- •Глава 3 нанотехнологии в прмышленности и энергетике
- •3.1. Наноэлектроника
- •3.1.1. Кремниевая наноэлектроника
- •3.1.2. Углеродная наноэлектроника Электрические свойства углеродных нанотрубок
- •Транзисторы на углеродных нанотрубках
- •Кмоп-структуры на унт
- •Логические элементы и триггеры на унт
- •Устройства памяти на унт
- •Интегральные схемы на унт
- •Электрические свойства графена
- •Способы создания запрещенной зоны в графене
- •Полевые транзисторы на графене
- •Графеновый транзистор с затвором из нанонити
- •Полевой туннельный транзистор на графене
- •Интегральные схемы на графене
- •Полевые транзисторы на молибдените
- •3.1.3. Одноэлектроника
- •Одноэлектронное туннелирование
- •Принцип действия одноэлектронного транзистора
- •Технология изготовления одноэлектронных транзисторов
- •3.1.4. Молекулярная электроника Общие сведения о молекулярной электронике
- •Технология получения молекулярных структур
- •Элементы молекулярной электроники.
- •3.1.5. Спинтроника Физические основы спинтроники
- •Элементы и устройства спинтроники
- •Перспективы развития спинтроники
- •3.2. Нанофотоника
- •3.2.1. Светоизлучающие приборы и структуры Светодиоды
- •Полупроводниковые лазеры с гетероструктурой
- •Лазеры на квантовых точках
- •Квантово-каскадные лазеры
- •3.2.2. Полупроводниковые фотоприемники Задачи, решаемые фотоприемными устройствами
- •История развития полупроводниковых фотоприемников
- •Фотоприемники на квантовых ямах
- •Фотоприемники на квантовых точках
- •3.2.3.Фотонные кристаллы Общие сведения о фотонных кристаллах
- •Методы изготовления фотонных кристаллов
- •Свойства и применение фотонных кристаллов
- •3.3. Нанотехнологии в энергетике
- •3.3.1. Водородная энергетика
- •Получение водорода
- •Хранение и транспортировка водорода
- •Использование водородного топлива
- •Нанотехнологии в водородной энергетике
- •3.3.2. Солнечная энергетика Общие сведения о солнечной энергетике
- •Фотоэлектрические преобразователи
- •Нанотехнологии в солнечной энергетике
- •3.3.3. Накопители электроэнергии. Ионисторы Общие сведения о накопителях электрической энергии
- •Ионисторы
- •Применения нанотехнологий при изготовлении ионисторов
- •3.4. Микроэлектромеханические и наноэлектромеханические системы
- •3.4.1. Микроэлектромеханические системы Общие сведения о мэмс и нэмс
- •История развития мэмс
- •Технология изготовления мэмс-устройств
- •Конструкции мэмс-устройств и их принципы действия
- •Микроакселерометры
- •Микроэлектромеханические микрофоны
- •Микроэлектромеханические гироскопы
- •Оптические элементы и системы
- •3.4.2. Наноэлектромеханические системы (нэмс)
- •Наноактюаторы
- •Наносенсоры
Электрические свойства графена
Свойства графена были подробно рассмотрены во второй главе, поэтому здесь приведем лишь основную информацию о его электрических свойствах. Графен представляет собой двумерную аллотропную модификацию углерода, образованную слоем атомов углерода, соединенных друг с другом посредством sp²-связей в гексагональную двумерную кристаллическую решетку. Каждый атом углерода взаимодействует с тремя ближайшими соседними атомами посредством ковалентных σ-связей, образованных гибридными sp2-орбиталями каждого атома, и дополнительно с помощью π-связей, образованных благодаря перекрытию рZ-орбиталей соседних атомов. Эти π-электроны (по одному от каждого атома) не локализованы у своих атомов, а принадлежат всей кристаллической решетке, образуя двумерную электронную плазму.
Расчет зонной структуры двумерной гексагональной кристаллической решетки графена, проведенный Ф. Уоллесом в 1947 году, показал, что зависимость энергии Е носителей заряда от волнового вектора k принципиально отличается от аналогичной зависимости E(k) для трехмерной кристаллической решетки полупроводника (рис. 3.24). Главные особенности для графена две – это линейный закон дисперсии E(k) (для полупроводников зависимость E(k) параболическая) и отсутствие запрещенной зоны (у полупроводников она всегда имеется). Поскольку в графене валентная зона и зона проводимости в графене соприкасаются, то графен, также как и графит, является полуметаллом.
Рис. 3.24. Закон дисперсии E(k) для полупроводников (слева) и графена (справа)
Линейный характер зависимости E(k) означает, что в графене носители заряда (электроны и дырки) как и фотоны имеют нулевую эффективную массу. Этим обусловлена очень высокая подвижность носителей заряда в графене, которая при комнатной температуре может достигать 250 000 см2/В·с. Для сравнения: у Si подвижность электронов равна 1 400 см2/В·с, у GaAs – 8 500 см2/В·с, у InSb – 70 000 см2/В·с. Подвижность носителей практически на зависит от их концентрации и температуры. На подвижность влияют способы получения пленок графена и наличие в них структурных дефектов, а также заряженные примеси в контактирующем с графеном диэлектрике. Поэтому реальные значения подвижности в графене могут быть в несколько десятков раз ниже.
Поверхностной концентрацией носителей nS в графене можно управлять с помощью электрического поля, прикладываемого перпендикулярно поверхности графена (рис. 3.25). Положительное напряжение на затворе индуцирует в графене электроны, отрицательное – дырки Таким способом можно увеличивать поверхностную концентрацию носителей до 1014 см-2. Результаты измерений представлены на рис. 3.26. Следует отметить, что в точке электронейтральности графен обладает не очень большим поверхностным сопротивлением (порядка нескольких кОм/квадрат), Это является серьезным сдерживающим фактором для создания цифровых электронных устройств на графене, поскольку нет возможности получить высокое отношение токов в открытом и закрытом состояниях транзистора. Однако, для аналоговой электроники это обстоятельство существенной роли не играет.
Рис. 3.25. Схема управления поверхностной концентрацией носителей заряда в графене
а) б)
Рис. 3.26. Зависимость сопротивления графена от напряжения на затворе (а) и от поверхностной концентрации носителей заряда (б)
