3. Проектирование акселерометра
В данном примере рассмотрены основные этапы проектирования МЭМС в среде Co- ventorWare на базе стандартной технологии МЭМС фирмы TRONICS.
Проектирование эквивалентной схемы акселерометра.
В данном упражнении мы рассмотрим создание схемы (рис.3.1) емкостного акселе- рометра (рис. 3.2) с помощью библиотеки Parametric Electro-Mechanical Library.
Рис.3.1. Схема емкостного акселерометра.
Рис.3.2. 3D модель емкостного акселерометра.
Первым шагом при создании любой схемы, является задание интересующих пара- метров (рис. 3.3). После чего они будут указаны как глобальные переменные. Это необхо- димо для проведения параметрического исследования характеристик устройства с целью оптимизации конструкции.
Рис 3.3. Эскиз акселерометра.
Инструкция по созданию схемы акселерометра
1. Подготовка к работе.
В начале необходимо создать рабочую директорию, которая будет содержать все файлы проекта.
Процедура Пошаговое
описание
процедуры
1.
Запустить
CoventorWare
и импортировать
CombDrive_Accelerometer
project
а. Запустите CoventorWare
б. В окне проектов кликните "New Project"
в. Назовите проект "CombDrive_Accelerometer" и нажмите ОК. г. В окне проектов появиться файл проекта. Кликните "Open".
Установка mpd и Process.
На данном этапе вы загрузите базу данных материалов(.mpd file) и технологическую по- следовательность(.proc file). Данные файлы находятся в директории Coventor и являются частью стандартной установки пакета.
Процедура |
Пошаговое описание процедуры |
1. Установка базы данных материалов |
а. В главном окне программы кликните на стрелку субменю рядом с Materials и выбе- рите Tronics.mpd. б.
Кликните
на
иконке
MPD
Editor |
2. Проверка свойств материала |
а. В графе Materials выберете SILICON б. Проверьте свойства материала как пока- зана на рис. 3.4. |
3. Закрытие базы данных |
а. Кликните ОК и затем Close. |
Рис.
3.4. Окно свойств
материалов
Процедура |
Пошаговое описание процедуры |
3. Установите техноло- |
а. В главном окне кликните в строке Process и укажите путь |
гию
Tronics_MEMSOI_60_
HARM.proc
C:\Coventor\CoventorWare2008\apps\Foundry\Tronics_MEMSOI_6 0_HARM_simple.proc
б.Нажмите иконку . Появиться диалоговое окно, в котором будет предложено скопировать файл процесса в рабочую дирек- торию. Нажмите YES.
в. После того как будет открыто окно редактора процессов изу- чите его. Справа находятся все доступные процессы. В левой части окна представлена технологический маршрут, по которому будет строиться прибор.
Внизу под технологическим маршрутом находится поле с описа- нием выбранного процесса в из технологического маршрута.
г. Выйдите из редактора процессов
Рис.3.5 Редактор технологических процессов