Библиографический список

1. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное издание: в 4-х т./Под ред. В.П. Глушко. 3-е изд., перераб. и расш. - М.: Наука, 1978-1982.

2. Карякин Н.В. Основы химической термодинамики: учеб. пособие / Н.В. Карякин – М.: Изд. центр «Академия», 2003. – 462 с.: ил.

3. Крапухин В.В. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии: учебник для вузов. / В. В. Крапухин, И. А.Соколов, Г.Д. Кузнецов. 2-е изд. перераб. и доп. - М.: «МИСИС», 1995. – 491 с.: ил.

4. Соколов И.А. Расчёты процессов полупроводниковой технологии: учеб. пособие для вузов. / И.А. Соколов. – М.: Металлургия, 1994. – 462 с.: ил. – 176 с.: ил.

5. Сысоев О.И. Физико-химичекие основы технологии материалов и структур твёрдотельной электроники /О.И. Сысоев, Л.Н. Коротков, И.В. Бабкина. Воронеж, ФГБОУ ВПО ВГТУ 2010.

6. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. / З.Ю. Готра - М.: Радио и связь, 1991. 452 с.: ил.

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению лабораторных работ №3-4

по дисциплине «Физико-химические основы технологии

материалов и структур твёрдотельной электроники»

для студентов направления 223200.62

«Техническая физика» (профиль «Физическая электроника»)

очной формы обучения

Составители:

Сысоев Олег Иванович

Коротков Леонид Николаевич

Бабкина Ирина Владиславовна

Каширин Максим Александрович

В авторской редакции

Подписано к изданию 28.09.2012.

Уч.-изд.л. 3,1.

ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный

технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14

2