Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Karxanina Technology of semiconducting material...doc
Скачиваний:
5
Добавлен:
31.08.2019
Размер:
16.93 Mб
Скачать

И-0-ІЄ ІИ

а-е-ні о-и-

а-я. в, а-и-

о-

)ях

і"-'

te-

го ас їх

ЦЯ

т-ч-а-

ва ty

»jft т

і

І

Напрямок осей ланцюжків збігається з віссю С кри­стала. Кожний четвертий, сьомий, десятий і т. д. атом розташований над першим атомом в ланцюжку, так що проекція ланцюжка на площину, перпендикулярну осі ланцюжка, є рівнобічним трикутником (рис. 32,а). Рентгенографічні дослідження показали, що сірий «ме­талічний» селен має тільки одну гексагональну струк­туру.

Домішки сторонніх атомів по-різному впливають на швидкість кристалізації селену.

1. Домішки талію, лужних металів, амінів (анілін) та галоїдів С12, Вг2, т2 каталітично прискорюють криста- лізацію і збільшують провідність, впливаючи на рухо- мість носіїв.

Пояснити це можна тим, що домішки вступають в реакцію з селеном, руйнують кільцеву структуру, ско­рочують довжину ланцюжків і цим сильно зменшують в'язкість, полегшуючи тим самим перебудову структури. Селен з домішкою талію або лужних металів кристалі­зується з розплаву в сірий 5е зразу в процесі охоло­дження, без спеціальної тривалої термообробки.

2. Домішки фосфору і миш'яку різко сповільнюють кристалізацію, збільшують в'язкість розплавленого се- лену. При 5% фосфору селен майже неможливо закри- сталізувати, доводиться застосовувати багатократну за- калку в рідкому повітрі. Домішка телуру збільшує опір —105 раз при концентрації (1н-5)10-6.

Домішка ртуті збільшує опір, а домішка вісмуту зменшує його. Додавання сірки (до 5%) збільшує елек­тропровідність селену.

Методом рентгенівського аналізу була досліджена швидкість перетворення селену з однієї модифікації в іншу при різних температурах.

Було встановлено, що перетворення червоного кри­сталічного (моноклінного) селену в сірий гексагональ­ний при температурі 120° С повністю завершується про­тягом однієї години, при 80° — триває 15 діб, а при 65° — більше ніж 17 діб. Склоподібний селен повільно кристалізується при 28° в моноклінний, при 43° — в гек­сагональний, а при проміжних температурах — в суміш двох кристалічних форм.

Для напівпровідникових приладів сіру металічну мо­дифікацію одержують нагріванням інших форм, пере-

84

важно склоподібного селену, до 180—210° С і витриму­ють при цій температурі від однієї до трьох годин.

Одержання селену. Селен — рідкісний еле­мент. Середній вміст селену у земній корі складає кіль­ка стомільйонних частин процента. Концентрація селе­ну в сульфідних рудах коливається в середньому від

0,001 до 0,01%.

/ Основною сировиною для добування селену (і телу­ру) є анодні щлами (грязі), які випадають на дно елек­тролітичних ванн під час рафінування міді (0,2—0,8% від ваги анодів). Другим важливим джерелом є шлами, які осаджуються в газоходах і пиловловлювачах сірча­нокислотних заводів при випалюванні піритів, що містять селен. Власні мінерали селену відомі у вигляді селені­дів свинцю, міді, ртуті, вісмуту, срібла. У елементарно­му вигляді селен зустрічається серед сірки вулканічно­го походження.

Анодні шлами містять сполуки міді, срібла, сірки, селену, телуру, свинцю, миш'яку, сурми, заліза, нікелю, а також золото, пісок і інші речовини.

Найбільш досконалим способом переробки анодних шламів є сульфатизація шламу сірчаною кислотою при температурі 200—230° С. В процесі сульфатизації селен окислюється до Se02, а аніон SO2,- відновлюється до SOf,-. З одержаного сульфатного продукту при темпе­ратурі 400—500° С відганяють сублімацією Se02. Вилу­чення телуру з шламів провадиться попутно з селеном, тільки процеси окислення і відгонки відбуваються при вищих температурах (селективна сублімація). Цим спо­собом із шламів можна видобути до 93% наявного се­лену і 70% телуру.

