
- •Ю.П. Демаков
- •Предисловие
- •Введение в физику полупроводников
- •1.1. Виды химической связи в материалах
- •1.2. Cтруктура твердых тел. Дефекты структуры
- •1.3. Квантование в атомах
- •1.4. Зонная структура твердых тел
- •1.5. Квантовая статистика электронов в кристаллах
- •1.5.1. Уровень Ферми. Работа выхода электронов
- •1.5.2. Функции распределения электронов по энергиям
- •1.5.3. Волновые свойства электронов в кристалле
- •1.5.4. Зоны Бриллюэна
- •1.5.5. Фононы
- •1.5.6. Эффективная масса носителей заряда
- •1.5.7. Сложная структура энергетических зон кристаллов в k-пространстве
- •1.6. Основные сведения о полупроводниковых материалах
- •1.6.1. Носители заряда в полупроводниках
- •1.6.2. Собственные полупроводники
- •1.6.3. Примесные полупроводники
- •1.6.4. Вырожденные полупроводники
1.6.4. Вырожденные полупроводники
Как уже отмечалось выше (п. 1.6.3), к вырожденным полупроводникам относятся примесные полупроводники с высокой концентрацией атомов легирующих примесей, достигающей 1024...1026м-3. На основе этих полупроводниковых материалов изготавливают такие компоненты, как туннельные диоды, лазерные и термоэлектрические устройства, некоторые элементы интегральных схем.
Особенностью сильно легированных полупроводников является то, что при достаточно высокой концентрации легирующей примеси примесный уровень размывается в примесную зону. При некоторой, достаточно высокой, концентрации примеси примесная зона расширяется настолько, что сливается с краем разрешенной энергетической зоны, как это показано на рис. 1.26 на примере электронного полупроводника.
Следствием расширения примесной зоны является снижение энергии ионизации примесных атомов практически до нулевого значения. В вырожденном полупроводнике уровень Ферми оказывается внутри примесной зоны, примыкающей к зоне проводимости или валентной зоне (в зависимости от типа легирующей примеси), а вероятность "заселения" этой зоны носителями заряда приближается к единице.
Критическая
концентрация носителей заряда,
,
приводящая к вырождению полупроводника,
определяется из выражения
,
(1.45)
где m*- эффективная масса носителей заряда;Wпр- энергия ионизации примеси;B=4(4e/3h2)3/2 - постоянный коэффициент;e 2,73 - основание натуральных логарифмов.
Следовательно,
критическая концентрация носителей
заряда, при которой наступает вырождение
полупроводника, определяется эффективной
массой m*носителей заряда и
энергией ионизацииWпрпримесных атомов. Расчеты показывают,
что приm*=0,3mиWпр=0,03эВ
значение=21025
м-3.
Вследствие обращения в нуль энергии ионизации примесных атомов, в сильно легированном полупроводнике концентрация носителей тока в зоне проводимости перестает зависеть от температуры в диапазоне от абсолютного нуля вплоть до температуры перехода к собственной проводимости.
Контрольные вопросы и упражнения
1. Приведите характеристики различных видов химических связей.
2. Дайте определения аморфной и кристаллической структур. В чем заключаются различия между ними ?
3. Перечислите кристаллографические системы.
4. Перечислите и дайте характеристики основных типов сложных элементарных кристаллических ячеек.
5. Приведите характеристики основных типов дефектов кристаллической решетки. Причины образования дефектов ?
6. Перечислите квантовые числа, характеризующие состояние изолированного атома, дайте их определения.
7. Сформулируйте принцип запрета Паули.
8. Выведите выражение для подсчета максимального числа электронов, находящихся в оболочке и слое атома.
9. Напишите выражения для электронных конфигураций следующих атомов: 6C, 26Fe, 29Cu, 32Ge.
10. Объясните процесс снятия вырождения уровней при сближении атомов. Сказанное поясните с помощью энергетических зонных диаграмм.
11. Докажите, что размерность функции плотности состояний N(W) в формуле (1.7) равна м-3Дж-1. Поясните физический смысл членов, входящих в это выражение.
12. Нарисуйте энергетические зонные диаграммы металла, полупроводника, диэлектрика и объясните их различия.
13. Сформулируйте постулаты квантовой теории атомов и электронов в кристалле.
14. Рассчитайте по формуле (1.17) значение энергии WF в кристалле серебра (M=108, р=10,5103 кг/м3).
15. Дайте определение функции Ферми-Дирака. По формуле (1.10) постройте график этой функции для Т=300 К.
16. По формуле (1.28) постройте график зависимости энергии электрона W(k), выраженной в эВ, в одномерной кристаллической структуре с параметром а=0,5 нм. Значение массы электрона m примите равной массе покоя (mо=9,110-31 кг), значение =10-19 Дж.
17. Оцените минимальную длину волны де Бройля в кристалле кремния.
18. Приведите определение полупроводниковых материалов, перечислите основные виды полупроводников.
19. Природа носителей тока в полупроводниках. Объясните, в чем заключаются процессы генерации и рекомбинации носителей тока в полупроводниках.
20. Для чего используется понятие эффективной массы носителей тока в полупроводниках? Выведите выражение для эффективной массы носителей заряда.
21. Нарисуйте структуру энергетических зон кремния и арсенида галлия. Дайте определения прямозонных и непрямозонных полупроводников.
22. Как изображаются энергетические зонные диаграммы полупроводников?
23. Нарисуйте энергетические зонные диаграммы электронного и дырочного полупроводников.
24. Объясните причины появления вырожденного состояния полупроводника, приведите примеры применения вырожденных полупроводников.
Браве решетки 53
Дефекты решетки
- дислокации 60
- точечные 59, 60
Закон
- равновесия масс 90
Индексы Миллера 57, 58
Квантовые числа 61
Кристаллические структуры 53
Кристаллографические системы 55
кристаллографическими сингониями 54
Паули принцип 67
Плотность состояний
- функция 65
Полупроводники
- вырожденные 95
- дырочные 94
- собственные 90
- электронные 92
Потенциал энергетический 90
Работа выхода
- полная 68
- термодинамическая 68
Рекомбинация
- коэффициент рекомбинации 89
- скорость рекомбинации 89
Структуры
- аморфно-кристаллические 59
- аморфные 53
- кристаллические 53
- поликристаллические 59
- сфалерит 56
Уравнения
- де-Бройля 71
Уровень Ферми 68
Фононы
- акустические 77
- оптические 77
Функция распределения
- Больцмана 69
-Ферми- Дирака 68, 70
Химическая связь
- ионная 52
- ковалентная 51
- металлическая 52
- молекулярная 53
Электронная конфигурация 63
Эффективная масса 78, 79
Ячейка элементарная
- примитивная 53
- сложная 54