книги / Твёрдотельная фотоэлектроника. Физические основы-1
.pdfравна вероятности реализации импульса с числом квантов N = 0:
■Ргш= р(0) = exp ( - N ) ■
Последнее соотношение позволяет найти допустимое значение N, при ко тором обеспечиваются обычно требуемые в оптико-электронных системах зна чения вероятности пропуска сигнала Рпц = 5 10_44-5 Ю-10:
N = In |
= 2,3 lg |
1 |
~ 74-21. |
||
|
П1Ц |
5 10- 4 4 -5 Ю "10 |
Таким образом, требования по вероятности пропуска сигнала удовлетворя ются только при минимально регистрируемой оптической энергии в 7-21 раз большей квантового предела. Отношение сигнала к шуму (шуму сигнала) при этом составляет
—£L= = |
= y/W = V f T 2 l ^ 2,64-4,6. |
(5.8.1) |
V A N 2 |
V N |
|
Минимально обнаруживаемая оптическая энергия для таких импульсов об ратно пропорциональна длине волны излучения:
N |
2 10_19(74-21) |
Дж м |
gmin = Nhv = 2 1СГ197 |
А мкм |
|
|
1 ,4 4 -4 ,2 |
1 (Г 18 |
Дж = (14-80) 1СГ19 Дж.
0 ,5 4 -1 4
Квантовую эффективность т? < 1 реальных фотоприемников можно рассмат ривать как вероятность для одного фотона генерировать один фотоэлектрон. То гда при среднем числе падающих фотонов N генерируется в среднем N c — r/N фотоэлектронов. Теперь статистике Пуассона подчиняется случайное число фо тоэлектронов N c, генерированных в каждом импульсе, и <§min оказывается про порциональным I / 77.
Последующая за фотоприемником обработка случайных сигналов практиче ски не отличается от фотодетектирования детерминированных сигналов. Опти мальным оказывается нешумящий (или малошумящий) усилитель-интегратор с постоянной времени, равной полной длительности импульса Т Выходной сигнал на один электрон такого интегратора пропорционален q/T (так как от ношение сигнала к шуму на выходе малошумящего усилителя не зависит от его коэффициента передачи, примем его равным единице). Интегратор запо минает импульсы от всех фотоэлектронов, поэтому его максимальный отклик в конце оптического сигнала достигает I = qNc/ T Таким образом, усилительинтегратор выступает в роли обыкновенного счетчика фотоэлектронов за вре мя, равное длительности сигнала.
Шум на выходе такого идеализированного фотоприемного устройства неста ционарен. Пока нет сигнала, нет и шума. Поэтому нет необходимости заботить ся о вероятности ложной тревоги: она равна нулю.
После появления оптического сигнала отклик интегратора и его дисперсия начинают расти. Так как случайные величины гвых и N c связаны детерминиро ванным коэффициентом q / T , то их средние значения и дисперсии тоже связаны этим коэффициентом и его квадратом соответственно:
(5.8.2)
где / вых и А /вых — средний сигнал на выходе усилителя и его дисперсия в момент, когда сигнал достигает максимального значения, то есть в конце оп тического импульса.
Соотношение (5.8.2) по форме приведено к известному выражению для дро бового шума (формула Шоттки). Однако здесь в роли тока выступает сам сигнал: в течение эффективного времени наблюдения сигнал создает некий усредненный ток, который и отвечает за шумы сигнала.
Если усилитель не шумит и квантовый выход фотоприемника достаточно высокий, то из сравнений уравнений (5.8.1) и (5.8.2) видно, что потерь в отно шении сигнала к шуму на выходе такого усилителя нет. При этом указанное отношение не зависит от площади фоточувствительного элемента и длитель ности оптического сигнала (или согласованной с ним полосы пропускания усилителя А / = 1/2Т).
Однако, если уменьшать время интегрирования по сравнению с длитель ностью импульса, то быстродействующий усилитель не успевает сосчитать все фотоэлектроны в импульсе и отношение сигнала к шуму будет тем меньше, чем шире полоса усилителя
5.8.2. Ограничение флуктуациями фонового излучения.