Se02 з водою утворює селенисту кислоту НгБеОз; елементарний селен з неї вилучають, осаджуючи сірчи­стим газом S02. Осаджений селен прогрівають водяною парою, щоб він зсівся. Далі селен промивають, вису­шують, дрібно розмелюють і розфасовують.

Селен, одержаний безпосередньо осадженням з роз­чинів, називається технічним і залежно від процентного вмісту має три марки:

Сел. 1 містить селену не менше 98,5% Сел. 2 , . „ 97,5,

Сел. З . ... 95,0.

Для дальшої очистки селен рафінують дистиляцією або хімічними засобами.

Селен, що використовується для виробництва ви­прямлячів і фотоелементів, має марку «Селен для ви­прямлячів», який згідно з діючими до цього часу Ту МХП 1511-50 мусить бути в плитках скловидної

\ До бануумно-

Рис. 33. Розріз установки для дистиляції технічного селену.

структури, блискучого чорного кольору без будь-яких кристалічних включень. Вміст селену в ньому не менше 99,992%, сірки — не більше 0,001%, телуру — не більше 0,003%, нелеткого залишку — не більше 0,008%.

Особливо шкідливими є домішки важких металів 2п, РЬ, Бп, Ві, Ag і ін.

Для одержання селену для випрямлячів застосову­ють подвійну дистиляцію технічного селену. Схематич­ний розріз установки для дистиляції подано на рис. 33.

В процесі дистиляції селен позбавляється домішок, які переважно присутні в ньому у вигляді селенідів.

Реторта, труби і конденсатор виготовляються з не­ржавіючої сталі. Нагрівання апаратури може здійсню­ватись гарячими газами або електричним струмом, який проходить по нагрівних елементах опору в тепловій ізо­ляції. Найкраще вести дистиляцію під вакуумом (фор­вакуум). При цих умовах температура дистиляції зни­жується до 400° С Вихід чистого продукту становить

приблизно ЗО—35%.

В літературі описа­но багато способів очи­стки селену (як хіміч­ними засобами, так і фізичними) з викори­станням адсорбентів для вилучення домі­шок, фракційної адіа­батичної дистиляції се­лену або БеОг тощо. Серед них чимало запа­тентованих. Бібліогра­фія з цього питання до 1954 р. зібрана в книзі Д. М. Юхтанова [52].

Вироблені в остан­

ній час нові норми чистоти селену, який одер­жують в Радянському Союзі для наукових потреб, дуже високі. Наприклад, селен марки ВЗ мусить мати нормовані домішки 18 елементів: А1, Ві, Са, Ре, Іп, Са, Со, Мп, Аб, №. Бп, Б, Те не більше 1 ■ 10-4%, а Л^, Си, Нд, Ag, СІ не більше 1 • 10_5% кожного (див. табл. 26).

Для селену досі не існує достатньо чутливих методів аналізу на йа, Іп, Мд, СІ та Бп, тому на черзі дня стоїть їх розробка.

Безпосередньо зв'язані з чистотою селену і нормова­ною кількістю домішок такі характеристики селенових випрямлячів, як допустима напруга на одну пластину та густина струму. Табл. 10 відображає зростання допу­стимої зворотної напруги і густини струму у випрямля­чах в зв'язку з прогресом в очистці селену за останні 25 років.

Вважають, що в найближчий час буде доведено до­пустиму зворотню напругу до 150 в на пластину при збереженні досягненої досить значної густини струму.

До 1954 р. переважна кількість робіт по'селену була виконана на недостатньо чистому матеріалі, і тому дані цих робіт не відображають властивостей чистого селену.

Від цих робіт ви­гідно відрізняються ро­боти Екарта [60], який застосував для очистки селену вакуумну фрак­ційну багаторазову ди­стиляцію і одержав се­лен надзвичайно висо-

1

Тплаб

7

\

\

\

\

\

\

1.5 2.0 2.5 ЗЮ'3

Рис. 35. Графік температур­ної залежності електропро­відності селену (у вакуумі), очищеного багаторазовою фракційною дистиляцією (за Екартом)."

г4г

кої чистоти. Його установка для очистки селену зображе­на на рис. 34. Вона складається з трьох частин: дисти­ляційної колби 10, колони 9, дистиляційної насадки 6. 88

Усі ці частини, кожна зокрема, підтримувались при пев­ній температурі автоматичним регулюванням струму в печах. Установка зроблена з ієнського скла, з'єднання гарячих шліфів сухе.

