Параметрический анализ в первой резонансной моде. (Vary loop on the first resonant mode).
На
этом шаге
вы будете
варьировать
размеры балок
и исследовать
влияние
изменения
размеров на
резонансную
частоту.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
1. Установите два цикла варьирования в частотном анализе с изменением длины балок от 208 мкм до 400 мкм и ширины от 5 |
А. Щелкните на иконке Vary . Б. Щелкните на vary в командном окне |
мкм
до 15 мкм с шагом
2 мкм. цикла.
В. В диалоге Parameter Sweep (Loop #1) в поле Parameter Name введите /bl.
Г. Установите параметры изменения длины балки от 208 мкм до 358 мкм с шагом 50 мкм.
Д. Щелкните Accept.
Е. Щелкните на Addloop и выберите vary. Ж. Установите изменение параметра /bw от
3.5 мкм до 9.5 мкм с шагом 2 мкм.
З. Выберите Add Analysis > Within Loop(s) > Small Signal AC.
И. Щелкните на acanalysis установите параметры как показано на рис.1.22.
К. На вкладке Input Output оставьте только
/x.
Л. Щелкните Accept.
Рисунок 1.22. Параметры циклов варьирования.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
2. Включите измерительные шаги после цикла. |
А. В диалоге Looping Commands выберите Add Analysis > After Loop(s) >Transform Plotfile . Щелкните на pfextract в списке файлов с графиками выберите combdrive_accelerometer.ac . Б. Введите имя выходного файла measure_frequency как показано на рис. 1.23. В. Щелкните на закладке Transforms Filtering и измените Y Transform на dB используя выпадающее меню. Г. Добавьте график Add Analysis > After Loop(s) > View Plotfiles in Scope. Д. Щелкните plot и введите имя графика measure_frequency. Е. Добавьте измерение Add Analysis > After Loop(s) > Batch Measure. Ж. В поле Measure выберите Levels>Maximum. З. Проверьте, чтобы Return было выставлено на X и в поле Input Plot File должно быть measure_frequency с x в качестве имени кривой. И. На закладке Transforms Filtering введите имя выходного файла (Output Plot File) frequency_sweep. К. Добавьте график и введите его имя frequency_sweep. Л. В диалоге Looping Commands нажмите OK для запуска анализа. |
Рисунок 1.23. Настройки параметрического анализа.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
3. Просмотр результатов в CosmosScope |
А. В программе CosmosScope создано два файла с графиками. Б. Откройте график x. В. Откройте график X_Max(x). Г. Щелкните правой кнопкой на подписи X_Max(x) и в появившемся меню выберите Member Attributes. Д. Щелкните на Show all labels и Rainbow Colored. Е. График приведен на рис. 1.24.
|
Рисунок 1.24. Влияние размеров балки на резонансную частоту.