5.8.2.1. Квантовые фотоприемники. Ограничение обнаруживаемой опти ческой энергии флуктуациями сигнала важно учитывать в близкой инфракрас ной и в более коротковолновой областях спектра, где иные фундаментальные физические пределы чувствительности не известны.
Для квантовых фотоприемников, чувствительных в более длинноволновых спектральных диапазонах, и для тепловых приемников фундаментальное огра ничение пороговых характеристик, как правило, имеет место при больших уровнях излучения и обусловливается флуктуациями уже не сигнального, а фонового теплового излучения. Это излучение создается фоном, на котором рассматривается объект в кадре, а также попавшими в поле зрения фотоприем ника деталями инфракрасной системы, и может быть описано формулой План ка. При необходимости в формулу Планка вводится коэффициент излучения.
Важнейшей характеристикой фотоприемников для инфракрасной области спектра является их пороговая чувствительность (определяемая как мощность интегрального или монохроматического излучения, при которой отношение сиг нала фотоприемника к его шуму равно единице) или обратная ей величина, ко торую называют обнаружительной способностью фотоприемника и обозначают буквой D (detectivity). Оцен
ка качества фотоприемников производится путем сравне ния их удельной обнару жительной способности (пе ресчитанной к фоточувствительной площадке 1 см2 и по лосе частот усилителя 1 Гц) в максимуме спектральной ха рактеристики
D* (Ат ) = D (Хт) y A K f
с теоретически |
предельной |
|
|
|
|
|
||||
кривой |
для |
идеального |
фо |
|
|
(А.*), мкм |
||||
топриемника, находящегося в |
Р и с . 5.8.1. Предельная обнаружительная |
способность |
||||||||
аналогичных |
условиях. |
Чем |
||||||||
для квантовых (кривая /) и тепловых (кривые 2 и 3) |
||||||||||
больше |
D*(Xm), |
чем |
бли |
приемников |
излучения: / — |
£ C (A m ); |
/' |
— £СД(А) |
||
же она к предельной кривой, |
при Ат = 5 |
мкм; /" — D jfl(А) |
при Ат = 70 |
мкм; 2 — |
||||||
обусловленной шумами фоно |
ДИд(Ат); 2' — ПиД(А) при Ат = 5 мкм; |
2п — £ С (А ) |
||||||||
вого излучения, |
тем лучше |
при Ат = 70 мкм; 3 — £>иД(А5); 3' — |
£>£д(As ) при |
|||||||
Ая = 70 мкм |
|
|
|
|
фотоприемник.
Напомним, что идеальным считается фотоприемник, имеющий равную еди нице квантовую эффективность во всех точках фоточувствительной площадки и на всех длинах волн, меньших или равных Хт, и не создающий собственных шумов. Предполагается также, что при длинах волн, больших Ат , и за пре делами фоточувствительной площадки квантовая эффективность идеального фотоприемника равна нулю. Для такого фотоприемника токовая чувствитель ность к монохроматическому излучению 5ИД(А) при А ^ Хт составляет
с |
/ , s _ Q _ яХ _ |
_А А |
|
•Эйд |
— , |
— , ~ |
1,24 Вт |
|
hi/ |
he |
где размерность [А] в микронах. Таким образом, у идеального квантового фо топриемника максимум токовой чувствительности имеет место при граничной длине волны Хт.
При расчете шумов идеального фотоприемника предполагается, что на него в пределах определенного телесного угла падает фоновое излучение от абсо лютно черного тела с температурой Т Обычно телесный угол составляет 2д
стерадиан, что соответствует плоскому углу зрения 180°, а температура фона близка к комнатной.
Дисперсия плотности падающих фотонов равна интегралу по всем длинам волн А ^ Ат от спектральной плотности фотонов в излучении фонового чер ного тела, умноженной на параметр вырождения 1 + п = /(А ,Т) = где
х = hc/kTX. Удельная же обнаружительная способность для идеального кван тового фотоприемника с плоским углом зрения 180° и граничной длиной волны Ат выражается соотношением
^ид (Ат )
£>ИД ( ^ т ) |
— |
Дня ( А т ) \ / Д Д / |
— |
|
|
|
|
|
|
l2q2 / М (А) 5„д (А) / |
(А, Т) dX |
|
|
|
|
|
|
Зил (Ат) |
=, |
(5.8.3) |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
q J 2 j N(X)f(X,T)dX |
|
||
где М (А) = |
д5(ехрд-1) ““ спектральная плотность мощности излучения от чер- |
|||||
ного тела |
с температурой Т, |
определяемая законом |
Планка; N (А) = |
— |
спектральная плотность фотонов в излучении черного тела.
