- •Глава 12 повышение степени интеграции и направление функциональной электроники
- •12.1. Проблемы повышения степени интеграции
- •12.2. Матричные бис
- •12.3. Функциональная электроника -перспективное направление в микроэлектронике
- •12.4. Элементы функциональной электроники на поверхностных акустических волнах
- •12.5. Элементы функциональной электроники на цилиндрических магнитных доменах
- •12.6. Устройство и принцип действия прибора с зарядовой связью
12.2. Матричные бис
Напомним кратко об эволюции ИС и возможностях их применения.
Интегральные схемы малой степени интеграции (МИС) представляют собой логические схемы, выполняющие простейшие логические операции (И, ИЛИ, НЕ, ИЛИ-НЕ, И-НЕ), триггерные схемы (триггеры, сумматоры, дешифраторы и т.п.) или схемы усилителей. По мере совершенствования технологии и соответственно повышения степени интеграции стало возможным реализовать функциональные блоки и узлы традиционных систем обработки и хранения дискретной информации в виде СИС. Это, однако, привело к сужению области применения СИС и увеличению числа типов СИС при одновременном снижении объема производства и, следовательно, к увеличению стоимости. По мере дальнейшего увеличения степени интеграции усилилось противоречие между универсальностью применения БИС и степенью их интеграции.
Интегральные схемы стали терять универсальность. Выходом из этой сложной ситуации явилось создание на одном кристалле микропроцессора (МП), который представляет собой универсальную БИС, настраиваемую на решение различных задач путем программирования подобно тому, как это делается при решении различных задач на обычных ЭВМ. Более того, МП позволили создать новый класс электронных вычислительных машин –мини-ЭВМ, в том числе конструктивно на одном кристалле в виде БИС. Но при таком подходе не были решены все проблемы. Осталась необходимость в многочисленных БИС частного применения, предназначенных для преобразования информации в ограниченном классе РЭА.
С точки зрения разработчика РЭА ИС могут быть разделены на следующие виды: стандартные МИС, стандартные СИС, полузаказные БИС, заказные БИС, СБИС и УБИС.
Любой тип РЭА может быть создан на перечисленных ИС. Очевидно, что на стандартных ИС, выпускаемых массовыми сериями, РЭА будет наиболее дешевой, а на СБИС и УБИС – будет обладать лучшими технологическими характеристиками. Конечно, реально в сложной РЭА используют почти все перечисленные ИС, что вызвано стремлением решить компромиссно вопросы стоимости, надежности, быстродействия, массы, радиационной стойкости РЭА и др.
Наибольшим разнообразием конструктивно-технологических решений обладают полузаказные БИС.
Полузаказные (матричные) БИС в соответствии с внутренней структурой делятся на четыре типа: нескоммутированные логические матрицы (НЛМ), матрицы стандартных ячеек (МСЯ), программируемые логические матрицы (ПЛМ) и аналоговые матрицы (AM). Существуют матричные БИС и других типов. Например, широко известны цифроаналоговые (ЦАП) и аналого-цифровые (АЦП) преобразователи в интегральном исполнении. В этом случае на одном кристалле расположены цифровые и аналоговые матрицы.
Нескоммутированная логическая матрица представляет собой регулярную структуру из отдельных логических элементов или других компонентов, не соединенных между собой. Технологически процесс изготовления таких НЛМ заканчивается перед последней операцией – выполнением соединений.
НЛМ можно разделить на две группы – со средним и высоким быстродействием. Первая предназначена для бытовых систем и систем общего назначения. Их изготовляют по технологии КМДП, И2Л, МДП и ТТЛШ. Вторая предназначена для вычислительных систем и военной техники. В основе второй группы лежит схема эмиттерно-связанной логики (ЭСЛ).
Значительный прогресс в развитии матричных БИС (МаБИС) был достигнут с введением универсальной логической ячейки, содержащей минимальное число транзисторов, с помощью которой можно реализовать все элементы комбинационной логики при заданном числе входов. Конечно, ее площадь превышает площадь ячеек рассмотренных ранее структур, что ограничивает степень интеграции.
Аналоговые матрицы строятся на основе биполярных и полевых транзисторов. Типовые матрицы содержат от 100 до 200 биполярных транзисторов и резисторов. В качестве стандартных элементов используются операционные усилители, генераторы и компораторы.
Выбор конкретного типа базового матричного кристалла (БМК) определяется требованиями совместимости реализуемого устройства с остальными частями микроэлектронной системы, а также такими характеристиками, как быстродействие, энергопотребление, степень интеграции. Эти характеристики зависят от технологии изготовления БМК. Так, ЭСЛ-матрицы отличаются наивысшим быстродействием, но при этом потребляют наибольшую мощность. БМК, изготовленные по И2Л-технологии, наоборот, позволяют уменьшить энергопотребление, но обладают низким быстродействием. Промежуточное положение занимает БМК, выполненные с использованием ТТЛ-, ТТЛШ-, ШТЛ-технологий. Особое место принадлежит КМДП БМК, сочетающим наибольшую степень интеграции и низкий уровень потребления энергии. Кроме того, благодаря уменьшению линейных размеров полупроводниковых структур (длина затвора современного полевого транзистора может быть меньше 1 мкм) БИС на основе КМДП БМК в ряде случаев достигает быстродействия ЭСЛ-схем. Область применения БИС, изготовленных по различным технологиям, в зависимости от числа условных вентилей на кристалле N и времени задержки вентиля t приведена на рис. 12.1.
Основа МаБИС – базовый матричный кристалл (БМК) представляет собой прямоугольную пластину определенного размера из монокристаллического полупроводникового материала, на которой размещена матрица нескоммутированных базовых ячеек (БЯ). Каждая ячейка состоит из нескоммутированных транзисторов, диодов, резисторов.
В периферийной части БМК располагаются внешние контактные площадки для присоединения к выводам корпуса БИС и буферные ячейки (рис. 12.2). Каждая буферная ячейка 2 связана с одной внешней контактной площадкой 3 и представляет собой диодно-транзисторную структуру, на основе которой реализуютсяэлементы ввода-вывода информации. Базовые ячейки на внутренней части кристалла, необходимые для построения логических элементов БИС, группируются в макроячейки 1. Структура макроячеек может быть различной. Чаще всего это симметричные группы из четырех БЯ (рис. 12.3,a) либо линейка (ряды) БЯ (рис. 12.3,б-г). Между базовыми ячейками 1 в линейках могут оставаться промежутки 2 (рис. 12.3,г), используемые для прокладки соединений через макроячейку. Такие соединения называются транзитными. Помимо однородных макроячеек во внутренней части некоторых БМК могут размещаться специализированные макроячейки, реализующие типовые функциональные узлы (запоминающие устройства, сдвиговые и триггерные регистры, аналоговые блоки и т.п.). Общий вид подобного БМК приведен на рис. 12.2.
В матричных БИС электрические соединения осуществляются, как правило, с помощью металлических и поликремниевых шин. Наиболее распространены алюминиевые тонкопленочные шины