Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры

..pdf
Скачиваний:
44
Добавлен:
19.11.2023
Размер:
37.04 Mб
Скачать

 

 

 

7.

Технология изготовления микросхем

 

 

 

 

 

 

крытий на качество сварных соединений, необ­

 

 

 

 

 

ходимость применения эффективных теплоот­

 

 

 

 

 

водов, исключающих нагрев выше допустимой

 

 

 

 

 

температуры.

 

 

 

 

 

 

Герметизация корпусов лазерной свар­

 

 

 

 

 

кой. Герметизация лазерной сваркой предусмат­

 

 

 

 

 

ривает формирование непрерывного сварного шва

 

 

 

 

 

за счет перекрывающихся сварных точек, обра­

 

 

 

 

 

зующихся в результате превращения импульсов

 

 

 

 

 

световой энергии в тепловую при

воздействии

 

 

 

 

 

сфокусированного лазерного луча (рис. 7.50). Ко­

 

 

 

 

 

эффициент перекрытия сварных точек для герме­

 

 

 

 

 

тичных швов должен составлять 0,3— 0,8, а для

 

 

 

 

 

вакуум-плотных швов — не менее 0,5.

 

 

 

 

 

Основными параметрами лазерной сварки

 

 

 

 

 

являются энергия лазерного излучения, длитель­

 

 

 

 

 

ность и частота следования импульсов, диаметр

 

 

 

 

 

светового пятна на свариваемой поверхности.

 

 

 

 

 

К достоинствам лазерной сварки относят

 

 

 

 

 

возможность сварки металлов трудносваривае-

Рис

7.49. Схема образова­

мых или не поддающихся сварке другими мето­

ния

сварного

соединения

дами; малые размеры зоны термического влия­

при герметизации корпусов

ния и структурных изменений, что позволяет

аргонно-дуговой сваркой:

 

выполнять сварные швы в непосредственной

1 — вольфрамовый электрод;

близости от металлостеклянных спаев; возмож­

2 — цанга; 3 — сопло; 4

ность сварки практически в любых средах; ми­

дуга;

5 — крышка корпуса;

нимальные деформации свариваемых деталей;

6 — основание корпуса; 7

высокий процент выхода годных

изделий по

сварное соединение;

8

приспособление

для

крепле­

герметичности (до 99 %).

 

ния корпуса

 

 

 

К недостаткам лазерной сварки следует

отнести незначительную глубину проплавления соединяемых металлов при средних мощностях излучения; выплески испаряемого металла при исполь­ зовании мощных лазеров; необходимость удаления образующихся ядовитых газов и ионизированных паров свариваемых металлов; высокие требования к точности изготовления деталей корпусов; низкую производительность.

Герметизация корпусов шовной контактной (роликовой) сваркой. Односторонняя шовная контактная (роликовая) сварка — наиболее рас­ пространенный способ герметизации микросхем в металлостеклянных и ме­ таллокерамических корпусах прямоугольной и квадратной формы.

Процесс сварки происходит при перемещении двух конических роли­ ков, свободно зращающихся на полуосях по противоположным кромкам

292

 

7. / 7. Герметизация микросхем и микросборок

крышки (рис. 7.S1). Ролики с определенным

 

усилием прижимаются к кромкам крышки и

 

вращаются за счет сил трения. При подаче сва­

 

рочных импульсов от источника питания проис­

 

ходит выделение тепла в зоне контакта свароч­

 

ных роликов с кромкой крышки. Сварное со­

 

единение

осуществляется

расплавлением

 

покрытий крышки и основания корпуса и обра­

 

зования наплыва, т. е. расплавленного металла,

 

выдавленного в зоне стыка деталей. При этом

 

сварной шов получают в результате перекрытия

 

сварных точек, образующихся при контакте

 

сварных роликов с крышкой корпуса. Для полу­

 

чения герметичных сварных швов коэффициент

 

перекрытия сварных точек должен составлять

 

0,5— 0,8.

 

 

 

 

 

Основными параметрами

шовной

кон­

 

тактной (роликовой) сварки являются амплитуда

 

сварочного напряжения, длительность сварочно­

 

го импульса, частота следования сварочных им­

Рис. 7.50. Герметизация

пульсов, усилие на сварочных роликах.