Формула (5.8.3) справедлива для фотодиодов. Для фоторезисторов и фо тотранзисторов, пороговые характеристики которых определяются не только генерационным, но и рекомбинационным шумом, D^a(Xm) в \/2 раз меньше.
На рис. 5.8.1 в двойном логарифмическом масштабе приведена зависимость £)*д (Ат ) для квантовых фотоприемников, построенная при Т = 293 К — кри вая 1. В диапазоне длин волн до ~15 мкм D*R(Xm) резко падает с увеличе нием Хт: от 1 до 15 мкм D*a(Xm) уменьшается почти на 8 порядков вели чины. При произвольной температуре черного тела уменьшение происходит до А ^1,5А тах, где Хтах(Т) = 2896/Т,К — длина волны, соответствующая максимуму излучения абсолютно черного тела. Уменьшение D*a обусловлено быстрым ростом числа квантов N(Xm) в излучении абсолютно черного тела с увеличением Am-
Этой же причиной вызвана слабая зависимость £>*я от положения корот коволновой границы As спектральной чувствительности, которая выражается
соотношением |
|
D*a(0 . Am) |
(5.8.4) |
£ > И Д i^s • Am) |
|
А,Р;;д(о+Ат П 2 |
|
^т ^ид(0“ |
/ |
Поэтому сравнение с кривыми D*a(O...Am) с успехом используется для оценки качества реальных фотоприемников независимо от коротковолновой
границы их спектральной чувствительности (кроме самых узкополосных по оптическому спектру фотоприемников).
При Хт ^ 15 мкм D*a начинает увеличиваться с ростом Хт. При еще боль ших Ат , когда интеграл в знаменателе (5.8.3) насыщается, обнаружительная
способность |
становится |
пропорцио |
|
|||
нальной Ат . Это объясняется умень |
|
|||||
шением энергии квантов с ростом |
|
|||||
длины волны: в результате токо |
|
|||||
вая чувствительность квантовых фо |
|
|||||
топриемников |
пропорциональна Ат , |
|
||||
при этом |
число шумовых |
квантов |
|
|||
с ростом |
\ т |
остается |
практически |
|
||
неизменным. |
|
|
|
|
||
Предельная |
обнаружительная |
|
||||
способность |
квантовых |
фотоприем |
|
|||
ников с заданной граничной длиной |
|
|||||
волны \ т по той же причине оказы |
|
|||||
вается линейно связанной с длиной |
|
|||||
волны при |
А < |
Ат (кривые |
1' и I", |
|
||
для которых по оси абсцисс Ат (Аа) |
|
|||||
заменяются |
значениями |
текущей |
|
|||
длины волны А). |
|
|
Р и с. 5.8.2. Увеличение £>*(А) в режиме огра |
|||
Так как |
флуктуации |
потока фо |
ничения фотонным шумом в приемнике с |
|||
тонов в излучении абсолютно черно |
охлаждаемой апертурной диафрагмой |
го тела некоррелированы до высоких частот, то для оценки предельной обнаружительной способности фотоприемни
ка с чувствительной площадкой А в полосе частот А / достаточно умножить величину D*a(Xm) на рис. 5.8.1 на s / A A f Если при этом плоский угол зре ния фотоприемника ограничен холодной неизлучающей диафрагмой и 26 < ж, то D^a(Xm) надо еще умножить на l/sin# (рис. 5.8.2)
Предельная обнаружительная способность квантовых фотоприемников в максимуме их спектра пересчитывается к излучению от черного тела с раз ной температурой с помощью данных, подобных приведенным на рис. 2.3.4.
Учитывая важность параметра £>*д(Ат ) для оценки качества инфракрасных фотоприемников (степени их приближения к пределу, обусловленному флук туациями фонового излучения) предложено называть единицу измерения об наружительной способности Вт_1смГц1/2 «Джонсом» в честь исследователя, который впервые ввел этот параметр.
