
книги / Математические модели элементов интегральной электроники
..pdfкак для ее применения требуется провести меньший объем предварительных измерений на тестовых транзи сторах.
4.3.Электрические модели
Вгл. 1 отмечалось, что для расчета схем на дискрет ных компонентах целесообразно использовать модели, построенные относительно электрических параметров («электрические модели»). Дискретные компоненты ха рактеризуются системой электрических параметров, ко торые достаточно просто определяются из электрических измерений токов и напряжений на выводах прибора. Электрические модели также могут быть с успехом использованы для электрического анализа характери
стик ИС; в этом случае их параметры рассчитываются
спомощью физико-топологических моделей. Электрические модели (в отличие от формальны^)
строятся с учетом физики работы приборов, но с введе нием упрощений, которые позволяют достигнуть необхо димой компактности. Возникающие из-за этого неточно сти компенсируются тем, что используемые уравнения сопрягаются с реальными или рассчитанными с помо щью физико-топологических моделей характеристиками прибора и параметры модели определяются из условия достижения наилучшего совпадения.
Для МДП-транзистора наибольшее распростране ние получила электрическая модель, предложенная А. Н. Кармазинским и др. [3]. К числу ее параметров относятся крутизна, пороговое напряжение, коэффициент влияния подложки и др. Рассмотрим уравнения харак теристик -МДП-транзистора, полученные Са [9] с учетом влияния заряда подложки:
/с = k{2’\ u |
; - и |
о- £ /„ ) (Uc - и н) - (Uc - и ну + |
+ 2£/йГ([/с1- |
Un) y |
</«Soc [(<Ро - f Ucf 2 - : ( * . + UBf 2]}, |
|
|
(4.Н2) |
где £= р.рС(рСд2/2/, —удельная крутизна.
Из-за громоздкости и наличия трансцендентных функций выражение (4.И2) непригодно для аналитиче ского расчета схем. Поэтому его целесообразно аппро ксимировать полиномом с целочисленными показателя ми степени. Из (4.И2) видно, что первые два слагаемых описывают характеристики транзистора без учета влия-
ния подложки по простейшей модели; остальные вносят поправку, связанную с влиянием заряда обедненного слоя подложки Qoc. Рассмотрим функцию, соответст- р,тгщую этим слагаемым:
F (Uc, у * <р.) = - / » б « [ ( » Uc+ )3,s -
-(< ?> + U »f2\ - 2 U B(U t-U n).
Разложим эту функцию в ряд Тейлора в окрестности точки С/с=С/и=С/*:
|
F (Ус, У,» <Р.) = 2ВЖ[(<р, + У * )1'2 (Ус - |
У*) - |
|
- |
(?. + у *),/2 (У ..-У * )]+ (Всс/2) [(у. + У * ) - ,/г (У с - У*)‘- |
||
- |
(<Р. + У * Г ,/2 (Уи - У*)2)!— 2Уд(Ус - |
У„) + |
Я«т, (4.113) |
где i?0cT — остаточный член разложения. |
|
||
|
Пренебрегая в (4.113) R0ст (это обосновано в [3]) и |
||
подставляя полученные выражения в |
(4.112)» получаем |
следующее уравнение вольт-амперных рсарактеристик МДП-транзистора в крутой области:
/с = £ {2 [С/3 — С/0 — С/,Г— т\ ( U U — {/*,)] (U c —
|
- |
C/„) - |
(1 + Ч) (С/с - С/„)2}. |
(4.114) |
|
Здесь С/* = |
К«р0 (С/*+ |
?0) |
TJ—коэффициент влияния |
||
подложки: |
|
|
|
|
|
|
|
Ч = |
Ясс/ (2 К ?о+ ^ *)- |
(4.115) |
|
Из (4.114) |
видно, что если разложение в ряд функции |
||||
F(UCt С/,г) |
производится в окрестности точки С/с=С/и= |
||||
= С/* = 0, то |
U*1= 0 и выражение для тока принимает |
||||
вид |
|
|
|
|
|
/ с = к {2 [ £ /,- 1/0- |
(1 + тО С/„] (С/с- |
С/„) - '(1 + |
ч) (С/с- С/„)Ч. |
||
|
|
|
|
|
(4.116) |
Аналогичное уравнение вольт-амперных характери стик можно получить из физических соображений, используя для этого общее выражение для тока (4.30), в котором проведены усреднение подвижности и линеа ризация зависимости заряда подвижных носителей QP OT потенциала канала <p=tp0+ С/. Аппроксимируем нелиней-
232
ную зависимость Q0с(^)= С дБ0с У'фо+ £/ (4.111) линей ным выражением, совпадающим с точным (.при £/=0):
Q<* = CAqjB+ m ) . |
(4.117) |
С учетом (4.117) аппроксимирующее выражение для заряда канала будет также линейно связано с потен циалом U
Qp = Q 3 - (Зпов- Q o c = С д [f/з - U 0 - (1 + 1 , ) и \ . (4 .1 1 8 )
Интегрируя выражение для тока (4.30) по длине канала от Ua до Uc и учитывая принятые аппроксимации, по лучим уравнение для тока стока, аналогичное (4.116).
