
- •1 Описание cvd-метода
- •1.1 Процессы
- •1.1.1 Основные реакции диссоциации карбонилов металлов
- •1.1.2 Основные реакции диссоциации галогенидов металлов
- •1.2 Установка для нанесения покрытий cvd методом
- •1.3 Области применения cvd-покрытий
- •2 Механизмы роста тонких пленок
- •2.1 Механизмы роста пленок на подложках
- •2.2 Структура пленок
- •1Μmmmmmmmmmmmььmm
- •3 Методы исследования
- •3.1 Конфокальная микроскопия
- •3.2 Электронная микроскопия
- •3.2.1 Трансэмиссионная (просвечивающая) микроскопия
- •3.2.2 Растровая (сканирующая) микроскопия
- •3.3 Физические методы
- •3.3.1 Магнитный метод
- •3.3.2 Токовихревой метод
- •3.3.3 Акустический метод
- •3.4 Механические испытания
- •3.4.1 Нанотвердомер
- •3.4.2 Машина трения
- •3.4.3 Высокотемпературная машина трения
- •3.4.4 Скратч – тестер
- •3.4.5 Импакт – тестер
- •4 Краткое описание технологического процесса
3.4.2 Машина трения
Трибологические испытания проводят на автоматизированной машине трения по схеме «шарик_диск» (модуль вращательного движения) или «шарик_пластина» (модуль возвратно - поступательного движения) [15].
Испытания можно проводить как на воздухе, так и в жидких средах. Эти испытания соответствуют международным стандартам ASTM G99_959, DIN50324 и ISO 20808.
Непосредственно при испытании определяют коэффициент трения трущейся пары изучаемый материал / контртело — шарик диаметром 3 мм, изготовленный из сертифицированного материала (Al2O3, SiC, WC, различные марки сталей). Для определения скорости износа материала и контртела соответственно проводят измерения профиля вертикального сечения канавки износа и диаметра площадки износа на контртеле [15].
Износ шарика рассчитывают по формуле(3.8):
V = π h2 (r –1/3h) (3.8)
где высота сегмента находиться по формуле (3.9):
h = r – (r2 –[d/2]2)1/2 (3.9)
d — диаметр пятна износа, r — радиус шарика, h — высота сегмента.
Износ образца рассчитывают по формуле:
V = S·l (3.10)
где l — длина окружности, S — площадь сечения бороздки износа.
Технические характеристики машины трения Tribometer (рисунок 3.11) представлены в таблице 3.2:
Рисунок 3.11 Tribometer, CSM Instruments, Швейцария [15]
Таблица 3.2 Технические характеристики Tribometer [15]
Технические характеристики |
|
Схема испытания |
«стержень – диск» «стержень – пластина» |
Диапазон нагрузок |
От 1 до 10 Н |
Модуль вращательного движения, схема «шарик-диск» |
|
Частота вращения |
0,06…600 об/мин |
Диаметр дискового образца |
10…60 мм |
Среда испытания |
Воздух, жидкость |
Модуль возвратно-поступательного движения, схема «шарик-пластина» |
|
Длина хода при линейном перемещении |
До 100 мм/с |
Скорость |
1,6 Гц при полном ходе |
Частота |
до 10 Гц при ограниченном ходе |
3.4.3 Высокотемпературная машина трения
Высокотемпературный трибометр фирмы CSM Instruments (рисунок 3.13) с комплектом керамических (Al2O3, SiN, SiC), стальных (100Cr6, 440C, INOX) и твердосплавных шариков различного радиуса позволяет изучать трение и износ при высоких температурах (до 1000 оС), что особенно важно для новых функциональных материалов, предназначенных для авиационной и космической техники [15].
Прибор предназначен для определения долговечности работы покрытий в парах трения скольжения, подвергающихся различным нагрузкам при повышенных температурах и скоростях, и представляет собой автоматизированную прецизионную машину трения, работающую при высоких температурах по схеме «стержень_диск». Для выбранной пары трения прибор позволяет изучать коэффициент трения скольжения, а также скорость износа образца и контртела (испытания проводятся согласно стандартам ASTM G99_959 и DIN50324).
Образец в виде диска с упрочненной поверхностью (покрытием), вращается с заданной частотой в зоне нагрева. Контртело в виде сертифицированного шарика закреплено неподвижно в держателе, который передает ему заданную нагрузку и связан с датчиками силы трения и глубины погружения контртела. Такая схема контакта позволяет также проводить математический расчет начальных контактных напряжений (напряжений Герца).
Прибор управляется компьютером, который контролирует параметры калибровки и испытания при нагреве, осуществляет сбор данных и позволяет проводить расчеты простым нажатием кнопки [15].
Рисунок 3.13 High temperature Tribometer, CSM Instruments, Швейцария [15]
Технические характеристики прибора представлены в таблице 3.3:
Таблица 3.3Технические характеристики High temperature Tribometer [15]
Технические характеристики |
|
Модуль вращательного движения, схема «шарик – диск» |
|
Диапазон нагрузок |
От 1 до 10 Н |
Температурный диапазон |
20…1000 0С |
Чистота вращения |
0,06…600 об/мин |
Диаметр дискового образца |
26…60 мм |
Среда испытания |
Воздух |