Выделение вредных веществ в атмосферу при нанесении трафаретных красок, фоторезистов и снятии их (для типовых красок марок стз-12, фоторезистов фпп и др.)

Наименование операции, тип оборудования

Типовые вредные вещества

Выделение в граммах на одну УПП

m_yj, г/упп

1

2

3

1. Нанесение, сушка красок трафаретной печати

Уайт-спирит

1,71

Керосин

0,026

2. Снятие красок трафаретной печати

Трихлорэтилен

8,8

Бутилацетат

1,32

3. Нанесение пленочного фоторезиста методом окунания

Спирт этиловый

6,25

Ацетон

2,50

1

2

3

4. Проявление и снятие фоторезиста

Едкий натр

0,09

5. Прессование многослойных печатных плат*

Пыль стеклотекстолита (гетинакса)

0,06…0,08

Пары фенола

0,03…0,07

Пары эпихлоргидрина

0,02…0,04

Наименование операции

Типовые вредные вещества

Выделение в граммах на одну УПП

m_yj, г/упп

1

2

3

1 Механическая зачистка

Пыль абразивная

34,2

2 Гидроабразивная зачистка

То же

25,0

3 Обезжиривание

Едкий натр

1,8

4 Подтравливание меди на торцах контактных площадок

Аммиак

6,6

Серная кислота

0,36

Хромовый ангидрид

0,03

5 Активирование

Хлористый водород

1,08

6 Химическое меднение

Медь сернокислая

3,4*10^-3

Формальдегид

21*10^-3

Едкий натр

2,5*10^-4

7 Гальваническое меднение

Медь сернокислая

7,2*10^-2

Серная кислота

10^-2

8. Обезжиривание

Едкий натр

1,8

9. Осаждение гальванического покрытия

Фтористый водород

1,3…10,9

10 Промывка в аммиачной воде

Аммиак

3,5

1

2

3

11 Нанесение сплавов олова с кобальтом, свинцом

Фтористый водород

5,7

Хромовый ангидрид

4,2*10^-2

Триэтаноламин

4*10^-2

Спирт этиловый

6,05

Хлористый водород

0,2

Свинец

10,4

12 Удаление защитного покрытия

Фтористый водород

16,2

13 Гальваническое никелирование

Никель и его соли

0,11

14 Гальваническое палладирование

Аммиак

106,5

1

2

3

1 Изготовление сетчатых трафаретов и масок (экспонирование, приклеивание, обезжиривание, проявление и др.)

Бензин

3,57

Хромовый ангидрид

0,002

Трихлорэтилен

107,7

2 Изготовление фоторезистов (подготовка раствора, фильтрация и др.)

Соляная кислота

1,0

Серная кислота

1,0

Плавиковая кислота

0,01

Щавелевая кислота

1,00

Диоксан

6,4

Диметилформамид

0,7

Эпихлоргидрин

0,8

3 Изготовление фотошаблонов (отмывка, сушка, нанесение, проявление, травление и др.)

Трихлорэтилен

12,44

Спирт этиловый

10,0

Диметилформамид

0,2

Толуол

0,2

Диоксан

0,2

Едкий натр

5,0

Хлористый водород

30,0

Толуол

0,02

Вещества

ПДК, мг/м²

Класс опасности

Максимально-разовая

Среднесуточная

1

2

3

4

Аммиак

0,2

0,04

4

Ацетон

0,35

0,35

4

Бензин

5,0

1,5

4

Бром

-

0,04

2

Кислота азотная

0,4

0,15

2

Кислота плавиковая (фтористый водород)

0,02

0,005

2

Кислота серная

0,15

-

2

Кислота соляная (хлористый водород)

0,05

0,015

2

Ксилол

0,2

0,2

3

Медь сернокислая

0,003

0,001

2

Никель

0,001

0,001

1

Озон

0,16

0,03

1

1

2

3

4

Пыль неорганическая

0,15

0,05

3

Свинец

-

0,0003

1

Углерод четыреххлористый

4,0

2,0

4

Фенол

0,01

0,003

1

Формальдегид

0,035

0,003

1

Фосфора оксид

0,15

0,05

1

Фреон

100

10

4

Фтористый аммоний

0,02

0,005

1

Фтористый бор

0,02

0,005

1

Хлор

0,1

0,03

1