Рис. 4.27. Аппроксимация зависимо сти заряда подложки от напряжения канала 1 линейной функцией; 2, 3 — интерпретация результатов работы
Коэффициент влияния подложки т|, вообще говоря, зависит от режима, но в уравнениях модели он считает ся постоянным. В работе [3] этот коэффициент выбирает
ся равным gr- “^ г |^ э (кривая 3 на рис. 4.27). Для
большей точности выберем коэффициент влияния под ложки из условия сопряжения точной кривой 1 с ее ли нейной аппроксимацией при максимальном напряжении канала £/м (кривая 2 на рис. 4.27):
7| = [Вое (Г. + £/„)'/2 - и ву и и. |
(4 .119) |
Напряжение отсечки канала определяется из условия равенства нулю заряда канала Qp [в выражении (4.118)}
t/oTc-=(^3-t/o)/(l+^)* (4.120)
Условие отсечки транзистора по истоку, определяю щее границу между крутой областью характеристик и областью отсечки, записывается в виде
£/и> (£ /э-£ /о )/(1 + т ]). |
(4.121) |
233
Условие перехода транзистора из крутой области В по логую имеет вид
£/с>(£/з-£/о)/(1+т1). (4.122)
В пологой области характеристик зависимость тока сто ка от управляющих напряжений определяется следую щим уравнением (3]:«
1^3- ^ - u + w j 1 + |
|
+ ^ [ ( и с - и 3- и , ] - ч и я)\, |
(4.123) |
где L0= V 2en£oU0/(qND) — характеристическая толщина слоя объемного заряда в подложке при напряжении £/0.
Таким образом, введение аппроксимаций для ррэ и Qoc позволяет получить сравнительно простые аналити ческие выражения для вольт-ампериых .характеристик и основных параметров транзистора. Недостатком этой модели является низкая точность, которая получается, если электрические параметры модели попытаться вы разить через физические. Это объясняется тем, что при выводе выражений для тока мы пренебрегли рядом важ ных эффектов. Поэтому заранее неизвестно, какие зна-
Рис. 4.28. Эксперименталь ное определение электриче ских параметров модели
МДГ1-транзистора:
а—зависимость])//с*= fi(U3);
б —зависимость напряжения
отпирания от смещения истока.
чения электрических параметров выбрать (т. е. неиз вестно, как усреднить подвижность, как коэффициент т] вычислить через физические параметры), чтобы полу чить хорошее совпадение с реальными характеристиками МДП-транзистора. Следовательно, коэффициенты элек трической модели МДП-транзистора можно определить из сопряжения зависимостей (4.116), (4.123) с экспери ментальными или рассчитанными с помощью физико топологической модели характеристиками прибора. При этом мы автоматически получим правильно усреднённые значения /г, т) и т. д.
Удобная последовательность определения параметров модели предложена А. Н. Кармазинским и др. [24].
