- •1. Расчет и построение зависимостей констант равновесия от температуры для трех реакций:Kp1(t), Kp2(t), Kp3(t):
- •2. Определение степени превращения в химической системе α(т,а):
- •3. Расчет зависимостей рн2о(т,а), рGa2o(т,а), рр2(т,а):
- •4. Расчет температурных зависимостей δg2(т,а) и δg3(т,а) для заданных а:
- •5.Определение области стехиометричности газовой фазы:
- •2 Диффузионное легирование полупроводников.
- •1.Расчет и построение зависимости коэффициента диффузии от температуры:
- •2.Определение профиля легирующей примеси для каждого этапа диффузии и глубины p-n перехода:
3. Расчет зависимостей рн2о(т,а), рGa2o(т,а), рр2(т,а):
суммарное давление в системе:
Равновесное количество молей газов, присутствующих в химической системе:
Полное число газовых молей имеет следующий вид:
Парциальные давления для каждого компонента, рассчитанные по формуле ,имеют соответствующие выражения:
T,K a
|
T=700 |
T=800 |
T=900 |
T=1000 |
||||
|
||||||||
0,003 |
0,03 |
1,91E-13 |
0,03 |
4,40E-11 |
0,03 |
3,03E-09 |
0,03 |
8,93E-08 |
0,013 |
0,13 |
3,98E-13 |
0,13 |
9,16E-11 |
0,13 |
6,30E-09 |
0,13 |
1,86E-07 |
0,023 |
0,23 |
5,29E-13 |
0,23 |
1,22E-10 |
0,23 |
8,38E-09 |
0,23 |
2,47E-07 |
0,033 |
0,33 |
6,34E-13 |
0,33 |
1,46E-10 |
0,33 |
1,00E-08 |
0,33 |
2,96E-07 |
0,043 |
0,43 |
7,23E-13 |
0,43 |
1,67E-10 |
0,43 |
1,15E-08 |
0,43 |
3,38E-07 |
0,05 |
0,5 |
7,80E-13 |
0,5 |
1,80E-10 |
0,5 |
1,24E-08 |
0,5 |
3,64E-07 |
-
T=1100
T=1200
T=1300
0,029999
1,42E-06
0,0299857
1,43E-05
0,029899
1,01E-04
0,129997
2,96E-06
0,129970228
2,98E-05
0,12979
2,10E-04
0,229996
3,94E-06
0,229960398
3,96E-05
0,229721
2,79E-04
0,329995
4,72E-06
0,329952563
4,74E-05
0,329666
3,34E-04
0,429995
5,39E-06
0,42994585
5,42E-05
0,429618
3,82E-04
0,499994
5,81E-06
0,499941608
5,84E-05
0,499588
4,12E-04
4. Расчет температурных зависимостей δg2(т,а) и δg3(т,а) для заданных а:
Вторая реакция:
T(K) a |
700 |
800 |
900 |
1000 |
1100 |
1200 |
1300 |
|
0,003 |
6,81E+04 |
8,43E+04 |
1,00E+05 |
1,17E+05 |
1,33E+05 |
1,49E+05 |
1,65E+05 |
|
0,013 |
6,10E+04 |
7,61E+04 |
7,61E+04 |
9,12E+04 |
1,21E+05 |
1,37E+05 |
1,52E+05 |
|
0,023 |
5,83E+04 |
7,30E+04 |
7,30E+04 |
8,77E+04 |
1,17E+05 |
1,32E+05 |
1,47E+05 |
|
0,033 |
5,65E+04 |
7,10E+04 |
7,10E+04 |
8,54E+04 |
1,14E+05 |
1,29E+05 |
1,43E+05 |
|
0,043 |
5,52E+04 |
6,95E+04 |
6,95E+04 |
8,38E+04 |
1,12E+05 |
1,27E+05 |
1,41E+05 |
|
0,05 |
5,45E+04 |
6,87E+04 |
6,87E+04 |
8,28E+04 |
1,11E+05 |
1,25E+05 |
1,40E+05 |
Третья реакция:
T(K) a |
700 |
800 |
900 |
1000 |
1100 |
1200 |
1300 |
0,003 |
-3,29E+04 |
-4,71E+04 |
-6,13E+04 |
-7,54E+04 |
-8,96E+04 |
-1,04E+05 |
-1,18E+05 |
0,013 |
-2,86E+04 |
-4,22E+04 |
-5,58E+04 |
-6,94E+04 |
-8,29E+04 |
-9,65E+04 |
-1,10E+05 |
0,023 |
-2,70E+04 |
-4,03E+04 |
-5,36E+04 |
-6,70E+04 |
-8,03E+04 |
-9,37E+04 |
-1,07E+05 |
0,033 |
-2,59E+04 |
-3,91E+04 |
-5,23E+04 |
-6,55E+04 |
-7,87E+04 |
-9,19E+04 |
-1,05E+05 |
0,043 |
-2,51E+04 |
-3,82E+04 |
-5,13E+04 |
-6,44E+04 |
-7,75E+04 |
-9,05E+04 |
-1,04E+05 |
0,05 |
-2,47E+04 |
-3,77E+04 |
-5,07E+04 |
-6,38E+04 |
-7,68E+04 |
-8,98E+04 |
-1,03E+05 |