![](/user_photo/_userpic.png)
книги из ГПНТБ / Балябин А.Н. Твердотельные приборы СВЧ учеб. пособие
.pdf- 90 - кольких разделенных по энергии подзон, называемых доли
нами. На рис. 59 приведена упрощенная энергетическая диаграмма Gads я-типа. Б зоне проводимости изображены
Рис.59. Упрощенная энергетическая диаграмма
6 а As л-ілпа. |
- |
две долины: нижняя' 1 и верхняя 2. Раэность энергетичес ких уровней между минимальными значениями энергии в до линах составляет ДІѴ^О.Зб эВ. При отсутствии внешнего электрического поля средняя энергия электронов в образ це П-GaAsопределяется их тепловой энергией К~Г , и при
комнатной температуре . 7~а =300 =0,025 эВ. Так как
t
«T0 « A W » практически все электроны проводимости будут
находаться в нижней долине. В таком состоянии электроны
***.
обладают малой эФ'гективной массой т ^ 0 , 0 ? т0 , где /П0-
ыасса свободного электронами высокой аодвижностьс
- 91
ßJ, - ?000 CM/'â<z - При увеличении напряженности элек
трического поля в полупроводнике дрейіовая скорость я кинетическая энергия электронов возрастаютКогда энер гия, полученная электронами от электрического поля, ста новится сравнимой с дИ/ , возникает перераспределение электронов между нижней и верхней долинами в зоне про водимости« Так как в арсениде галлия в верхней долине разрешенных уровней примерно в 60 раз больше, чем в ниж ней долине, то при достаточно сильных полях почти все электроны переходят в верхнюю долину и оказываются в состоянии, которое характеризуется значительно более
низкой подвижностью yW^-200 СЛ1//3 С и большей эффектив
ной массой /Г)0
Междолинный переход электронов происходит практи
чески мгновенно.. Влияние времени перехода начинает вли ять на параметры МЭП-приборов на частотах свыше 100 ГПц
[И ] .
Для существования меядолинного перехода электронов
необходимы следующие условия. |
|
|
1. Наличие в |
зоне проводимости полупроводника ми |
|
нимумдвух долин с |
энергиями |/|/ и |
-такими, чтобы |
Wz -W t > кТ0 .
В нижней долине, электроны должны иметь значитель но более высокую подвижность, чем в верхней ( ß J ,»
3. Кирина запрещенной зоны должна быть значительн больше AW-hßli/, чтобы напряженность поля, необходимая для осуществления меядолинного перехода электронов, бы ла значительно меньше напряженности пробойной ионизации полупроводника.
-\)2 -
Отрицательная дифференциальная проводимость
В образце 2-долинного полупроводника в стационар
ном состоянии 5 - con st проводимость элементарного
объема, в пределах которого концентрация носителей одно родна (nQ= const) , можно выразить как
|
|
(n,jut ч-nzj u 2) = e n 0f i , |
где |
Ѳ - |
заряд злектронв; П0=П/-*-Пг -кощентрвцшя коси- |
1 |
Гі |
(Ъ/Ѵ'+Пфі) |
телей; |
_/» = — — J-— - средняя подвижность. . |
По
Плотность тока внутри этого объема определяется выражением
J = < г £ =еп0/й £ = е/?а і\
где о =j V t ~ величина средней скорости носителей за ряда.
Условием существования отрицательной проводимости
{S'* О) в полупроводнике будут неравенства
- & < 0 |
или |
± 0 |
d e |
|
|
Ззиеимость средней скорости электронов от напряженности
электрического поля для Ga As |
при |
комнатной |
температуре |
|||||||
Г |
=300°К |
изображена на |
рис. |
50 . і:ри слабых |
полях |
|||||
Q ^ F ^ |
F |
пор |
шоактически все электроны проводимости ка- |
|||||||
|
|
|
‘ |
|
|
|
|
|
||
ходятся |
в |
нижней долине |
(п, —По). » |
где обладают подвиж |
||||||
ностью |
|
|
; при больших значениях напряженности поля по |
|||||||
давляющее |
|
большинство электронов (Пг -/7 0)находится |
в вер |
|||||||
хней |
долине, |
где их подвижность |
. Как |
видно |
из |
|||||
рисунка, |
|
в |
обоих случаях' средняя скорость электронов |
|||||||
проводимости линейно увеличивается |
при увеличении |
нопря- |
- 93 -
женности электрического поля; следовательно,проводи
мость полупроводника положительна С & > 0) .
Рис.60Зависимость средней скорости электронов от напряженности электрического поля
для л -GaAs.