Объединяем затвор со стоком, на истоке устанавливаем напряже ние = 0 и находим зависимость V7c = f (Уз)- Условие Uc — Uз
означает, что транзистор находится в пологой области вольт-ампер- ных характернст}1к вблизи границы с крутон областью. Если в урав
нении (4.123) пренебречь членом, отражающим эффект ‘уменьшения длины канала, то должна получиться линейная зависимость
V u = У Щ \ + •<]) (Уз — и . ) . |
(4 .124) |
Аппроксимируя теперь нелинейную экспериментальную зависимость
(рис. 4.28,а) прямой линией, по ее |
пересечению с осью абсцисс «най |
дем значение £/3=С/о, а по наклону |
tg 0 = V'kf{\ + T J) . |
Затем найдем экспериментальную зависимость напряжения отпи рания МДП-транзистора от U„. Для каждой величины U„ подб.ч- рается такое значение ГА,, при котором в цепи стока протекает до статочно малый ток, например 1 мкА (рис. 4.28,6). Согласно модели (4.121), зависимость напряжения отпирания по затвору от напряже
ния истока должна быть линейной |
|
Ua = Uo + (1 +М ) Un. |
(4.125) |
Аппроксимируем реальную’ нелинейную зависимость (рис. 4.28,6), прямой линией; наклон этой прямой определяет коэффициент влия ния подложки
т)= (С/э м—Uo)fUn м, |
(4.126) |
где Uaм, U„ м — максимальные рабочие значения напряжений затво
ра и истока. Используя (4.124), определим последний коэффициент модели — удельную крутизну:
* = (tg 0 )2(l+ ll) . |
(4-127) |
Рассмотренная электрическая модель МДП-транзи стора обеспечивает точность совпадения расчетных вы ходных характеристик с экспериментальными на уров не 10—20%.
Для анализа переходных процессов с помощью этой модели можно использовать одну из эквивалентных схем МДП-транзистора, рассмотренных в § 4.3. Генера тор тока в этой эквивалентной схеме описывается урав нениями ,(4.116), (4.123); емкостные коэффициенты должны быть измерены. Обычно для получения анали тических оценок используется упрощенная эквивалент ная схема МДП-транзистора, включающая только вход ную (затвор — исток) и выходную емкость сток — под ложка, к которой добавляется емкость затвор — сток с некоторым коэффициентом) емкости [3]. На практике часто применяются гибридные модели, в которых при описании статических характеристик используются уравнения электрической модели с параметрами, опре деляемыми из внешних электрических измерений,
а емкостные коэффициенты рассчитываются по тополо гии прибора.
В качестве уравнений электрической модели МДПтранзистора могут быть также использованы уравнения аппроксимации |(4Л01)—(4.103), которые дополнительно
влинейной форме учитывают модуляцию подвижности.
Вэтом случае коэффициенты ka, х, т], go могут быть определены из внешних электрических измерений.
Взаключение еще раз отметим, что прежде чем использовать уравнения (4.116), 1(4.123) для расчета схем, необходимо провести электрические измерения параметров всех МДП-транзисторов или рассчитать их с помощью физико-топологической модели. Поэтому электрические модели пригодны для решения задач оптимизации только в сочетании с физико-топологиче скими моделями, так как при оптимизации геометриче ские параметры транзисторов |(длина и ширина канала) могут заметно изменяться, что приводит к изменению электрических параметров.
Тем не менее, на этапе предварительного схемотех нического анализа электрические модели можно и даже целесообразно применять для расчета 'МДП ИС. В этом случае задаются усредненными типовыми значениями порогового напряжения U0 и коэффициента влияния подложки т|. Удельную крутизну к для каждого прибора считают пропорциональной отношению Z/L. Оценочные расчеты бывают особенно полезными для простейших логических схем (инверторов, триггеров); при этом удается получить зависимость качественных показателей схем от -параметров МДП-транзистора в явном виде. Такая информация необходима на этапе предваритель ного анализа для сравнения различных схемотехниче ских вариантов и выбора начальных значений параме тров проектируемой схемы. Окончательные значения параметров (длины и ширины каналов) могут быть получены только после проведения расчетов на ЭЦВМ
сиспользованием физико-топологической модели. Формальная аппроксимация выходных характери
стик МДП-транзистора [б] не получила широкого рас пространения, поскольку основанные на ней модели не отражают физических процессов в приборе, а с точки зрения затрат машинного времени они не имеют преиму ществ перед рассмотренной компактной электрической моделью.