Режим дистиляції встановлювався по швидкості па­діння крапель селену через сопло 4 і міг регулюватися температурою верхньої камери. Продуктивність установ­ки при швидкості 60 крапель на хвилину, температурі близько 450° С і тиску — 10 мм рт. ст. досягала 200 смг селену за півтори години. Після п'ятикратної дистиляції спектральним аналізом можна було виявити лише сліди бору. У такому селені після зберігання в апаратурі дов­гий час з'являлися домішки.

Виміри температурної залежності електропровідності (рис. 35) чистого гексагонального селену у вакуумі по­казали, що ширина забороненої зони в середньому до­рівнює 2,58 ев і є такою ж, як і для розплавленого се­лену. Питома провідність сірого кристалічного селену у високому вакуумі при кімнатній температурі порядку 10~п ом~1 см~К На повітрі провідність цього ж селену оборотно змінювалась, зростаючи на 5—6 порядків. Автор вважає, що це зростання спричинене киснем, який захоплюється селеном.

Можна сподіватися, що монокристали селену, очи­щені до такого ж ступеня чистоти, як наприклад, герма­ній, виявлять нові цінні напівпровідникові якості. Поки що монокристали, вирощені з розплаву і з пари селену різного ступеня чистоти, ніякими, особливо позитивними, властивостями порівняно до полікристалічного селену не відзначаються.

Деякі хімічні властивості. За хімічними властивостями селен подібний до сірки, але менш актив­ний. Кисень при кімнатній температурі на нього не діє; при нагріванні селен утворює сполуки БеО, БеОо та БеОз. Найбільш стійкою сполукою, яка утворюється при спалюванні селену в кисні або на повітрі, є БеОг — біла кристалічна речовина з температурою плавлення 340° С, яка сублімує при 315° С. БеОг добре розчиняється у воді, утворюючи селенисту кислоту НгБеОз настільки актив­ну, що вона здатна розчиняти навіть золото.

Соляна і розбавлена сірчана кислоти на селен не діють; азотна кислота окислює його до ЭеОг, а луги роз­чиняють з утворенням солей. З металами селен утворює

�999999999999999991

кЬанцциц

і'

кґ

9999999999999999

селеніди, з воднем при температурах вище 200° С утво­рює Нг5е. Селеноводень — це горючий газ з неприємним запахом гнилої редьки, дуже отруйний для людей.

Елементарний селен не отруйний, проте відомі ви­падки, коли, попадаючи на поранену шкіру, він спричи­нював виразки, які повільно загоювалися. Усі сполуки селену шкідливі і небезпечні для людей, тому будь-яка робота з ним та його сполуками мусить провадитися в приміщеннях з доброю вентиляцією і у витяжних шафах. Із сіркою селен утворює сполуки ЗегБ та БеБг.

Фізичні властивості селену різних моди­фікацій подаємо в табл. 11.

Сіра і червона кристалічні модифікації селену вияв­ляють фотоелектричну чутливість. Опір їх під дією світ­ла істотно зменшується. Енергія активації носіїв, визна­чена по фотопровідності у червоному селені, дорівнює 1,6 ев, Хі= 0,85 мк.

По Моссу [73] оптична енергія активації носіїв фотоструму визначається величиною кванта енергії, якому відповідає та довжи­на хвилі X'/, > ПРИ якш величина фотопровідності спадає до поло­вини свого значення в максимумі (з боку довших хвиль) або остан­нього плато на кривій чутливості (див. стор. 131).

Фото-е. р. с. в сірому селені при сильному освітленні може досягати 1 в, але к. к. д. селенових фотоелементів не перевищує 0,1 %.

Характерною особливістю селену є повільне віднов­лення порушеного стану рівноваги після освітлення, тиску, прикладеного сильного електричного поля — інерційність властивостей, що є негативною рисою се­лену. Це зв'язано з малою рухливістю носіїв струму. Термо-е. р. с. селену досить велика, дорівнює 600 мкв/град при кімнатній температурі і зростає при під­вищенні її.

Технологічно важливою характеристикою селену, яка використовується для очистки і при виготовленні при­ладів, є температурна залежність пружності пари селе­ну, подана в табл. 12.