При промежуточных значениях |
поля |
sg В < Ет |
ft' электронов в полупроводнике обладает |
большой подвиж |
|
ностью JU' , Г)г электронов-гмалой |
подвижностью jua -Сред |
няя дрейфовая скорость носителей заряда может быть за писана в виде
С увеличением напряженности электрического поля вслед ствие междолинного перехода быстро увеличивается яоличёство^электронов с малой подвижностью, в результате /чего: trooMfexoлит уменьшение средней скорости электронов
Своднике возникает отрицательная дифѣеренци-
V '
- 34 -
алъная проводимость, соответствующая падающему участку
кривой Ѵ(£), |
на котором |
. |
|
|
|
ас |
|
Динамика |
электронов |
и распределение |
электричес |
кого поля |
в образцах с отрицательной |
проводимостью |
В полупроводнике,находящемся в постоянном электри ческом поле, изменение плотности электронов во времени мелет быть определено из уравнений Максвелла:
|
|
Е |
= -Р/г , |
и ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2) |
где« J> - |
плотность |
электронов. |
|
||
Выразив |
в (2) плотность |
тока |
через проводимость t^= (fE) . |
||
получим зависимость плотности электронов от времени в |
|||||
виде |
|
|
|
|
|
|
° |
+ Ф |
§ 7 |
“ ° - |
|
Решение уравнен:« (3) имеет вид |
|
ß(t)=f(o)exp~^'/Td ,
где Ду = /^- ~ вРемк Диэлектрической релаксации; ß(Oj- начальное значение плотности.
Из (4 ; следует, что б полупроводнике с положительной дифференциальной проводимостью ( б*>0) случайное увеличе ние плотности электронов в любом месте рабочего объема полупроводника уменьшается экспоненциально. .Бремя респада флюктуации Т^. зависит от величины удельной проводи:-' мости 6" и, следовательно, определяется подбижко^ ью- электронов и их концентрацией. *
Если же в полупроводнике имеет место отряцател-ьет^^
дифференциальная проводимость ( S “<- О) ,то величина 7"~0'
отрицательна и согласно с 4] любая флюктуация простран ственного заряда электронов будет экспоненциально нарас тать с постоянной времени:
а |
|
ITdl = len0 fudi |
( 5 ) |
Распределение плотности пространственного |
заряда |
электронов определяет зависимость электрического поля от координат и времени. 3 МЗП-приборах эти зависимости настолько сложны, что строгое решение колет быть получе но только с помощью ЭБМ.
Качественное представление о распределении электри ческого поля можно■получить из рассмотрения идеализиро ванного дГИ-приоора, изображенного на рис.61 . Длина оо-
ис.бі . Устойчивое распределение электрического поля в МЗП-приборе.
рарца ранка L , Плотность П0 .дифференциальная подвиякость JU и скорость дрейфа if электронов однородны по всему объему полупроводника.- Анод и катод представляют
собой |
идеальные |
омические контакты. К образцу приложено |
|
- 96 - |
|
||
постоянное напряжение, при котором электроны обладают |
|||
отрицательной подвижностью. |
|
||
|
Инжектированный со стороны катода пространственный |
||
заряд |
будет |
нарастать, и к моменту времени |
"t} когда |
он достигает анода ,его величина, согласно (4J |
возраста |
||
ет до |
значения |
QA |
|
QA = |
exp ф =QK |
Q ap[m]}(6) |
|
где к = |
CM“ постоянная. |
° / |
|
Одновременно с объемным зарядом будет увеличиваться |
на |
||
пряженность электрического, поля. Распределение поля |
в |
о
идеализированном образце будет устойчивыя <рис.б1 )при постоянном напряжении смещения, пока ко »'|г}.ициеніг нарас тания пространственного заряда сравнительно мал:
При значениях ®A/ Q > 3,4 ( что соответствует nQL> JQ fM-2j
электрическое поле в рабочем объеме становится неустой чивым. В объеме полупроводника образуются подвижные области с очень высокой напряженностью электрического поля-домены. Домен возникает на катоде,экспоненциально нарастает по мере движения к аноду до тех пор, пока на пряженность поля внутри домена не станет столь большой, что поле вне домена уменьшается ниже порогового; сфор мированный домен исчезает на аноде. В этот момент напря женное®ь паля в образце возрастает до значеніи,превос ходящего пороговое,на катодевозникает.новый домен и ' Цикл повторяется. На рис,62 изображено распределение ПОЛЯ В(х) и концентрации электронов П(*) в некоторый Іэдкочрованный момент времени ~t~ Oons£ -tсоответствующий нахождению домена примерно в середине между анодом и
![](/html/65386/283/html_9KiBuh8GqS.Mgyy/htmlconvd-qg6TNH98x1.jpg)
57
катодом. Максимальное поле в домене достигает величин
кВ
40-120 кВ/см, тогда как поле вне домена-только 1 ,5 - 2 ^ •
Рис.62* Мгновенное распределение поля Е и концен трации электронов вдоль МЗП-прибора в
неустойчивом состоянии.