4.4. Малосигнальные модели
Малосигнальная модель прибора может быть легко получена из модели для большого сигнала. Для этого все сопротивления и генераторы токов в ней следует заменить их дифференциальными параметрами. Емкост ные элементы остаются без изменения. Так как малосиг нальные модели применяются для расчета таких пара метров линейных схем, как коэффициент усиления, частотно-фазовые характеристики, величина искажения сигнала и т. д., то они должны более полно (по сравне нию с моделями для большого сигнала) отражать про водимости и емкостные связи между выводами прибора.
Рассмотрим пример построения низкочастотной ма лосигнальной эквивалентной схемы активной области МДП-транзистора с помощью метода заряда. Низкоча стотная эквивалентная схема применима до частот /=100—150 МГц, при которых собственной инерцион ностью прибора можно пренебречь. Можно считать, что при таких частотах распределение зарядов Q3, Qoc, Qp близко к стационарному и ток безынерционно «следит» за напряжениями на электродах U3t & с, £/'«. Для про стоты будем считать, что зависимостью подвижности от поперечного и продольного полей можно пренебречь. Это допущение справедливо при напряжениях U3<^U1<Xt Uc<.'Ul<Vi т. е. при напряжении затвора С/3~ 5—10 В. Методика построения эквивалентной схемы для больших U3 аналогична 'приведенной.
Перепишем выражения для |
зарядов (4.93) с учетом |
||
того, что подвижность р.рэ считается постоянной: |
|||
J Q3Qp dU |
|
|
|
|
|
|
Q>n(Us-U'H,U3- U 'CtU3), |
f |
QpdU |
|
|
"A 'c |
_ |
_ |
(4.128) |
u 'c |
|||
j* |
QocQpdU |
|
ГД® Q p = |
Q a — Q n o a |
Q o c . |
Напомним, что (>3, Qoc, Qp, <?пов нормированы к Сд. При-.построении-' малбсигнальной модели не будем вводить упрощения (4.88), при которых заранее опреде лен вид эквивалентной схемы (рис. 4.18). Дифференци руя (4.128) и обозначая малосигнальные токи и напря
жения малыми буквами, получаем
|
дфз п |
/ * |
___ ' / |
ч I |
3Q, |
п у |
|
д Ф, — U'„) ^ |
|
|
"Чз |
|
|||
и ”)'Т а(У3 —С/'с) х |
|||||||
X («3 - |
И'с)+ |
|
йэ = |
С'з а (йа - |
й!.) + |
||
- | - |
С * Э С (И э |
•— |
И #с ) |
С ^ з п И з , |
|
(4.129) |
|
|
dQoc П |
U1я |
dQoc |
|
|
||
|
df/'и |
7“ W*c + |
|||||
|
- и 1 |
dUr, |
|
|
|||
aQ« |
•СГц nUfR-\-С'спи'с “ |“ |
С'из # з . |
|||||
асу3 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
Здесь, как и ранее, штрихом выделены элементы, отно сящиеся к активной области.
Рис. 4.29. Низкочастотные малосигнальные схемы активной области МДП-транзистора:
a—четырехэлектродное включение; б —включение при объединенных истоке
иподложке.
