Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Учебное пособие 800294

.pdf
Скачиваний:
8
Добавлен:
01.05.2022
Размер:
1.35 Mб
Скачать

Учебное издание

Горлов Митрофан Иванович Николаева Елена петровна

ОБЩИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ

Компьютерный набор О.А. Ивановой

ЛР № 066815 от 25.08.99. Подписано к изданию 21.10.02. Уч.-изд.л. 7,8

Воронежский государственный технический университет 394026 Воронеж, Московский просп., 14