Ниже приведены наиболее существенные особенности домен
ной фор>ш неустойчивости |
в образцах GQAS П -типа. |
||||||
|
1. Домен |
возникает |
на катоде |
при |
Е |
н ^ Уал |
|
Для |
n0L > ■ІО |
см |
пороговое поле |
возникновения |
домена |
||
не |
зависит от |
величины tl0L и точно равно 3 кВ/см. |
|||||
|
2 . 3 рабочем объеме образца существует только один |
||||||
домен, так как |
поле |
вне |
домена меньше порогового. Дви |
||||
жение домена происходит |
с постоянной |
скоростью |
T /j- i( f ^ • |
||||
|
3. Сформировавшийся домен сильного поля исчезает, |
не доходя анода, если поле в образце уменьшается до зна
чения Е |
Е г ,где |
Е г |
- |
поле исчезновения ( гашения) |
|||||
домена. При flnL^= ІО *ем~2 |
£,= £ |
с увеличением произведе- |
|||||||
1 |
U |
■ ' |
J |
С |
ПАЛ |
. |
//. |
„ r _ |
. ~ і.І |
|
' |
3 |
с |
пор |
|
Jf-kß |
ш&П0і |
уменьшается Ег |
и при /}0і^ - У 0 с м - ,с г ~/ / ъ оЕІІ-‘ |
|
4. |
Время формирования домена ^ |
при / ^ 4 JQ,6 см3 |
|
определяется выражением |
= ~ |
* |
|
|
|
|
|
- PP |
- |
примерно'' 0,05-0,2 L . |
||
5. |
Ширина |
домена |
составляет |
||||||
6. |
Гасли передний |
дронт |
домена |
обеднен |
полностью |
||||
( см.рис.62 J |
,ток |
в домене целиком |
является |
током смеще |
|||||
ния |
т- |
- |
|
é |
вЕ(х) „ |
|
< . |
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Т = г |
= — —— s ^ - e n Difj s',1 |
( г,) |
||||||
|
|
'см |
tyjf |
S t |
|
- |
"о vd |
||
где % |
- скорость домена; |
S/ - |
площадь поперечного се |
чения образца, .доменная форма не является единственной формой неустойчивости в шЭП-прибэрах. Тин неустойчивос
ти определяется параметрами кривой lf(F)(cu.рис.6 0 J,про изведением равновесной концентрации электронов на длину
образца H0 L и средним по образцу полем £ = Д .»где U
приложенное напряжение.
ПараметрnoLиграет особо важную роль, так как тип
неустойчивости в значительной мере определяется соотно шением между, временем пролета электронов через прибор в
условиях отрицательной диаф-еренпиальыоЛ подвижности .
|
Т |
= -^ - > |
|
|
|
|
|
t |
v |
|
|
|
|
где if - ІО ^ |
для G>ahs П -типа, и максвелловским |
временем |
||||
:-елаксапии объемного заряда |
Tj |
.Так |
как |
время |
пролета |
|
электронов |
пропорционально |
длине |
L |
, а |
время |
диэлек |
трической релаксации обратно пропорционально начальной
концентрации |
электроноз Л0 ,то |
произведение t cL |
опреде- |
|
ляет полядок |
величины отношения |
t/Trf |
.Отметим |
три осо |
бо важных временных параметра для ^"ь-призоров: |
|
|||
•* постоянная времени образования |
домена |
,кого- |
рвя зависит от поля и представляет сэОэГ. время д;рлектрической релаксации в режиме ОГЛ:
- |
99 |
|
|
|
|
где / jnf = 400 -200 |
0 |
4 |
f |
|
|
- время диэлектрической |
релаксации |
Tj в режиме |
|||
положительной проводимости: |
|
|
|
||
7Ѵ = |
|
|
L9) |
||
|
^oje/p* |
|
|||
где ju = S-Q- ю* CMy'gc |
|
|
|
||
—время поолета домена'от катода до анода: |
|||||
|
L |
см |
(Ю ) |
||
Т* ~ |
ІО1 |
||||
|
|||||
Как видно иэ выражений (3/ я |
19/ |
это неравен- |
|||
ство означает, что распад заряда при |
Егюр происходит |
||||
намного быстрее, чем его рост |
при В > Е пор * Из дина-' |
мики цоменов легко понять іизический смысл указанного
выше критерия устойчивости см 2 - Если7^<^з
то электроны собираются анодом-до того как сформируется
домен. В таких условиях в МЭП-приборах имеет место толь
ко увеличение пространственного заряда. Условие образо
вания доменов Tf.Z'Zy можно переписать в следующем
виде: |
- |
|
или |
что дал образцов иэ |
6W.S /7-типа приводит к -упомянутому |
неравенству nJ > |
-iQ*& |
i ■
На рис.63 изображена качественная диаграмма,описы
вающая' поведение іДЯП-приборов из |
GaAs П -типа в зави |
симости от величины произведения |
OaL -и напряженности |
поля. Значение ( OaL\n примерно соответствует отношению / .Кривая Г ограничивает область возникновения доменов; кривая 2 определяет область существования до
менов.