Застосування селену. Попит на селен в на­родному господарстві більшості країн великий, а видо­буток його обмежений. Вважають, що річна світова про­дукція селену досягає 1000 т. З цієї кількості приблизно 45% витрачається на виробництво селенових випрямля­чів та фотоелементів. Крім напівпровідникової промис-

з-

3

ч

«

-

О

я и

£ а.

а

« ч

о) -ся

«ООО)

СО.

а

о

« II

ї«2

З а

я =;

2 м .2

са

«з

о а, о

ю

ті"

8

е.

с

га я

н

а

>>

о

к

о * о З

» а

о

а.

са . к . а

гав й

5 • Э • «)

в н

ї с « к

Я я ,

<- со «=Я

_ а. к о. я

" .5 „

«і 5 5 5 ^„-

СОЕ-СОЕ-Со см

к

Продовження табл. И

Числові значення величин селену

Властивість

Одиниця виміру

Склоподібного

Червоного кристалічного

Гексагонального

Сховане тепло плавлення

Теплоємність при температурі (15—77)°С

Теплопровідність

Коефіцієнт лінійного теплового роз- ширення при 180°С

Твердість по мінералогічній шкалі Твердість по Брінеллю

Модуль пружності

Модуль зсуву

Стискуваність при />=«100 10+3/сг .

кал

г

кал г ■ град кал

см-сек-град

1

град

відн. один.

кГ мм2

кГ мм2

кГ мм2

V

0,075ч-0,Ю6 (2,93-=-3,28)-4

37-10-6

498

0,082 (74-18,3)-Ю-4

15,4

0,078 (5,74-5,2)-Ю-4

74,09-Ю-6 И С 17,89-Ю-6 ср. 49-10-6

2 75

5500

660

0,295

Числові значення величин селену

Властивість

Одиниця виміру

Склоподібного

Червоного кристалічного

Гексагонального

Тепло перетворення в сірий гексаго- нальний (виділяється)

Магнітна сприйнятливість

Діелектрична стала (кімнатна темпе- ратура)

Електропровідність

Зміна опору при всебічному стиску- ванні в 1000 атм

Ефективна рухливість носіїв при 300°К

Ширина забороненої зони .... Показник заломлення

Довгохвильова границя основної смуги поглинання при 298°К

кал г

од. СйБ

мк

13,5 при 130°С 16,4 при 217°

-1,3

-6,30 при ■10) Мгц

ю-13

«„=(4,7—5,5)-10" ир =0,1— 0,2

2,31—(4,б4-8,8)Х Х10-4ГС

3,13 при Х=0,5 мк 2,56 при Х=0,9 мк 2,45 при Х=3 мк

0,657

2,2 при 150°С —0,5

0,32

ЗО

и„ ^ 1 при 40°С

= 84-10 при (з домішкою йоду) ,74-1,90

Екартом [65]

5,97-(40-

190Х

1

2,2за

t

: !

(

88888888

носіїв рекомбінувала поблизу струмового електрода (це забезпечується на механічно шліфованій поверхні, де швидкість рекомбінації дуже висока);

3) поверхня, на якій розміщуються зонди, повинна бути плоскою, не щербатою і без поверхневої провід­ності;

Рис. 101. Прилад для вимірюван­ня питомого опору кристалів чо-тирьохзондовим методом:

11—> чотирьохзондова головка; 2 — кри­стал; 3 — столик-підставка; 4, 5, 6 — мік­рометричні гвинти.

  1. усі чотири зонди мають контактувати з поверх­нею в точках, які лежать на одній прямій;

  2. діаметр контакту зонда з напівпровідником пови­нен бути малим, порівнюючи з віддаллю між зон­дами;

  3. границя між електродами (зондами) і напівпро­відником повинна бути напівсферичною і малою в діа­метрі. Практично чотири зонди монтуються у вигляді спеціальної чотирьохзондової головки, подібно до зобра­женої на рис. 100.

Віддаль між зондами звичайно роблять біля 1 мм, діаметр зондових дротинок 200 мк; кінці зондів зато­чують електролітичним травленням до діаметра заокруг­лення кінця 10—15 мк. Виготовляють зонди переважно

з вольфраму, а головку з якогось хорошого ізоляційного1 матеріалу, наприклад, плексигласу, ескапону, ебоніту.