Однако не следует фетишировать этот параметр. Ряд причин (например, утечки по периметру фоточувствительной площадки, небелый спектр собствен ных шумов, шумы усилителя и другие) приводят к отклонению обнаружитель ной способности реальных фотоприемников от теоретически предсказанных ее зависимостей от А и А / Тогда для оценки фотоприемника необходимо ис-
пользовать его пороговую чувствительность (или обратную ей величину — обнаружительную способность) при реальной площадке и в заданной полосе частот.
5.8.2.2. Тепловые приемники. Предельная обнаружительная способность рассчитывается для идеального теплового приемника, обменивающегося энер гией с окружающими предметами только за счет излучения и только с од ной стороны (вторая его поверхность, например, имеет зеркальное покрытие). Пусть за счет выбора материала и конструкции чувствительного элемента или установки оптических фильтров приемник имеет ограниченный диапазон спек тральной чувствительности от Xs до Хт. Удельная обнаружительная способ ность такого приемника получается из уравнения (5.8.3) после умножения спектральной плотности квантов на квадрат энергии фотона (/ш)2 и замены числителя на единицу:
1
D ^ (X a^ \ m ) =
' 2 / (his)2 N (А) / (А, Г ) d \
Xs
1
(5.8.5)
^W H Xs + Xm)
2/1Са / 7ГС/ ( e x p x - l f \ ° d X
Здесь W2(As^A m) — низкочастотная спектральная плотность мощности шумов излучения с площадки 1 см2 в полусферу. Исходя из формулы Планка, легко показать, что
\¥ЦХ3 + Хт) = 2 к Т 2д- {Х^ - Хт). |
(5.8.6) |
Единица в числителе (5.8.5) означает, что у идеального теплового прием ника чувствительность составляет 1 Вт/Вт — вся поглощаемая в нем энергия излучения преобразуется во внутреннюю тепловую энергию чувствительного элемента.
На рис. 5.8.1 приведена также зависимость £>*д(Ат ) для тепловых прием ников при 293 К и Aj = 0 (кривая 2). С ростом Хт величина £>*д монотонно (в отличие от квантовых фотоприемников) уменьшается, достигая минимального значения при Хт —►оо: величина W 2 (Ат ) не убывает с ростом Ат .
При Ат —>оо
dW{Xm) = d(aT4) = 4^Т3
dT dT
и с учетом (5.8.6)
Если принять во внимание флуктуации обратного потока от неохлаждаемого чувствительного элемента к объекту, то D^ in надо еще уменьшить в \/2 раз.
При Ат < Атах кривые для идеализированных квантовых и тепловых при емников практически совпадают. В этом диапазоне мощность излучения от аб солютно черного тела, воспринимаемая приемником, в основном сосредоточена вблизи Хт, то есть почти монохроматична.
Для идеальных тепловых приемников с заданной Ат спектральная чувстви тельность не зависит от длины волны излучения при А ^ Ат (кривая 2').
Можно показать, что для тепловых приемников с ограниченным с обеих сторон спектральным диапазоном предельная обнаружительная способность
D*w (0+ \ r |
|
Д ИД(As • Ат ) — |
(5.8.8) |
_ |
7Ри-д(0-^Ат )У |
V Ш 0-S-A. ) )
На рис. 5.8.1 также показана зависимость £>*д(Аач-оо) для тепловых при емников от коротковолновой границы их спектральной чувствительности (кри вая 3). В отличие от кривой 2, насыщение происходит при As < Amax. В окрест ности Атах начинается подъем D* с ростом As, а при больших As D* возрастает
пропорционально А^2 Кривая 3 будет еще резче нарастает с увеличением As, если Ат конечно.
Горизонтальная линия 3' представляет предельную обнаружительную спо собность теплового фотоприемника с As = 70 мкм и Ат —>оо.
Из рисунка видно, что тепловой приемник, чувствительный в диапазоне 0 -г AJU, значительно уступает квантовому по обнаружительной способности при Ат > Атах (кривые / и 2). Однако паритет между приемниками восстанавли вается, если ввести ограничение их спектров и слева (при As > Amax)-
При дальнейшем сужении спектра минимальный регистрируемый сигнал ограничивается его собственными флуктуациями (конечно, при пренебрежимо малых собственных шумах приемника и последущего электронного тракта).
