так называемого квазиэлектростатического приближения, в котором учитывается только потенциальная часть электрического
4
поля. При этом распространение плоских объемных акустических волн в пьезоэлектрических кристаллах описывается модифицирован- ным уравнением Кристоффеля
(Πik – ρV2δik)pk = 0, |
(1.3) |
где Πik – тензор Кристоффеля для пьезоэлектрических кристаллов,
Πik |
= Γik + |
eiek |
|
; |
(1.4) |
||
ε |
|||||||
|
|
|
|
|
|||
Γik – упругий тензор Кристоффеля, |
|
|
|||||
Γ |
ik |
= cE,S n n ; |
|
(1.5) |
|||
|
ijkl j l |
|
|
||||
ei – пьезоэлектрический вектор, |
|
|
|||||
ei = emijnmnj; |
|
(1.6) |
|||||
ε – диэлектрическая проницаемость кристалла в направлении волно- вой нормали;
ε = εu |
n n ; |
(1.7) |
mn |
n m |
|
cijklE,S – адиабатические коэффициенты упругой жесткости кристалла,
измеренные при постоянном электрическом поле; enij – пьезоэлек-
трические коэффициенты; εumn – коэффициенты диэлектрической проницаемости кристалла, измеренные при постоянной деформации.
Вид матриц коэффициентов cijklE,S , εumn и enij для 32 классов сим- метрии приведена в табл. П1–П3 приложения.
В рамках квазиэлектростатического приближения акустическая волна в пьезоэлектрическом кристалле может сопровождаться вол- ной электрического поля (E || n) и волной электрической индукции (D n). Электрические свойства объемной акустической волны за- висят от взаимной ориентации пьезоэлектрического вектора волны
e(m) = e |
n |
p(m) , |
(1.8) |
|
i |
ijk |
|
j k |
|
и волновой нормали n. Если e(m) = 0, то акустическая волна не сопро- вождается электрическими колебаниями и в этом смысле не является пьезоактивной. Акустическая волна, для которой e(m) || n, сопровож- дается волной электрического поля и называется продольно-
5
пьезоактивной. Акустическая волна, для которой e(m) n, сопровож- дается волной электрической индукции и называется поперечно- пьезоактивной. Акустическая волна, у которой векторы e(m) и n обра- зуют острый угол, называется волной смешанной пьезоактивности.
Обобщенной характеристикой пьезоэлектрических свойств кри- сталла является коэффициент электромеханической связи. Для про- дольно-пьезоактивных волн коэффициент электромеханической свя- зи kE2 (kE2 < 1) определяется следующим образом:
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
kE2 = |
e |
|
, |
(1.9) |
|
|
|
|
2 |
|||
|
|
|
|
cε + e |
|
|
|
|
= emij nmnj pi |
|
E,S |
nj nl pi pk |
= Γik pi pk . |
||
где e |
= ei pi ; c |
= cijkl |
|||||
С учетом формулы (1.9) выражение для фазовой скорости объем- ной акустической волны в пьезоэлектрическом кристалле может быть записано в виде
V = V0 |
1+ |
|
k2 |
|
|
E |
, |
||
|
− kE2 |
|||
|
1 |
|
||
где V0 – фазовая скорость волны без пьезоэлектрической поправки. Для расчета компонент тензоров Γik (1.2) и Πik (1.4) удобно ис-
пользовать таблицу П4 приложения.
Как следует из систем уравнений (1.1) и (1.3), задача о нахожде- нии фазовых скоростей и векторов поляризаций плоских объемных акустических волн, распространяющихся в заданном направлении n в кристалле, сводится к задаче о нахождении собственных значений и собственных векторов тензора Aik = Γik (1.2) для диэлектрических кристаллов и Aik = Πik (1.4) для пьезоэлектрических кристаллов.
Собственные значения λ = ρV2 тензора Aik находятся из условия совместности системы уравнений (1.1) для диэлектрических кри- сталлов и системы (1.3) для пьезоэлектрических кристаллов:
|
|
|
A11 − λ |
A12 |
A13 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Aik − λδik |
|
= |
A12 |
A22 − λ |
A23 |
|
= 0 . |
(1.10) |
|
|
|||||||
|
|
|
A13 |
A23 |
A33 − λ |
|
|
|
В общем случае уравнение (1.10) имеет три различных действи- тельных и положительных корня λ(1), λ(2) и λ(3).