Можно показать [6], что коэффициент С'зп< 0 и С'311= —С'пз и, следовательно, соответствующий этому коэффициенту элемент эквивалентной схемы является «отрицательной емкостью» (т. е. увеличение во времени напряжения на этом элементе приводит к уменьшению
тока, протекающего через него). Из |
равенства |
С'зп= |
= —С'пз следует, что вторым выводом этот |
элемент |
|
подключается к электроду подложки. |
Для отражения |
238
такого элемента в эквивалентной схеме Надб между за твором и подложкой включить генератор тока С'3пЫ3, направленный от подложки к затвору (рис. 4.29,а). Вы ражения для емкостных параметров эквивалентной схе мы определяются дифференцированием (4.129).
Теперь определим необходимые дифференциальные проводимости. В малосигиальной эквивалентной схеме ток /с, протекающий между истоком и стоком, характе ризуется двумя элементами: малосигнальной проводи мостью стока g c и генератором тока ic'
i'c = |
gbU-з4" (8»4" 8е) и'к> 8э = dlcjdUs, |
^ 130) |
gc = |
dIcjdU'e, gu=dIc!dU’a. |
К’ |
Для того чтобы убедиться в этом, запишем выражение для тока стока (4.31), считая, что подвижность р,рэ= = const, и используя формулу для удельного заряда ка нала (4.20):
"'с
= CA|XPSZ /I. |
(4.131) |
Продифференцируем это выражение по напряжениям
U'a, U’с. и'ж:
ga = |
dh/dUa = |
k (Wс - {/'„). |
|
go = |
dlofdU’o = |
k{Ua-U. + t / a - W 'c - |
|
|
-B^V V o+U 'o), |
(4.132) |
|
ga = dlotdU'a = - k ( U a - U o + UB\ - |
|
—U'„ — Boo |/?o "t- U'tt).
Сучетом этих выражений малосигнальный полный ста тический ток можно 'записать в виде
i ' c П = gbUz4 “ 8С^'С+ |
— |
= £зИз 4" £с‘(и'с*— U'и) 4- (gH4gc) W'u*
Поэтому в эквивалентной схеме между истоком и сто ком следует включить параллельно проводимость gc и генератор тока 1'с=£з«з+,(£и+£с) и'п. Если исток объединен с подложкой, то эквивалентная схема значи тельно упрощается (рис. 4.29,6).
Для того чтобы получить полную эквивалентную
схему |
МДП-транзистора, |
надо |
дополнить |
схему |
|||
рис. 4.29,а паразитными |
емкостями |
и малосигнальными |
|||||
проводимостями. |
высокочастотные |
эквивалентные |
|||||
Малосигнальные |
|||||||
схемы |
можно получить |
с |
помощью |
малосигнального |
|||
|
|
|
|
анализа |
уравнения |
непре |
|
°—тН — 1—II— |
ъС' |
|
рывности для удельного за |
||||
|
ряда канала (4.19). Такой |
||||||
|
|
|
|
анализ, |
проведенный в рабо |
||
|
|
|
|
тах [26, 6] для случая, когда |
|||
•о _ л ± ______ |
-°и |
|
влиянием заряда обедненно |
||||
|
го слоя |
и зависимостью по |
|||||
Рис. 4Я0. Высокочастотная мало- |
движности |
.можно |
прене |
||||
бречь, |
приводит к |
эквива |
|||||
снгнальная |
эквивалентная |
схема |
лентной схеме рис. 4.30. Па |
||||
активной области АГДЛ-транзи- |
|||||||
стора. |
|
|
|
раметры эквивалентной схе |
|||
чина 5» |
|
|
|
мысведены в табл. 4.3. Вели |
|||
которая характеризует режим |
работы |
прибора, |
равна нулю в режиме отсечки и становится равной едини це в пологой области. Теоретические зависимости элемен
тов эквивалентной схемы |
от режима |
приведены на |
ис. 4.Э1. С увеличением |
тока стока |
сопротивления |
'зи и R'ao увеличиваются; в пологой области Я'зп пе рестает зависеть от тока, a R'3C— >-оо. Постоянная вре мени т' минимальна при /с=0 и увеличивается с ростом этого тока.
Рис. 4.31. Теоретические зависимости параметров высокочастотной эквивалентной схемы от тока стока.