- •Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение Высшего профессионального образования
- •Лабораторный практикум по курсу «Молекулярно-лучевая эпитаксия в технологии наноструктур» для студентов специальности 210601.65 Нанотехнология в электронике
- •Введение
- •1.1. Задачи лабораторной работы
- •1.2. Теоретическая часть
- •1.2.1. Фотоэлектрические процессы в инжекционном полупроводниковом лазере
- •1.2.2. Основные характеристики и параметры лазерных диодов
- •1.3. Объект исследования
- •1.6. Внешний вид волоконно-оптического лазерного модуля
- •1.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •1.5. Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •1.7. Контрольные вопросы
- •2.1. Задачи лабораторной работы
- •2.2. Теоретическая часть
- •2.2.1. Фотоэлектрические процессы в p-I-n фотодиоде
- •2.2.2. Основные параметры и характеристики p-I-n фотодиода
- •2.3. Объект исследования
- •2.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •2.5. Порядок выполнения работы
- •2.6. Содержание отчета
- •2.7. Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №3 измерение частотной характеристики
- •3.1. Задачи лабораторной работы
- •3.2. Теоретическая часть
- •3.3. Объект исследования
- •3.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •3.5. Порядок выполнения работы
- •3.6. Содержание отчета
- •3.7. Контрольные вопросы
- •4.1. Задачи лабораторной работы
- •4.2. Теоретическая часть
- •4.2.1. Лавинный процесс в р-п переходе
- •4.2.2. Характеристики лфд
- •4.3. Объект исследования
- •4.4. Описание измерительной установки и методов измерения
- •4.5. Порядок выполнения работы
- •4.6. Содержание отчета
- •4.7. Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №5 получение методом молекулярно-лучевой эпитаксии светодиодов и измерение яркостно-токовой характеристики
- •5.1. Задачи лабораторной работы
- •5.2. Теоретическая часть
- •5.2.1. Физические процессы в р-п переходе светодиода
- •5.2.2. Основные параметры и характеристики фотоприемников
- •5.3. Объект исследования
- •5.4. Описание измерительной установки и методов измерения
- •5.5. Порядок выполнения работы
- •5.6. Содержание отчета
- •5.7. Контрольные вопросы
- •Оценка погрешностей результатов измерений
- •Значение коэффициента Стьюдента t для случайной величины X, имеющей распределение Стьюдента с (n-1) степенями свободы
- •Алгоритм обработки результатов косвенных измерений
- •Расчет погрешностей типовых задач
- •Литература
2.3. Объект исследования
В данной лабораторной работе исследуется волоконно-оптический фотодиодный модуль, который представляет собой кристалл планарного InGaAs/InP p-i-n фотодиода с диаметром фоточувствительной области 40 мкм, соединенный с одномодовым оптическим волокном и помещенный в герметичный металлический корпус (Рисунок 2.6).
Рисунок 2.6. - Внешний вид волоконно-оптического фотодиодного модуля
InGaAs/InP p-i-n фотодиод работает в спектральном диапазоне 0.81.7 мкм (Рисунок 2.7) и имеет темновой ток менее 5 пА при напряжении смещения -5 В (Рисунок 2.8).
Рисунок 2.7. - Спектральная характеристика InGaAs/InP p-i-n фотодиода
Рисунок 2.8. - Зависимость темнового тока InGaAs/InP p-i-n фотодиода
от напряжения обратного смещения
2.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
Рисунок 2.9 показывает блок-схему лабораторной установки. В состав лабораторной установки входят:
стенд для измерения фотоэлектрических характеристик p-i-n фотодиода;
вольтметр универсальный портативный В7-58/2;
персональный компьютер с СОМ-портом и с операционной системой Win9x/2k/XP/Vista.
1 – порт управления стендом
2 – клемма заземления
3 – разъем питания
4 – входной ВЧ разъем лазерного диода
5 – выходной электрический разъем фотодиода
6 – выходной оптический разъем лазерного диода
7 – входной оптический разъем фотодиода
Рисунок 2.9. - Блок-схема лабораторной установки
Лабораторная установка позволяет измерить ток IPD через p-i-n фотодиод в зависимости от напряжения смещения UPD и падающей на него мощности Popt излучения лазерного диода, которая устанавливается интерфейсной программой. Излучение лазерного диода по одномодовому волоконно- оптическому кабелю поступает на p-i-n фотодиод. Напряжение U на сопротивлении нагрузки RL p-i-n фотодиода измеряется с помощью вольтметра. Ток IPD через p-i-n фотодиод и напряжение смещения UPD на p-i-n фотодиоде рассчитываются по следующим формулам:
IPD = U/RL, (2.4)
UPD = V –U, (2.5)
где V - напряжение питания p-i-n фотодиода, которое задается интерфейсной программой. Так как потери в волоконно-оптическом кабеле пренебрежимо малы (длина кабеля l2 м, а для длины волны 1550 нм потери в волоконно- оптическом кабеле составляют величину менее 0.2 дБ/км), то чувствительность p-i-n фотодиода может быть определена по следующей формуле:
. (2.6)
В стенде лабораторной установки сопротивление нагрузки RL фотодиода равняется 56.2 Ом, а темновой ток Id p-i-n фотодиода при напряжении смещения в диапазоне от -15 В до +0.5В составляет величину менее 1 нА.
Лабораторная установка включается в следующем порядке:
1. Заземлить стенд, вольтметр и персональный компьютер.
2. Подсоединить стенд к СОМ-порту компьютера с помощью ноль модемного кабеля.
3. Подключить блок питания к стенду при положении "Выкл." кнопки включения стенда.
4. Подключить блок питания стенда к электрической сети 220 В, 50- 60 Гц.
5. Включить стенд (перевести кнопку включения стенда в положение "Вкл."). Индикатор на кнопке включения стенда указывает на наличия напряжения питания на стенде.
6. Включить компьютер и запустить интерфейсную программу стенда.
7. Выбрать в интерфейсной программе номер СОМ-порта, к которому подключен стенд, и произвести соединение интерфейсной программы со стендом нажатием кнопки "F9" на клавиатуре компьютера. Интерфейсная программа произведет диагностику работы стенда и при успешном соединении выведет сообщение "Соединение с СОМх установлено", где "х" - номер СОМ-порта, к которому подключен стенд.
8. Если самодиагностика стенда не выявила ошибок, то включить вольтметр и подключить его к выходному разъему фотодиода стенда.
9. Соединить выходной оптический разъем лазерного диода с входным оптическим разъемом фотодиода с помощью одномодового волоконно- оптического.