6
Подставляя поочередно каждое из трех собственных значений λ(m)
в (1.1) или (1.3)
(A11
A12 p1(m)A13 p1(m)
) p(m) + A p(m) + A p(m) = 0, |
|
||||
1 |
12 |
2 |
13 |
3 |
|
+ (A |
− λ(m) ) p(m) + A |
p(m) = 0, |
(1.11) |
||
22 |
|
2 |
23 |
3 |
|
+ A p(m) + (A − λ(m) ) p(m) = 0, |
|
||||
23 |
2 |
33 |
|
3 |
|
находим компоненты вектора поляризации p(m) каждой из трех объ- емных акустических волн, распространяющихся с фазовыми скоро-
стями Vm = |
λ(m) |
в заданном направлении n в кристалле. |
|||||||
ρ |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Если тензор Кристоффеля имеет диагональный вид |
|||||||||
|
|
|
A |
0 |
0 |
|
|
||
|
|
A |
= |
011 |
A |
0 |
|
, |
|
|
|
ik |
|
|
22 |
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
0 |
A33 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
фазовые скорости и векторы поляризаций трех изонормальных объ- емных акустических волн равны
V = |
A11 |
, p(1)(1,0,0); |
V = |
A22 |
, |
|||
ρ |
ρ |
|||||||
1 |
|
|
|
2 |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|||
p(2)(0,1,0); V = |
A33 |
|
, p(3)(0,0,1). |
|||||
ρ |
||||||||
|
|
3 |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||
Если две из трех недиагональных компонент тензора Кристоффе- ля, например A13 и A23, равны нулю, разложение определителя (1.10) по элементам третьей строки или третьего столбца
(A33 – λ)[(A11 – λ)(A22 – λ) – A122] = 0
сразу позволяет найти корень λ(3) = A33. Два других собственных зна- чения
λ(1,2) = |
1 |
(A11 + A22 ± (A22 − A11 )2 + 4A12 |
2 |
) |
(1.12) |
|
|
||||
2 |
|
|
|
|
|
являются решениями квадратного уравнения
λ2 – (A11 + A22)λ + A11A22 – A122 = 0.
7
Из системы (1.11), которая при A13 = A23 = 0 принимает вид
(A |
− λ(m) ) p(m) + A p(m) = 0, |
||||
|
11 |
|
1 |
12 |
2 |
|
|
|
|
|
|
A p(m) + (A − λ(m) ) p(m) = 0, |
|||||
|
12 |
1 |
22 |
|
2 |
(A − λ(m) ) p(m) = 0, |
|
||||
|
|
|
3 |
|
|
33 |
|
|
|
||
следует, |
что для собственного значения λ(3) = A33 |
p(3) |
= p(3) |
= 0 |
и |
|
|
|
|
1 |
2 |
|
|
p(3) |
= ±1 |
, поэтому вектор p(3) направлен вдоль оси X3. Для двух дру- |
||||
3 |
|
|
|
|
|
|
гих собственных значений из условия λ(k) ≠ A33, где k = 1, 2, следует
p(k ) = 0 и |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(k ) |
|
λ |
(k ) |
− A11 |
|
A22 − A11 |
|
|
|
A22 − A11 |
2 |
|
|
p2 |
= |
|
= |
± sign(A |
) |
|
|
+ 1 . (1.13) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
p1(k ) |
|
|
A12 |
12 |
|
|
2A12 |
|
|
|||
|
|
|
|
2A12 |
|
|
|
|
|||||
Направления векторов p(1) и p(2), лежащих в плоскости X1X2, могут быть заданы углами ϕ1 и ϕ2 = ϕ1 + π/2, которые они образуют с осью
X1, тогда tg ϕk |
= |
p2(k ) |
. Для двойного угла справедливо выражение |
||||||
p(k ) |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
1 |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
tg2ϕk |
= |
2A12 |
. |
(1.14) |
||
|
|
|
A22 |
− A11 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|||
Если два собственных значения тензора Кристоффеля, например λ(2) и λ(3), совпадают, то векторы поляризаций вырожденных волн могут иметь любое направление в плоскости, перпендикулярной век- тору поляризации невырожденной волны.
1.2. Лучевые и групповые скорости объемных акустических волн
Распространению объемной акустической волны в кристалле со- путствует процесс переноса энергии. Скорость и направление потока энергии (акустического луча) характеризуется вектором лучевой или групповой скорости. В кристалле без потерь лучевая скорость совпа- дает с групповой скоростью.
Если направление групповой скорости совпадает с волновой нор- малью, то такую волну называют обыкновенной, а если эти направ- ления не совпадают, то – необыкновенной волной.