 

К достоинствам

герметизации шовной

лучом лазера:

1 — лазерный луч; 2 — отсос

контактной

(роликовой)

сварки

относят

высо­

кую прочность и надежность сварного шва, вы­

продуктов горения; 3 — по­

дача инертного газа; 4

сокую герметичность, большой процент выхода

верхняя крышка корпуса; 5

годных (до 99 %); незначительный разогрев

основание корпуса; б — свар­

корпуса, высокую производительность.

 

ное соединение; 7 — нижняя

К недостаткам шовной контактной (роли­

крышка корпуса

 

ковой) сварки следует отнести низкую стойкость электродов, высокие меха­ нические напряжения в зоне контакта роликов с крышкой, нестабильность размеров сварного шва, приводящую к непровару или перегреву корпуса, возможность возникновения начального выплеска при сварке, приводящую к быстрому износу сварочных роликов и браку приборов.

Контроль герметичности

Качество герметизации корпусов оценивают наличием дефектов визу­ ально и наличием течей. В качестве единицы измерения используют течь, при которой за 1 с в объеме 1 л, где создан вакуум, давление возрастает на 1 мкм рт. ст. Загерметизированные приборы контролируют на наличие малых и больших течей. Для контроля малых течей чаще всего применяют масс-

293

7.

Технология изготовления микросхем

 

 

 

 

/

2

спектрометрический

метод

и метод

 

 

с

использованием

электроотрица­

 

 

тельного газа. Масс-спектрометри-

 

 

ческиб метод контроля герметично­

 

 

сти МС широко распространен, так

 

 

как

обладает высокой

чувствитель­

 

 

ностью и надежностью. Он основан

 

 

на разделении молекул сложной па­

 

 

рогазовой смеси по массам и изме­

 

 

рении ионного

тока

ионизирован­

 

 

ных молекул какой-либо определен­

 

 

ной массы. В качестве контрольного

 

 

газа обычно используют гелий, так

 

 

как он обладает высокой прони­

 

 

кающей способностью;

малым со­

 

 

держанием в атмосфере, что дает

 

 

незначительный

фоновый

уровень

 

 

при измерениях; масс-спектромет­

 

 

рический пик гелия резко отличает­

 

 

ся от пиков газов, содержащихся в

Рис 7.5J. Схема установки герметиза­

атмосфере; гелий при попадании в

прибор не оказывает влияния на

ции шовной контактной сваркой:

структуру и работоспособность уст­

1 — корпус микросхемы, 2 — прижимной

ройства. Контролируемые

МС оп-

ролик; 3 — технологическая оснастка; 4

рессовывают в камере опрессовки в

монтажный стол; 5 — сварное соединение

атмосфере гелия под

давлением

 

 

400 кПа в течение 4., .6 ч. Затем их помещают в камеру, где создается вакуум. Если в процессе опрессовки гелий проник через течи в корпус, то его утечка в вакууме обнаруживается течеискателем, и прибор отбраковывается. К недостат­ кам масс-спекгрометрического метода контроля герметичности следует отнести низкую производительность; сложность обслуживания оборудования; необхо­ димость создания высокого вакуума; высокую квалификацию специалистов; невозможность контролировать большие течи, так как при наличии в корпусе больших течей гелий выходит через них до контроля герметичности.

Для контроля герметичности по большим течам чаще всего использу­ ют вакуумно-жидкостной или пузырьковый методы. Вакумно-жидкостной метод основан на визуальном наблюдении выходящих через течи пузырьков воздуха. В этом случае МС помещают в специальную жидкость (уайтспирит), над которой создают вакуум. Вследствие перепада давления воздух из негерметичного корпуса МС будет выходить через течи в виде непрерыв­ ной цепочки пузырей.

294

7.17. Герметизация микросхем и микросборок

При контроле герметичности на большие течи пузырьковым методом контролируемые МС помещают в жидкость (этиленгликоль), нагретую до температуры порядка 120...140 °С. Течь определяют также по наличию не­ прерывной цепочки пузырей.

Контрольные вопросы

1.Что означает технологическая совместимость элементов полупроводниковой МС и в чем заключается выигрыш для производства?