Видеальном тепловом неохлаждаемом приемнике чувствительный элемент, как уже отмечалось, обменивается энергией только излучением и только с объ ектом измерения. Поэтому через некоторое время, зависящее от его собствен ной теплоемкости, чувствительный элемент принимает температуру объекта измерения (как, например, температура ртути в ртутном термометре).
Вреальных тепловых приемниках необходимо учитывать влияние теплопро водности деталей, фиксирующих чувствительный элемент, на его температуру
ипредельную пороговую чувствительность. Именно эти детали на один и более порядков ухудшают обнаружительные характеристики тепловых приемников.
Дальнейшее повышение обнаружительной способности квантовых и теп ловых приемников достигается при уменьшении апертурного угла, а также фонового излучения, в том числе создаваемого деталями конструкций фотоприемников.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. С п р о у л |
Р . |
Современная физика.—М.: Физматгиз, 1961, 500 с. |
||||||
2. К и т т е л ь Ч. |
Введение в физику твердого тела.—М.: Физматгиз, 1963, 696 с. |
|||||||
3. Ф е л ь д б а у м А . |
и |
д р . Технические основы связи и управления.—М.: Физматгиз, |
||||||
1963, 932 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
4. Х и л с у м |
К . |
и |
д р . |
Полупроводники типа АщВу.—М.: ИИЛ, 1963, 323 с. |
||||
5. Р ы т о е |
С . М . |
Введение в статистическую физику.—М.: Наука, 1966, 404 с. |
||||||
6. М а д е л у н г |
О . |
Физика полупроводниковых соединений элементов III и V групп.— |
||||||
М.: Мир, 1967, 478 с. |
|
|
|
|||||
7. |
Оптические свойства полупроводников. Под редакцией У и л л а р д с о н а Р . и Б и р а |
|||||||
А.-М .: Мир, 1970, 488 с. |
|
|
||||||
8. Е п и ф а н о в |
Г . И . |
Физические основы микроэлектроники.—М.: Советское радио, |
||||||
1971, 376 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
9. С в е ч н и к о в |
С . В . Элементы оптоэлектроники.—М.: Советское радио, 1971, 272 с. |
|||||||
10. Ш а л и м о в а |
К . В . |
Физика полупроводников.—М.: Энергия, 1971, 312 с. |
||||||
11. Х а д с о н Р . Инфракрасные системы.—М.: Мир 1972, 534 с. |
||||||||
12. З и н о в ь е в |
А . Л . , |
Ф и л и п п о в Л . И . |
Введение в теорию сигналов и цепей.—М.: |
|||||
Высшая школа, 1973, 264 с. |
|
|
||||||
13. Г р и б к о в с к и й |
В . П . Теория поглощения и испускания света в полупроводниках.— |
|||||||
Минск: Наука и техника, 1975, 464 с. |
|
|||||||
14. М о с с |
Т . , |
Б а р р е л |
Г . , |
Э л л и с Б . Полупроводниковая оптоэлектроника.—М.: Мир, |
||||
1976, 431 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
15. Г о н о р о в с к и й |
И . |
С . Радиотехнические системы и сигналы.—М.: Советское радио, |
||||||
1977, 608 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
16. З е е г е р |
К . |
Физика полупроводников.—М.: Мир, 1977, 615 с. |
||||||
17. О с и н с к и й |
В . И . |
Интегральная оптоэлектроника.—Минск: Наука и техника, |
||||||
1977, 248 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
18. |
У х а н о в Ю . И . |
Оптические свойства полупроводников.—М.: Наука, 1977, 368 с. |
||||||
19. К р и к с у н о в |
Л . |
3 . |
Справочник по основам инфракрасной техники.—М.: Советское |
|||||
радио, 1978, 400 с. |
|
|
|
|
||||
20. |
Фотоника. Под редакцией Б а л к а н с к и М . и Л е л е м а н а П — М.: Мир, 1978, |
|||||||
416 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
21. В а н д е р |
З и л |
А . |
Шумы при измерениях.—М.: Мир, 1979, 292 с. |
|||||
22. А х м а н о в |
Е . А . , |
Д ь я к о в Ю . Е . , Ч и р к и н А . С. Введение в статистическую радио |
||||||
физику и оптику.—М.: Наука, 1981, 640 с. |
||||||||
23. |
М и р о ш н и к о в М . М . |
Теоретические основы оптико-электронных приборов.— |
||||||
Ленинград: Машиностроение, 1983, 686 с. |
||||||||
24. Я р и в А . |
Введение в оптическую электронику.—М.: Высшая школа, 1983, 398 с. |
|||||||
25. З и С . |
Физика полупроводниковых приборов. В 2 книгах.—М.: Мир, 1984, 456 |
|||||||
и 486 с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
26. |
Фотоприемники |
видимого и |
инфракрасного диапазонов. Под редакцией |
Р . Д ж . К и е с а . — М.: Радио и связь, 1985, 328 с.
