
- •1.1. Основные понятия
- •1.2. Виды технологических процессов.
- •1.3. Этапы разработки технологических процессов.
- •Анализ и расчет технологичности электронного узла.
- •Выбор техпроцесса сборки электронного узла.
- •Анализ объема выпуска изделия.
- •Разработка технологических операций.
- •1.4. Технологические процессы и качество эа.
- •Методы оценки точности.
- •Методы получения заданной точности.
- •1.8. Выбор наиболее экономичного варианта тп по себестоимости.
- •2.1. Общие сведения о микросхемах и технологии их изготовления.
- •2.2. Изготовление монокристалла полупроводникового материала
- •2.3. Резка монокристалла и получение пластин
- •2.4. Изготовление фотошаблонов
- •2.5. Полупроводниковые микросхемы
- •2.6. Легирование методом термической диффузии примесей
- •2.7. Легирование методом ионной имплантации
- •2.9. Фотолитография
- •Подготовка поверхности
- •Нанесение фотослоя
- •Совмещение и экспонирование
- •2.10. Расчет топологических размеров областей транзистора
- •2.11. Осаждение тонких пленок в вакууме
- •2.12. Тонкопленочные резисторы
- •2.13. Основы толстопленочной технологии
- •Толстопленочные пасты
- •2.14. Коммутационные платы микросборок
- •Тонкопленочные платы
- •Тонкопленочные платы на основе анодированного алюминия
- •Толстопленочные платы
- •2.16. Электрический монтаж кристаллов имс на коммутационных платах микросборок
- •Проволочный монтаж
- •Ленточный монтаж
- •Монтаж жесткими объемными выводами
- •Микросварка
- •Изготовление системы объемных выводов
- •3.1. Общие сведения о печатных платах
- •Конструктивные характеристики печатных плат
- •3.2. Материал печатных плат
- •3.3. Изготовление оригиналов и фотошаблонов
- •3.4. Технологические процессы изготовления печатных плат
- •3.5. Основные технологические этапы в производстве печатных плат Получение заготовок печатных плат
- •Получение монтажных и переходных отверстий в печатных платах
- •Подготовка поверхности
- •Металлизация печатной платы
- •Получение защитного рельефа
- •Травление меди с пробельных мест
- •Обработка по контуру
- •Прессование
- •Контроль
- •4.1. Обработка резанием деталей эа
- •Обработка деталей на токарно-револьверных станках
- •Обработка деталей на токарных автоматах
- •Обработка деталей фрезерованием
- •Обработка деталей на сверлильных станках
- •Обработка деталей шлифованием
- •4.2. Изготовление деталей эа методом литья
- •4.3. Изготовление деталей эа холодной штамповкой
- •4.4. Изготовление деталей из пластмасс для эа
- •4.5. Электрофизические и электрохимические методыобработки деталей
- •5.1. Сборочно-монтажные операции
- •5.2. Сборка и монтаж модулей первого уровня
- •Комплектация устанавливаемых на пп элементов
- •Подготовка элементов к монтажу
- •Установка элементов на печатную плату и их фиксация
- •Пайка элементов на печатной плате
- •5.3. Технология монтажа объемных узлов
- •Технология жгутового монтажа
- •Технология монтажа с использованием ленточных проводов
- •6.1. Технологические операции регулировки и настройки.
- •Критерии оценки качества рно.
- •6.2. Виды неисправностей эа и их устранение. Общие положения
- •Уровни и способы поиска неисправностей персональных эвм.
- •Средства локализации неисправностей, ремонт и отладка системных плат.
- •6.3. Испытания эа. Испытания как основная форма контроля эа
- •Испытания эа на механические воздействия.
- •Испытание эа на климатические воздействия.
- •2.17. Герметизация микросхем и микросборок
- •Бескорпусная герметизация
- •Контроль герметичности
Получение защитного рельефа
Нанесение защитного рельефа заключается в процессе переноса изображения рисунка печатных проводников на материал основания ПП, который осуществляют фотохимическим, сеткографическим, офсетным способом и др.
Защитный рельеф может быть негативным и позитивным.
Выбор способа получения защитного рельефа зависит от класса точности ПП, ширины проводников и расстояний между ними, размеров контактных площадок, точности получения размеров печатных элементов.
Фотохимический способ позволяет получить проводники и зазоры между ними порядка 0,1 мм с точностью Б0,03 мм. Процесс получения защитного рельефа состоит из следующих этапов:
на поверхность заготовки ПП наносят фоторезист - фотополимерный материал, чувствительный к ультрафиолетовому (УФ) излучению (рис. 3.11);
устанавливают фотошаблон, реперные знаки (перекрестия) которогосовмещаются под микроскопом с центрами фиксирующих (базовых) отверстий заготовки ПП;
проводят экспонирование рисунка схемы, в результате которого происходит полимеризация фоторезиста под действием УФ-излучения на участках ПП, которые находились под прозрачными частями фотошаблона;
проявляют изображения рисунка.
Применяют фоторезисты негативные и позитивные, которые в свою очередь делятся на жидкие и сухие пленочные (СПФ). При использовании негативных фоторезистов экспонированные области заготовки ПП остаются на плате, а неэкспонированные вымываются при проявлении. В случае использования позитивных фоторезисторов экспонированные участки вымываются при проявлении.
Рис. 3.11. Фотохимический способ нанесения защитного покрытия
Травление меди с пробельных мест
Травление - химический процесс удаления меди с незащищенных резистом участков. Результатом выполнения этой операции является рисунок печатных элементов (проводников, контактных площадок и пр.), точность выполнения которых влияет на электрические характеристики ПП. Следует учитывать, что брак на этой операции (растравливание проводников, уменьшение ширины, площади поперечного сечения,подтравливание проводников и пр.) является необратимым.
Одним из дефектов при травлении является боковое подтравливание проводников и контактных площадок (рис. 3.12). Величина подтравливания составляет примерно 70 % от толщины медного слоя, что приводит к зауживанию проводников и нависанию травильного резиста. Эти явления необходимо учитывать при конструировании, в частности, при выборе толщины медной фольги. Применение материалов с тонкомерной медной фольгой (5 мкм) значительно снижает боковое подтравливание.
Рис. 3.2. Схема системы модульного травления: 1 - загрузка ПП; 2 -камера струйного травления; 3 - отмывка; 4 - сушка; 5 - разгрузка; б - ПП; 7 -конвейер
В качестве травильных резистов применяют: краску, которая наноситсясеткографическим способом; фоторезист (СПФ или жидкий) - фотохимическийспособ нанесения; металлорезист (олово-свинец, олово, свинец, золото и др.), который наносится электрохимическим способом.
Заготовки ПП размещают на установки струйного травления, в которых участки меди, незащищенные травильным резистом, вытравливаются электролитом, и на заготовках остаются только токопроводящие участки в соответствии с фотошаблоном или трафаретом. В качестве травящего электролита широко применяют кислые и щелочные растворы хлорной меди, растворы на основе хлорного железа, растворы на основе персульфата аммония, железо-медно-хлоридные растворы. Процесс травления происходит, как правило, в специальных модульных установках.В модулях щелочного травления осуществляется автоматический контроль величины рН раствора, а в модулях кислотного травленияпроизводится регенерация раствора на основе хлорида меди.