Исходные данные

Таблица 1 – Исходные данные для проведения процесса

1	Материал	Al
	Uраб	800	В
	pAr	2,8*10-3	мм.рт.ст.
	Rб	220	Ом
	h	0,12	м
2	Uраб min	750	B
	Uраб max	850	B
	pAr min	2,2*10-3	мм.рт.ст.
	pAr max	3,4*10-3	мм.рт.ст.
	Rб min	150	Ом
	Rб max	270	Ом
	hmin	0,11	м
	hmax	0,13	м

Экспериментальные результаты

Таблица 2 – Результаты измерений

№ опыта	Uраб, В	pAr, мТорр	Rб, Ом	h, м	vпл, мкм/мин
1.1	800	2,8	220	0,12	0,2146
1.2					0,1965
1.3					0,2019
1.4					0,1610
1.5					0,2569
2	750	2,2	150	0,13	0,3484
3			270		0,1251
4		3,4	150	0,11	0,3086
5			270		0,1938
6	850	2,5	150		0,3776
7			270		0,1532
8		3,3	150	0,13	0,3941
9			270		0,1037

Обработка результатов

1. Расчет коэффициентов модели

Построим линейную модель первого порядка по результатам измерений:

где – неизвестные коэффициенты, – безразмерные нормированные факторы, связанные с реальными факторами соотношением:

– физический фактор, причем , _т, ;

– центр плана эксперимента по j – му фактору;

– интервал варьирования j – го фактора;

, – максимальный и минимальный уровни j – го фактора.

Средняя скорость роста пленки в эксперименте 1 рассчитана по формуле:

Таблица 3 – План ПФЭ

№ опыта	x1 (Uраб)	x2 (pAr)	x3 (Rб)	x3 (h)	vпл, мкм/мин
1	0	0	0	0	0,2062
2	-1	-1	-1	1	0,3484
3	-1	-1	1	1	0,1251
4	-1	1	-1	-1	0,3086
5	-1	1	1	-1	0,1938
6	1	-1	-1	-1	0,3776
7	1	-1	1	-1	0,1532
8	1	1	-1	1	0,3941
9	1	1	1	1	0,1037

Коэффициенты модели вычисляются по формуле:

Таблица 4 – Результаты расчета скорости напыления пленки по линейной модели

№ опыта	vпл, мкм/мин (по модели)	vпл, мкм/мин (эксперимент)
1	0,2456	0,2062
2	0,3281	0,3484
3	0,1386	0,1251
4	0,3410	0,3086
5	0,1514	0,1938
6	0,3536	0,3776
7	0,1641	0,1532
8	0,3389	0,3941
9	0,1494	0,1037