Практическая часть
1. Рассчитать глубину залегания p-n перехода при двухстадийной диффузии.
2. Проведем исследование распределения концентрации примеси от температура.
Таблица 2
Результаты расчетов
T, K |
1315 |
1335 |
1355 |
1375 |
1395 |
1415 |
1435 |
1455 |
1475 |
Z3, *10-4 см |
0,785 |
1,002 |
1,270 |
1,599 |
2,000 |
2,485 |
3,07 |
3,77 |
4,604 |
Рис. 1. Зависимость глубины залегания p-n перехода от температуры
3. Проведем исследование распределения концентрации примеси от времени разгонки примеси.
Таблица 3
Результаты расчетов
t2, c |
990 |
2990 |
4990 |
6990 |
8990 |
10990 |
12990 |
14990 |
16990 |
Z3, *10-4 см |
0,734 |
1,216 |
1,534 |
1,789 |
2,000 |
2,188 |
2,359 |
2,515 |
2,659 |
Рис. 2. Зависимость глубины залегания p-n перехода от времени разгонки
4. Составим маршрутную технологию формирования p-n перехода.
Таблица 3
Маршрутная технология формирования p-n перехода
А/Б |
№ опер |
Наименование и содержание операции |
|
А |
005 |
Подготовительная №1 |
|
Б |
|
Стол рабочего |
|
О |
|
1. Извлечь пластину из упаковочной тары 2. Установить пластину на станке. 3. Осуществить химико-механическую обработку пластины 4. Упаковать пластины в транспортировочную тару, и передать далее по технологическому маршруту. |
|
Т |
|
1. Тара специальная |
|
А |
010 |
Загонка примеси |
|
Б |
|
Высокотемпературная печь |
|
О |
|
1. Извлечь пластину из упаковочной тары 2. Установить пластины в лодочки, для загрузки в печь. 3. Осуществить загрузку пластин в печь и обеспечить температурный режим в соответствии с нормами и режимами, записанными в сопроводительной документации. Температура загонки примеси 1122 градусов Цельсия, время загонки 1100 секунд. 4. Извлечь лодочки из печи (выгрузку пластин осуществлять строго в режимах, записанных в сопроводительной документации, извлечение пластин из лодочек осуществлять не ранее чем через 25 минут, после извлечения лодочек из печи. Для извлечения пользоваться исключительно пинцетом). 5. Упаковать пластины в транспортировочную тару, и передать далее по технологическому маршруту. |
|
Т |
|
1. Тара специальная 2. Пинцет 3СSA |
|
А |
015 |
Разгонка примеси |
|
Б |
|
Высокотемпературная печь |
|
О |
|
1. Извлечь пластину из упаковочной тары 2. Установить пластины в лодочки, для загрузки в печь. 3. Осуществить загрузку пластин в печь и обеспечить температурный режим в соответствии с нормами и режимами, записанными в сопроводительной документации. Температура разгонки примеси 1122 градусов Цельсия, время разгонки 8990 секунд. 4. Извлечь лодочки из печи (выгрузку пластин осуществлять строго в режимах, записанных в сопроводительной документации, извлечение пластин из лодочек осуществлять не ранее чем через 25 минут, после извлечения лодочек из печи. Для извлечения пользоваться исключительно пинцетом) 5. Упаковать пластины в транспортировочную тару, и передать далее по технологическому маршруту. |
|
Т |
|
1. Тара специальная 2. Пинцет 3СSA |
|
А |
080 |
Измерение поверхностного сопротивления |
|
Б |
|
Прибор для измерения поверхностного сопротивления |
|
О |
|
|
|
Т |
|
Салфетка из мадаполама, тара рабочая, пинцет |
|
А |
085 |
Контроль толщины диффузионного слоя |
|
Б |
|
«Изотрон 2М» |
|
О |
|
|
|
Вывод: в процессе выполнения домашней работы были изучены основные понятия процесса диффузии, исследованы зависимости глубины залегания p-n перехода от температуры и времени разгонки примеси, была составлена маршрутная технология формирования p-n перехода.