27 Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах.—М.: Мир, 1986,
399с.
28.Фотоприемники и фотопреобразователи. Отв. редакторы Ж. И. Алферов и
Ю.В. Шмарцев.—Ленинград: Наука, 1986, 288 с.
29.Госсорг Ж. Инфракрасная термография.—М.: Мир, 1988, 416 с.
30.Сальков Е.А. Основы полупроводниковой фотоэлектроники.—Киев: Наукова
думка, 1988, 280 с.
31.Суэмацу Я. и др. Основы оптоэлектроники.—М.: Мир, 1988, 288 с.
32.Гауэр Дж. Оптические системы связи.—М.: Радио и связь, 1989, 504 с.
33.Носов Ю.Р. Оптоэлектроника.—М.: Радио и связь, 1989, 360 с.
34.Порфирьев Л.Ф. Основы теории преобразования сигналов в оптико
электронных системах.—Ленинград: Машиностроение, 1989, 387 с.
35. Мосягин Г.М., Немтинов В. Б., Лебедев Е.Н. Теория оптико-электронных систем.—М.: Машиностроение, 1990, 432 с.
36. Андреев Ю.М., Петров А. С. и др. Элементная база оптико-электронных приборов.—Томск: Аско, 1992, 274 с.
37 Тришенков М .А . Фотоприемные устройства и ПЗС.—М.: Радио и связь, 1992,
400с.
38.Курбатов Л.Н. Оптоэлектроника видимого и инфракрасного диапазонов
спектра.—М.: Издательство МФТИ, 1999, 320 с.
39. Мартынов В.Н., Кольцов Г. И. Полупроводниковая оптоэлектроника.—М.: Издательство МИСИС, 1999, 399 с.
40.Справочник по инфракрасной технике в 4 томах.—М.: Мир, том 1, 1995, 606 с. том 2, 1998, 347 с.; том 3, 1999, 472 с.; том 4, 1999, 472 с.
41.Барышев Н. С. Свойства и применение узкозонных полупроводников.—Казань: Унипресс, 2000, 434 с.
42.Евтихиев Н. Н. и др. Информационная оптика.—М.: Издательство МЭИ, 2000,
612 с.
43.Кравченко А. Ф., Овсюк В.Н. Электронные процессы в твердотельных системах
пониженный размерности.—Новосибирск: Издательство НГУ, 2000, 448 с.
44.Парвулюсов Ю.Б., Якушенков Ю.Б. и др. Проектирование оптико
электронных приборов.—М.: Логос, 2000, 488 с.
45. Овсюк В.Н., Асеев А. Л. и др. Матричные фотоприемные устройства инфра красного диапазона.—Новосибирск: Наука, 2001, 375 с.
46. Воробьев Л.Е. и др. Оптические свойства наноструктур.—СПб.: Наука, 2001,
188с.
47 ПихтинА. Н. Оптическая и квантовая электроника.—М.: Высшая школа, 2001,
573с.
48.Шретер Ю .Г и др. Широкозонные полупроводники.—СПб.: Наука, 2001, 125 с.
49.Сивухин Д. В. Общий курс физики. Том 4. Оптика.—М.: Наука, 2002, 791 с.
50.Ю П., Кардона М. Основы физики полупроводников.—М.: Физматгиз, 2002,
560с.
51.Бутиков Е.И. Оптика.—СПб.: Невский диалект, 2003, 480 с.