Будова мікроінтерферометра мии-4

Загальний вигляд приладу зображений на рис. 16. Він має конічну основу 1, на якій може бути встановлена фотокамера 2. До верхнього торця основи пригвинчена ціліндрична порожниста колонка 3, несуча предметний столик 4, який за допомогою двох мікрогвинтів 5 можна переміщувати у двох взаємно перпендикулярних напрямках. Ціна поділок мікрогвинтів дорівнює 0,005 мм. Крім того, столик можна повертати навколо вертикальної осі та стопорити гвинтом 6.

На колонці 3 під кутом 70˚ до вертикальної осі розташований спостережний тубус з гвинтовим окулярним мікрометром МОВ-1-15. На тубусі є кільце 7, обертанням якого можна вводити або виводити дзеркало 14 (рис. 9.15). При вимірюванні дзеркало 14 вводять в оптичну систему приладу, а при фотографуванні – виводять.

Обертанням мікрогвинта 10 (рис. 16) здійснюється фокусування мікроскопа на об’єкт. Відліки виконують по барабану мікрогвинта з ціною поділок 0,003 мм. Інтерфереційна головка складається із трох частин: лівої, середньої та правої.

Ліва частина складається із ліхтаря 11 з гвинтом 12 (для центрування лампи) і трубки, всередені якої змонтована освітлювальна частина системи. У трубці встановлена пластинка з трьома отворами, яку можна горизонтально висувати. У двох передніх отворах встановлені світлофільтри різних характеристик для одержання монохроматичного світла (зелений і жовтий), середній (вільний) отвір використовується для роботи з білим світлом. Кільце 13 (з накаткою) призначене для змінювання діаметра відкриття апертурної діафрагми.

Рис. 16. Мікро-інтерферометр МИИ-4

У суредню частину постійно загвинчений об’єктив, всередині корпусу якого змонтованні розподільна пластина 8 і компенсатор 9 (рис. 15). Права частина містить другий об’єктив 10, еталонне дзеркало 11 і пристрій для змінювання ширини та напрямку інтерференційних смуг.

Ширину смуг змінюють обертанням гвинта 14 (рис. 16) навколо своєї осі, а напрямок смуг – обертанням гвинта 14 навколо осі всієї інтерфереційної головки. Гвинт 15 призначений для зміщення інтерфереційних смуг у поле зору мікроскопа.

Настроювання приладу

Промиту бензином і витерту насухо деталь встановлюють на предметний столик 4 (рис. 16) досліджуваного поверхнею вниз. Включають світло. Волосок лампочки встановлюють так, щоб його зображення було різко видно у зіниці об’єктива. Зображення волоска лампочки і зіницю об’єктива добре видно при вийнятому окулярі. Гвинтами 12 центрують зображення волоска відносно зіниці об’єктива при повністю відкритій апертурній діафрагмі.

Після настроювання освітлення необхідно вставить тубус в окуляр, повернути рукоятку 16 так, щоб стрілка стояла на ній вертикально, і за допомогою мікрогвинта 10 сфокусувати прилад на підконтрольну поверхню. Потім поворотом рукоятки 16 увімкнути об’єктивну головку (стрілка на рукоятці стане горизонтальною), при цьому в полі зору повинно бути видно інтерфереційні смуги.

Мікрогвинтом 10 добиваються різкого зображення смуг і підконтрольної поверхні. Якщо при різкому фокусуванні на об’єкт найбільш різкі та контрастні смуги знаходяться не в центрі поля зору,то необхідно відпустити контргайку 17 і гвинтом 15 перевести смуги у центр поля зору. Потім перевірити фокусування на досліджуваній поверхні та закріпити гвинт 15 контргайкою 17. Гвинтом 15 і контргайкою 17 дозволяється користуватися тільки у вказаному випадку.

Для одержання більшої контрастності смуг рекомендується зменшити отвір апертурної діафрагми поворотом кільця 13.

Необхідний для роботи інтервал між смугами встановлюють обертанням головки гвинта 14 навколо його осі. Потім поворотом гвинта 14 навколо осі об’єктивної головки встановлюють інтерференційні смуги перпендикулярно до штрихів на досліджуваній поверхні. Для роботи з монохроматичним світлом треба перемістити до упора напрямну 8, щоб увімкнувся один із світлофільтрів.

При вимірюванні мікронерівностей за допомогою гвинтового мікрометра його надівають на тубус до упора, повертають так, щоб одна із ниток перехрестя була паралельна інтерфереційним смугам, і закріплюють.