2.Какие операции включает цикл избирательного легирования кремния?

3.Какие условия необходимо обеспечить при легировании, чтобы возник р-п- переход?

4.Чем обусловлено проникновение атомов легирующей примеси в кристалличе­ скую решетку в случае термической диффузии и в случае ионной имплантации?

5. Почему диффузионные области п и р целесообразно формировать в односта­ дийном процессе?

6.Чем определяется величина пробивного напряжения плавного и ступенчатого /7-п-переходов?

7.Почему не вся примесь, внедренная в кристаллическую решетку, определяет электропроводность слоя?

8.Назовите этапы процесса фотолитографии.

9.Какие факторы определяют точность взаимного положения различных тополо­ гических слоев?

10.За счет чего создается атомарный поток вещества на подложку в случае терми­ ческого вакуумного напыления и в случае распыления ионной бомбардиров­ кой?

11.Какие факторы ограничивают минимальные размеры тонкопленочных инте­ гральных резисторов?

12.Какие операции включает цикл формирования слоя тонкопленочных элемен­ тов?

13.Перечислите особенности конструкции коммутационных плат для микросбо­ рок.

14.Какими способами можно закрепить подложку в корпусе МС (микросборки) и кристалл на подложке или в корпусе?

15.Перечислите варианты электрического монтажа кристаллов МС на подложках (в корпусах).

16.Какие виды герметизации МС применяются в микроэлектронике?

17.Какими способами герметизируют корпуса МС?

18.Как контролируют герметичность МС по малым и большим течам?

295

8.ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ

8.1.Общие сведения о печатных платах

Печатные платы (1111) — основа печатного монтажа любой ЭА, при котором МС, полупроводниковые приборы, ЭРЭ и элементы коммутации устанавливаются на изоляционное основание с системой токопроводящих полосок металла (проводников), которыми они электрически соединяются между собой в соответствии с электрической принципиальной схемой. Практически нет такой аппаратуры, где бы не использовались ПП какоголибо типа.

П ечатный монтаж — способ монтажа, при котором электрическое соединение элементов электронного узла, включая экраны, выполнено с по­ мощью печатных проводников. П ечатный проводник — проводящая по­ лоска в проводящем рисунке.

В ЭА ПП применяют практически на всех уровнях конструктивной иерархии: на нулевом — в качестве основания гибридных схем и микросбо­ рок, на первом и последующих — в качестве основания, механически и электрически объединяющего все элементы, входящие в схему электриче­ скую принципиальную ЭА и ее узлов. На рис. 8.1 в качестве примера приве­ ден общий вид ПП одного из узлов ЭА.

Государственным стандартом предусмотрены следующие типы ПП (рис. 8.2):

односторонняя печатная плата (ОПП) — ПП, на одной стороне ко­ торой выполнен проводящий рисунок (рис. 8.2, а);

двусторонняя печатная плата (ДНИ) — ПП, на обеих сторонах которой выполнены проводящие рисунки и все требуемые соединения (рис. 8.2, б);

многослойная печатная плата (МПП) — ПП, состоящая из чере­ дующихся слоев изоляционного материала с проводящими рисунками на двух или более слоях, между которыми выполнены требуемые соедине­ ния (рис. 8.2, в);

296

8.1. Общие сведения о печатных платах

Рис. 8.1. Печатная плата узла ЭВМ:

1 — крепежные отверстия; 2 — монтажные отверстия; 3 — концевые печатные контакты; 4— маркировка печатной платы; 5 — ориентирующий паз; 6 — печатные проводники

гибкая печатная плата (ГПП) — ПП, имеющая гибкое основание; гибкий печатный кабель (ГПК) — система параллельных печатных

проводников, размещенных на гибком основании (рис. 8.2, г).

На рис. 8.2 использованы следующие обозначения: t — ширина пе­ чатного проводника; S — расстояние между печатными проводниками; Q — расстояние от края ПП (выреза, паза) до элементов проводящего рисунка; Ъ— расстояние от края просверленного отверстия до края контактной пло­ щадки (поясок); D — диаметр контактной площадки; d — диаметр отвер­ стия; Аф — толщина фольги; Нн — толщина материала основания печатной платы; Н„ — толщина ПП; / — расстояние между центрами (осями) элемен­ тов конструкции ПП.

