- •Глава 1. Биполярный и полевой транзисторы.
- •Раздел 1.Принцип действия биполярного транзистора.
- •Раздел 2. Принцип действия полевого транзистора.
- •Раздел 3. Устройство и принцип действия полевого транзистора с мдп структурой.
- •Раздел 4. Инверторы.
- •Глава 2. Методы нанесения тонкопленочных покрытий.
- •Раздел 1. Термическое вакуумное напыление.
- •Раздел 2. Ионное (катодное) распыление.
- •Раздел 3. Ионно-плазменное распыление.
- •Раздел 4 Эпитаксия из газовой фазы.
- •Глава 3. Методы создания и переноса рисунка.
- •Раздел 1. Общие понятия.
- •Раздел 2. Фотолитография.
- •Раздел 3. Рентгеновская литография.
- •Раздел 4. Электронная литография
- •1 2 Рис.3.4. Модель Каная
- •Раздел 5. Эффект близости в электронной литографии.
- •Раздел 6. Травление.
- •Глава 4. Методы модификации поверхностных и объемных структур.
- •Раздел 1. Термическая диффузия.
- •Глава 4. Методы модификации поверхностных и объемных структур.
- •Раздел 1. Термическая диффузия.
- •Раздел 2. Ионное легирование или ионная имплантация.
- •Раздел 3. Термический отжиг.
- •Глава 5. Методы контроля и метрологии.
- •Раздел 1. Растровая электронная микроскопия.
- •Раздел 3. Оже спектроскопия.
- •Раздел 4. Рентгеновский микроанализ.
- •Раздел 5. Спектроскопия обратного рассеяния Резерфорда.
- •Раздел 6. Ионный микроанализ и ионная масс-спектрометрия.
- •Раздел 7. Туннельная и атомно - силовая микроскопия.
Раздел 2. Принцип действия полевого транзистора.
Принцип действия приборов на основе полевого эффекта был обоснован еще в 30-е годы Лилиенфельдом и Хейлом, тем не менее первый работающий полевой транзистор был создан в 1960 г. Кангом и Атталой. Это говорит о том, что мало знать что надо сделать, но и очень важно знать - как. Принято различать два типа полевых транзисторов: с управляющим p-n переходом и МДП транзисторы. Начнем их изучение с полевого транзистора с управляющим p-n переходом, структура которого показана на рис.1.4. В полупроводниковой пластине p-типа сделаны выводы для 3-х электродов - истока, стока и затвора. Два из них, сток и исток помещены в карман n-типа, а один из них - затвор, помещен в карман р -типа, как это показано на рис.1.4. Слой полупроводника между истоком и стоком, в котором регулируется поток носителей заряда называют проводящим каналом (на рисунке показан пунктиром). Электрод, через который в проводящий канал втекают носители заряда называют истоком, а электрод, через который они вытекают - стоком. Электрод, на который подается напряжение, управляющее протекающим через канал током, и расположенный в р - кармане называют затвором.
И
З
С
P
карман
P
подложка
n
карман
Рис.1.4.
Схема полевого транзистора с управляющим
p-nпереходом
канал
При отсутствии потенциала между истоком и стоком толщина образованного канала будет одинаковой и зависящей от напряжения на затворе согласно выражению:
где W-толщина образованного канала; UЗ-модуль напряжения на затворе; N-концентрация примеси [см-3]; e-заряд электрона; а - расстояние между границей раздела подложка - n-карман и n-карман - p-карман, -диэлектрическая проницаемость полупроводника.
Положив W=0 легко найти напряжение отсечки, при котором обедненный слой перекрывает весь канал и ток в канале прекращается:
При подаче потенциала между истоком и стоком через канал протекает ток и напряжение на p-n переходе будет меняться, возрастая вблизи стока, что приводит к несимметричному уменьшению ширины канала. При достижении напряжения отсечки образуется “горловина”, однако вместо отсечки тока происходит отсечка его приращения, т.е. насыщение тока. Семейство стоковых вольт-амперных характеристик (ВАХ) -зависимостей тока стока от напряжения исток-сток при различных Uз представлено на рис.1.5. Кривая 2 соответствует более высокому по модулю напряжению (к примеру -6 В) на затворе, чем кривая 1 (например -1 В).
Iс,мА
2
6
10
Uс
B 4
8 12 16 1 2
Рис.1.5.
Статические ВАХ полево-
го
транзистора с p-n
переходом
где коэффициент b называется крутизной и имеет вид:
где - подвижность носителей [см2/В с], Z и L - ширина канала и длина канала соответственно, причем подвижность определяется для объема полупроводника, т.к. канал на граничит с поверхностью.
Теперь рассмотрим второй тип полевого транзистора.