8
Компоненты вектора групповой скорости акустической волны, распространяющейся в заданном направлении n в диэлектрическом кристалле, рассчитываются из выражения
V (m) = |
1 |
P n , |
|
(1.15) |
|
|
|
||||
i |
ρVm |
k |
|
|
|
|
ik |
|
|
||
где P – второй тензор Кристоффеля, |
P |
= cS |
p(m) p(m) . |
||
ik |
|
|
ik |
ijkl |
j l |
Компоненты вектора групповой скорости акустической волны, распространяющейся в пьезоэлектрическом кристалле, находятся из выражения
|
|
|
|
|
|
|
(m) |
|
|
|
|
(m) 2 |
|
|
|
|
||
|
V (m) = |
1 |
S уп + |
ej pj |
Sп − |
ej pj |
|
Sд |
, |
(1.16) |
||||||||
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
i |
ρVm |
|
i |
|
|
ε |
|
i |
|
|
ε |
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где S уп – упругий групповой вектор, S уп = cE,S p(m) p(m)n ; |
(1.17) |
|||||||||||||||||
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
ijkl |
j |
|
l |
k |
|
|
Siп |
– пьезоэлектрический групповой вектор, |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
Sп = e |
n |
p(m) + e |
n |
p(m) |
; |
|
|
|
|
(1.18) |
||||||
|
|
i |
|
mij |
|
m |
j |
|
imj m |
|
j |
|
|
|
|
|
|
|
S д |
– диэлектрический групповой вектор, |
|
S д |
= εu n . |
|
|
(1.19) |
|||||||||||
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
il |
l |
|
|
|
|
Связь между групповой и фазовой скоростью объемной акустиче- |
|||||||||||||||||
ской волны устанавливается соотношением |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
V(m)n = V (m)n |
j |
= V |
|
, |
|
|
|
|
|
(1.20) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
j |
|
m |
|
|
|
|
|
|
|
||
т.е. проекция вектора групповой скорости на направление волновой нормали равна фазовой скорости акустической волны.
Угол между вектором групповой скорости акустической волны и волновой нормалью определяется следующим образом:
γ m = arccos (ns(m) ) , |
(1.21) |
где s(m) – единичный вектор луча, s(m) = V(m) / | V(m) | . Для обыкно-
венной волны γ = 0.
Условие существования обыкновенной волны в направлении n имеет вид
[n × V(m) ] = 0 |
или δ |
ijk |
n V (m) = 0 , |
(1.22) |
|
|
j k |
|
где δijk – символ Леви – Чивита.
9
В диэлектрических кристаллах направления распространения и поляризации обыкновенной волны взаимозаменяемы: если в направ- лении n распространяется обыкновенная волна с поляризацией p и со скоростью V, то в направлении p с той же скоростью распространя- ется обыкновенная волна с поляризацией n.
Для вычисления компонент Vi(m) (1.15), (1.16) векторов групповой скорости удобно использовать табл. П4 – П6 приложения.
1.3. Особые направления в кристаллах
Различают три вида особых направлений в кристаллах: попереч- ная нормаль, продольная нормаль и акустическая ось.
Поперечной нормалью называется направление n, в котором рас- пространяется одна поперечная волна (p(S) n), а две другие волны могут быть квазипродольной и квазипоперечной.
Продольной нормалью называется направление n, в котором рас- пространяется продольная волна (p(L) || n) и две поперечные волны
(p(S) n).
Условие существования продольных нормалей в кристалле:
[n × p(L) ] = 0 или δ |
ijk |
n |
A n = 0 . |
(1.23) |
|
|
j kl l |
|
Акустической осью называется направление n, в котором распро- страняются вырожденные квазипоперечные волны, векторы поляри- заций которых могут иметь любое направление в плоскости, перпен- дикулярной вектору поляризации квазипродольной волны. Если при этом n оказывается еще и продольной нормалью, то такое направле- ние называется продольной акустической осью.
Для акустических осей, согласно их определению, два корня ку- бического уравнения (1.10) совпадают, поэтому одновременно с оп- ределителем равен нулю и взаимный тензор
|
|
|
|
|
|
|
(A |
− ρV 2 |
δ |
ik |
) = 0 , |
(1.24) |
|
ik |
s |
|
|
|
|
|
где ρVs2 – двукратное собственное значение.
Условие (1.24) определяет акустические оси в любом кристалле. Если тензор Aik имеет диагональный вид, то условие существова-
ния акустической оси сводится к равенству двух диагональных ком- понент тензора Aik.
10
