Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
МУ Акулова ЭиН, Рад. 2 курс.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
2.27 Mб
Скачать

Text 2 Fabrication Technology

O. Brand, School of Electrical and Computer Engineering,

Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA

Abstract

This chapter provides an overview on fabrication technologies for CMOS-based microelectromechanical systems (MEMS). The first part briefly introduces the basic microfabrication steps, highlights a CMOS process sequence and how CMOS materials can be used for microsystems design. While a number of microsystems can be fabricated within the regular CMOS process sequence, the focus of the chapter is on combining CMOS technology with micromachining process modules. CMOS-compatible bulk and surface micromachining techniques are introduced in the second part of the chapter together with an overview of the design challenges faced when combining mechanical microstructures and electronics on the same substrate. The micromachining modules can either precede (pre-CMOS), follow (post-CMOS) or be performed in between (intra-CMOS) the regular CMOS process steps. The last part of the chapter provides an extensive overview on the different CMOS-based MEMS approaches found in the literature.

Keywords: micromachining; CMOS-based MEMS; MEMS fabrication; microsystem fabrication.

Unit 2. Vacuum Tubes part 1. Vocabulary practice

1. Memorize the following words and word combinations.

to conduct

  • проводить (ток)

conduction = conductivity

  • проводимость

conductor

  • провод, проводник

semiconductor

  • полупроводник

to emit

  • испускать, излучать

emitter

  • эмиттер, излучатель

emission

  • эмиссия

cathode

  • катод, электрод

anode

  • анод

triode

  • триод, трехэлектродная лампа

plate

  • пластина, плита; анод

plate current

  • анодный ток

grid

  • сетка

flow

  • поток; течь

voltage

  • напряжение

alternating voltage

  • переменное напряжение

to repel

  • отталкивать; отклонять

to permit

  • позволять, разрешать

rectifier

  • выпрямитель

detector

  • детектор, датчик, индикатор

collector electrode

  • собирающий электрод, коллектор

emitting electrode

  • эмиттирующий электрод, катод

control electrode

  • управляющий электрод, модулятор

current-collecting electrode

  • собирающий электрод, коллектор

to result in

  • приводить к, иметь результатом

to influence

  • влиять, оказывать влияние

to decrease

  • уменьшать(ся), понижать