Проводящий рисунок — совокупность всех элементов на отдельном слое ПП, образованных проводящим материалом (печатные проводники, контактные площадки, концевые контакты печатного разъема и др.).

Конструктивные характеристики печатных плат

По точности выполнения печатных элементов конструкции (провод­ ников, контактных площадок и пр.) все ПП делят на пять классов (табл. 8.1): отличающиеся наименьшим номинальным размером в узком месте — участок ПП, где элементы печатного проводящего рисунка и расстояния между ними должны быть выполнены только с минимально допустимы­ ми значениями; 1-й и 2-й классы ПП применяют в случае малой насы­ щенности поверхности ПП дискретными элементами и микросхемами малой степени интеграции; 3-й класс ПП — для микросхем со штыревы-

297

8. Печатные платы

л

а

6

г

Рис. 8.2. Типы печатных плат:

а— односторонняя ПП; б — двусторонняя ПП; в — многослойная ПП;

г— гибкий печатный кабель

ми и планарными выводами при средней и высокой насыщенности поверх­ ности ПП элементами; 4-й класс ПП — при высокой насыщенности поверх­ ности ПП микросхемами с выводами и без них; 5-й класс ПП — при очень высокой насыщенности поверхности ПП элементами с выводами и без них. Для поверхностного монтажа элементов используют в основном 4-й и 5-й классы ПП.

Ширину печатных проводников (рис. 8.3) рассчитывают и выбирают в зависимости от допустимой токовой нагрузки, свойств токопроводящего

298

8.1. Общие сведения о печатных платах

материала, температуры окружаю­ щей среды при эксплуатации. Края проводников должны быть ровны­ ми, проводники — без вздутий, от­ слоений, разрывов, протравов, пор, крупнозернистое™ и трещин, так как эти дефекты влияют на сопро­ тивление проводников, плотность тока, волновое сопротивление и скорость распространения сигналов.

Контактные

Печатные

площадки

Рис. 8.3. Печатные проводники и кон­ тактные площадки

Таблица 8.1. Наименьшие номинальные значения основных размеров элементов печатного монтажа для узкого места в зависимости

от классов точности

Условные обозначения элемен­

 

Класс точности ПП

 

тов печатного монтажа

1

2

3

4

5

 

/, мм

0,75

0,45

0,25

0,15

0,10

s, мм

0,75

0,45

0,25

0,15

0,10

6, мм

0,30

0,20

0,10

0,05

0,025

у = сИН

0,40

0,40

0,33

0,25

0,20

Л/, мм (без покрытия)

±0,15

±0,10

±0,05

±0,03

0; -0,03

At, мм (с покрытием)

+0,25;

+0,15;

±0,10

±0,05

±0,03

-0,20

-0,10

7], мм (ОПП, ДПП, ГПК и МПП —

 

 

 

0,15

0,10

0,05

0,03

0,03

наружные слои)

 

 

 

 

 

Т\, мм (МПП — внутренние слои)

0,20

0,12

0,10

0,05

0,03

Примечание. At — предельное отклонение ширины проводника; Т\ — пози­ ционный допуск расположения печатного проводника.

Расстояние между элементами проводящего рисунка (например, ме­ жду проводниками), расположенными на наружных или в соседних слоях ПП, зависит от допустимого рабочего напряжения, свойств диэлектрика, условий эксплуатации и связано с помехоустойчивостью, искажением сиг­ налов и короткими замыканиями.

Координатная сетка чертежа ПП необходима для координации эле­ ментов печатного рисунка. В узлах пересечений сетки располагаются мон­ тажные и переходные отверстия (рис. 8.4). Основным шагом координат­ ной сетки принят размер 0,5 мм в обоих направлениях. Если этот шаг не удовлетворяет требованиям конкретной конструкции, можно применять шаг, равный 0,05 мм. При использовании микросхем и элементов с шагом выводов 0,625 мм допускается применение шага координатной сетки 0,625 мм.

