Учебное пособие 800294

Введение

3

1. Качество и надежность полупровлдниковых изделий

6

1.1. Качество изделий

6

1.2. Надежность изделий

12

1.3. Конструктивно-технологические особенности

ИС, влияющие на их надежность

15

2. Требования к технологическому процессу для вы-

пуска изделий высокой надежности

26

2.1. Оценка технологического процесса

26

2.2. Применяемые показатели оценки технологиче-

ской операции

38

2.3. Надежность контрольных операций

42

2.4. Управляемость и стабильность технологическо-

го процесса

45

2.5. Организационно-технические мероприятия по

обеспечению заданной надежности при произ-

водстве изделий

52

2.6. Требования по обеспечению и контролю каче-

ства интегральных схем в процессе производст-

59

ва

Контрольные вопросы

62

3. Статистические методы управления качеством в про-

изводстве интегральных схем

63

3.1. Анализ технологических процессов и примене-

ние для этой цели качественных диаграмм

66

3.1.1. Метод построения диаграмм причин и ре-

зультатов

67

3.1.2. Метод выделения наиболее важных факто-

ров, влияющих на качество изделий

72

3.1.3. Точность технологической операции

(процесса)

78

3.2. Статистическое регулирование технологических

процессов

81

3.3. Система контроля технологического процесса

87

3.3.1. Контроль качества изделий в процессе

производства

87

3.3.2. Контроль технологического процесса

89

Контрольные вопросы

91

4. Переход от контроля качества к системе обеспечения

качества

92

4.1. Общие положения

92

4.2. Японский метод качественного изготовления

продукции

95

4.3. Подход к системе повышения качества на аме-

риканских предприятиях

101

4.4. Отечественные системы бездефектного изго-

товления продукции

107

4.5. Организация службы обеспечения качества

109

Контрольные вопросы

111

5. Технологические методы повышения надежности ИС

в процессе серийного производства

112

сти ИС

112

5.2. Компенсирующая технология в производстве

интегральных схем

117

5.3. Метод выравнивающнй технологии для повы-

шения надежности выпускаемых партий ППИ

118

5.3.1. Обоснование метода

118

5.3.2. Разработка метода выравнивающей тех-

нологии для серийного производства

транзисторов и интегральных схем

123

5.4. Совершенствование технологических процес-

сов, обеспечивающих надежность БИС

131

Контрольные вопросы

135

Заключение

136

Приложение 1. Технологическая схема контрольных

операций участка формирования структур ИС на пла-

стине

138

Приложение 2. Схема технологического контроля сбо-

рочных операций

143

Библиографический список

146

пользуются следующие

обозначения:

– технологическая операция

– производственный контроль

ПК

– контроль службы управления

УК

качеством

– надзор службы управления

УК

качеством

1

Механическая полировка

кремниевой пластины