- •Глава 3 нанотехнологии в прмышленности и энергетике
- •3.1. Наноэлектроника
- •3.1.1. Кремниевая наноэлектроника
- •3.1.2. Углеродная наноэлектроника Электрические свойства углеродных нанотрубок
- •Транзисторы на углеродных нанотрубках
- •Кмоп-структуры на унт
- •Логические элементы и триггеры на унт
- •Устройства памяти на унт
- •Интегральные схемы на унт
- •Электрические свойства графена
- •Способы создания запрещенной зоны в графене
- •Полевые транзисторы на графене
- •Графеновый транзистор с затвором из нанонити
- •Полевой туннельный транзистор на графене
- •Интегральные схемы на графене
- •Полевые транзисторы на молибдените
- •3.1.3. Одноэлектроника
- •Одноэлектронное туннелирование
- •Принцип действия одноэлектронного транзистора
- •Технология изготовления одноэлектронных транзисторов
- •3.1.4. Молекулярная электроника Общие сведения о молекулярной электронике
- •Технология получения молекулярных структур
- •Элементы молекулярной электроники.
- •3.1.5. Спинтроника Физические основы спинтроники
- •Элементы и устройства спинтроники
- •Перспективы развития спинтроники
- •3.2. Нанофотоника
- •3.2.1. Светоизлучающие приборы и структуры Светодиоды
- •Полупроводниковые лазеры с гетероструктурой
- •Лазеры на квантовых точках
- •Квантово-каскадные лазеры
- •3.2.2. Полупроводниковые фотоприемники Задачи, решаемые фотоприемными устройствами
- •История развития полупроводниковых фотоприемников
- •Фотоприемники на квантовых ямах
- •Фотоприемники на квантовых точках
- •3.2.3.Фотонные кристаллы Общие сведения о фотонных кристаллах
- •Методы изготовления фотонных кристаллов
- •Свойства и применение фотонных кристаллов
- •3.3. Нанотехнологии в энергетике
- •3.3.1. Водородная энергетика
- •Получение водорода
- •Хранение и транспортировка водорода
- •Использование водородного топлива
- •Нанотехнологии в водородной энергетике
- •3.3.2. Солнечная энергетика Общие сведения о солнечной энергетике
- •Фотоэлектрические преобразователи
- •Нанотехнологии в солнечной энергетике
- •3.3.3. Накопители электроэнергии. Ионисторы Общие сведения о накопителях электрической энергии
- •Ионисторы
- •Применения нанотехнологий при изготовлении ионисторов
- •3.4. Микроэлектромеханические и наноэлектромеханические системы
- •3.4.1. Микроэлектромеханические системы Общие сведения о мэмс и нэмс
- •История развития мэмс
- •Технология изготовления мэмс-устройств
- •Конструкции мэмс-устройств и их принципы действия
- •Микроакселерометры
- •Микроэлектромеханические микрофоны
- •Микроэлектромеханические гироскопы
- •Оптические элементы и системы
- •3.4.2. Наноэлектромеханические системы (нэмс)
- •Наноактюаторы
- •Наносенсоры
Принцип действия одноэлектронного транзистора
Одноэлектронный транзистор представляет собой трехэлектродный переключающий прибор, в котором электроны «поштучно» переносятся от истока к стоку через разделяющую их квантовую точку – «наноостров», электронные состояния в котором могут электростатически изменяться под воздействием напряжения на затворе. Транзистор имеет три электрода: исток, сток и затвор (рис. 3.44а). В области между электродами располагаются два туннельных перехода «исток-наноостров» и «сток-наноостров, Наноостров НО представляет собой наночастицу или кластер нанометровых размеров, изолированный от электродов диэлектрическими слоями, через которые при определенных условиях может происходить туннелирование электрона. Электрический потенциал такого «острова» может регулироваться изменением напряжения на затворе, с которым «остров» связан емкостной связью.
Рис. 3.44. Структурная схема одноэлектронного транзистора
Если напряжение между истоком и стоком меньше «кулоновского зазора» UК, то ток через транзистор протекать не будет, поскольку электроны заблокированы на наночастице. Когда потенциал на затворе станет больше некоторого порогового значения, кулоновская блокада прорвется – электрон пройдет через барьер, и в цепи исток-сток начнет протекать ток. Следует отметить, что наноостров играет в транзисторе роль квантово-размерного проводящего канала, в котором энергия электронов имеет дискретный характер (рис. 3.45). Туннелирование электрона из истока в канал возможно лишь при условии, что уровень Ферми в истоке совпадает с энергией свободного одноэлектронного состояния в канале (резонансное туннелирование). Поскольку положение одноэлектронных уровней зависит от потенциала затвора, то электрическая проводимость канала отлична от нуля при различных дискретных значениях напряжения на затворе.
а) б)
Рис. 3.45. Энергетические уровни истока И, проводящего канала (наноострова НО) и стока С в одноэлектронном транзисторе: а) закрыто состояние; б) проводящее состояние
Если уровень Ферми электрода истока находится ниже свободного электронного уровня в наноострове, то туннелирование электрона из истока в наноостров не происходит (рис. 3.45а). Когда к затвору прикладывается положительный потенциал, энергетические уровни на острове понижаются. При некотором напряжении на затворе создаются условия для резонансного туннелирования. Электрон переходит на наноостров, занимая свободный энергетический уровень (переход 1 → 2 на рис. 3.45б). Отсюда он может туннелировать на сток (переход 2 → 3), где он неупруго рассеивается, после чего переходит на уровень, близкий уровню Ферми стока (переход 3 → 4). Таким образом, управляя напряжением на затворе, можно в принципе пропускать по цепи единичные электроны. Если вместо наночастицы поместить между электродами молекулу или молекулярный комплекс, то движение электронов будет осуществляться в результате прыжков по химическим связям – в работу вступят дискретные уровни энергии молекулы. Таким образом, одноэлектронный транзистор можно рассматривать как предельная степень миниатюризации классического полевого транзистора.
