Список литературы

1. Изучение физико-химических основ технологии термической диффузии: методическое пособие. В. В. Андреев, А. А. Столяров.

2. Черняев В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. — М: Высшая школа, 1987. — 376 с.

3. Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. — М.: "Радио и связь", 1989. — 393 с.

4. Физические основы наноинженерии. В. В. Андреев, А. А. Столяров ; Ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011 . – 224 с.

12