299

 

8. Печатные платы

 

=3и _ -

В случае необходимости применения коор­

динатной сетки с шагом, отличным от ос­

— <>—

новных,

предпочтительным

является шаг,

кратный

основным шагам

координатной

 

сетки. При использовании микросхем зару­

Шаг

бежного производства с расстояниями меж­

ду выводами по дюймовой системе допуска­

 

Рис. 8.4. Координатная сетка

ется использование шага координатной сетки,

чертежа печатной платы

кратного 2,54 мм.

 

Диаметры монтажных и переходных отверстий (металлизированных и неметаллизированных) должны соответст­ вовать ГОСТ 10317 79 и выбираться из ряда 0,4; 0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 0,9; 1,0; 1,1; 1,2; 1,3; 1,4; 1,5; 1,6; 1,7; 1,8; 2,0; 2,1; 2,2; 2,3; 2,4 ;2,5; 2,6; 2,7; 2,8; 3,0. Монтаж­ ные отверстия предназначены для установки микросхем и ЭРЭ, а переходные отверстия— для электрической связи между слоями или сторонами ПП.

Размеры ПП, если они специально не оговорены в ТЗ, определяются с учетом количества устанавливаемых элементов, их установочных площадей, шага установки, зон установки разъема и пр. Линейные размеры ПП реко­ мендуется выбирать по ГОСТу (табл. 8.2). Соотношение линейных размеров сторон ПП должно составлять не более 3:1.

Кривизна ПП (цилиндрическое или сферическое искривление основа­ ния) может появиться в результате воздействия высокой температуры и влажности (рис. 8.5). Допустимое значение изгиба ПП К на длине 100 мм составляет для ОПП и ДПП 1,5 мм; для МПП — 2,0 мм.

Таблица 8.2. Линейные размеры ПП

Ширина,

Длина,

Ширина,

Длина,

Ширина,

Длина,

Ширина,

Длина,

мм

мм

мм

мм

мм

мм

мм

мм

20

30

 

90

100

120

140

150

40

60

100

130

200

 

 

 

30

40

140

п о

150

 

150

 

 

 

160

170

150

170

40

 

 

 

60

 

75

 

120

180

 

 

 

45

75

75

90

 

140

 

200

80

 

170

 

150

160

170

 

 

 

 

60

80

130

120

160

200

 

 

50

80

140

 

170

 

180

 

 

 

100

 

90

 

180

170

200

 

 

 

 

150

90

120

 

200

 

280

60

60

150

130

200

200

360

 

80

 

170

 

 

 

 

 

 

300

8.1. Общие сведения о печатных платах

У

1

Рис. 8.5. Изгиб печатной платы

Рис. 8.6. Скручивание печатной платы

Коробление ПП (спиральное искривление противоположных кромок основания ПП, скручивание) может привести к разрыву проводников, ос­ ложняет процесс изготовления ПП и установки элементов при сборке моду­ ля (рис. 8.6).

Электрические характеристики печатных плат

Допустимая плотность тока для ОПП, ДПП и наружных слоев Ml 111 — 20 А/мм2; для внутренних слоев МПП — 15 А/мм2. Допустимое рабочее на­ пряжение между элементами проводящего рисунка, расположенными в со­ седних слоях ПП и ГПК, зависит от материала основания печатной платы и не должно превышать следующих значений (табл. 8.3).

Таблица 8.3. Допустимые рабочие напряжения между элементами проводящего рисунка, расположенными в соседних слоях

Расстояние между элементами

Значение рабочего напряжения, В

рисунка, мм

Фольгированный

Фольгированный

 

 

гетинакс (ГФ)

стеклотекстолит (СФ)

От 0,1 до 0,2 включительно

25

Свыше 0,2 до 0,3 включительно

50

Свыше 0,3 до 0,4 включительно

75

100

Свыше 0,4 до 0,5 включительно

150

200

Свыше 0,5 до 0,75 включительно

250

350

Свыше 0,75 до 1,5 включительно

350

500

Свыше 1,5 до 2,5 включительно

500

650

Допустимые рабочие напряжения между элементами проводящего ри­ сунка, расположенными на наружном слое ПП, зависят от материала осно­ вания ПП, условий эксплуатации и не должны превышать следующих зна­ чений (табл. 8.4).

301