2. Основные компоненты сапр CoventorWare Function Manager (Менеджер функций)

Сразу после запуска CoventorWare появляется окно Function Manager. Все функцио-

нальные возможности доступны из Function Manager. Верхняя часть окна Function Manager обеспечивает доступ к Properties Database and the Process Editor. Нижняя часть окна имеет вкладки для доступа к функциям Architect, Designer, и Analyzer.

Material Properties Database (База данных свойств материалов)

Первый шаг при создании устройства, независимо от того будете ли вы использовать Architect или Designer/Analyzer, это открытие и редактирование (если это необходимо) Ma- terial Properties Database (MPD). В последующем будут доступны только материалы, при- сутствующие в MPD. CoventorWare поставляется со стандартной MPD, которая служит только для демонстрационных целей. Всем пользователям необходимо вводить свойства материалов, используемых в конкретном технологическом процессе по которому будет из-

готовлено устройство. От того насколько точно будут указаны свойства материалов будет зависеть корректность расчета.

Process Editor (Редактор процессов)

Второй шаг в проектировании, независимо от того будете ли вы использовать Architect или Designer/Analyzer, это ввод технологической последовательности в Process Editor. В Process Editor создается последовательность технологических процессов путем их последо- вательного добавления из списка в правой части окна в маршрутный лист, находящийся с левой стороны окна Process Editor. Каждый технологический шаг имеет параметры, кото- рые должны быть обязательно указаны. Например, при нанесении материала необходимо указать материал и его толщину. В качестве альтернативного варианта, возможно, исполь- зовать уже завершенную технологическую цепочку, предоставленную фабрикой.

Architect (Архитектор)

Architect обеспечивает системное моделирование устройств МЭМС и внешних факто- ров. Он включает в себя редактор схем Saber Sketch, симулятор Saber Simulator, 3-D визуа- лизатор Scene3D, набор стандартных схемотехнических компонентов и параметрическую библиотеку МЭМС по электромеханике, библиотеку магнитных структур, оптических и флюидных компонентов (также возможно создание собственных компонентов при помощи Integrator). Перед тем как запустить редактор схем, необходимо определить базу данных по материалам и технологическую последовательность. Схема в Saber Sketch создается путем установки компонентов с последующим их соединением. Необходимо отметить, что при соединение компонентов надо обращать внимание на свойства соединяемых выводов т. к они могут обозначать не только электрическое соединение, но и механическое, магнитное, электростатическое и.т.д. Устройство, схема которого была создана в Saber Sketch, может быть визуализировано в Scene3D (не все элементы параметрической библиотеки в настоя- щее время могут быть построены в Scene3D см. док.) После того как схема создана, воз- можно, сделать различные виды ее анализа, например статический, переходной или гармо- нический анализ. Результаты анализа можно увидеть в Cosmos Scope или создать анимацию в Scene3D.

Designer (Проектировщик)

Designer предназначен для классического проектирования МЭМС. В его состав входит 2-D Layout editor (редактор топологий), Solid Modeler (генератор геометрии модели), 3-D viewer Preprocessor (3-D визуализатор и препроцессор). Проектирование начинается с MPD и Process Editor, затем необходимо нарисовать в 2-D Layout editor фотошаблоны соответст- вующие технологической последовательности. Фотошаблоны могут быть импортированы в формате GDSII, DXF, CIF. Когда указана база данных материалов, технологическая после- довательность и фотошаблоны, следующим шагом является создание 3-D модели для расче- та и загрузка модели в Preprocessor. Preprocessor поддерживает работу и с внешними при- ложениями такими как SolidWorks и UGS I-deas.