Головку закріплюють в тримачі з мікрометричним гвинтом, за допомогою якого встановлюють зонди на площині зрізу кристала та переміщують її, коли це по­трібно, по вертикалі.

Можна чотирьохзондову головку закріпити нерухо- мо, а переміщувати кристал. Конструкція такого типу, здійснена В. 1. Чаловим, зображена на рис. 101 та 100.

Кристал 2 закріп­люється на спеціальному столику-підставці 3, з'єд­наному з трьома мікро­метричними гвинтами 4, 5, 6. Вони дають можли­вість переміщувати кри­стал відносно нерухомої головки 1 у трьох взаємно перпендикулярних напря­мах.

Вальдес встановив, що величина струму, який протікає через струмові зонди, впливає на вимірю­ваний опір германію у

тим більшій мірі, чим менша віддаль між зондами.

На рис. 102 наведена залежність зміни питомого Опо­ру в Др % від сили струму через зовнішні зонди при від­далі між зондами приблизно 1 мм; оптимальною є сила струму 1 ма.

Виміри можна провадити як на п- так і р-матеріалі з питомим опором від 0,001 до 50 ом - см і більше. Цим методом можна поміряти питомий опір матеріалу по обидва боки від р — п-переходу, не розрізаючи кристал на частини.

Метод чотирьох зондів можна застосовувати і тоді, коли доводиться зонди розміщувати поблизу границі напівпровідника з металом або ізолятором, тобто по­близу провідної чи непровідної границі або на тонкій платівці. В цих випадках формула (52) для обчислень р

ускладнюється. В неї слід вводити множником відпо­відні поправочні функції/,, обчислені для різних випад­ків розташування зондів на поверхні, а саме:

Р = Ро//(т).

де р0-—питомий опір зразка, обчислений за форму­лою (52);

— множник, який є функцією віддалі / зондів від границі (або товщини платівки ш) і віддалі я між зондами.

//:

0.95 0.9 0,85

""0,75 0,7 065

3. Лінія дотику зондів перпендикулярна до провідної границі (рис. 105,о)

Р = Ро/з (у).

/ — віддаль до провідної границі від найближчого зонда. Графік функції /з зображений на рис. 105,6.

4. Лінія дотику зондів паралельна до провідної гра- ниці (рис. 106,о)

р = РоЛ (т) •

Графік функції ¡4 подано на рис. 106,6.

5. При вимірюванні р на тонких платівках, які ле- жать на металічній основі — добре провідному шарі, зонди розташовані так, як на рис. 107, 108,а

Рис. 103. Графік поправочної функ­ції (і:

а — розташування зондів; б — графік функції.

Теорія розглядає шість основних випадків, в яких вживаються поправочні функції, відмінні від одиниці.

1. Лінія дотику зондів до поверхні перпендикулярна непровідній границі (рис. 103,а).

Р = Ро/і (у) •

Графік поправочної функції зображено на рис. 103,6. Тут і віддаль до непровідної границі від найближчого зонда.

2. Зонди паралельні до непровідної границі (рис. 104,а).

Графік функції їг^-уі подано на рис. 104,6; / — від­даль між границею і лінією дотику зондів до поверхні. 244

де и — товщина напівпровідникової платівки. Графік

функції зображено на рис. 108,6.

6. При вимірюванні р на платівках, коли нижня гра­ниця є непровідною (розташування зондів таке, як у випадку С5); хю — товщина платівки, віддаль від пло­щини дотику зондів до непровідної границі

Р = Ро —Ш = РоЛ (7) ■

Графік функції С-6 подано на рис. 109.

Значення поправочних функцій /, для обчислення

питомого опору в різних випадках для різних — або —

наведені в табл. 32.

Для кремнію чотирьохзондову головку у тако­му вигляді, як для германію, застосовувати не можна. Причина в тому, що на шліфованій поверхні кремнію завжди існує ізолюючий поверхневий шар з опором -106 ом, який хоч і пробивається електричним розря-

ар

Рис; 104. Графік поправочної функції /2: а — розташування зондів; 6 — графік функції.

w

ri'-rlL

'-Ух '<ЙЗ

r т

а

2 З б

\дна

...Слабко [границя)

Рис. 107. Розташування зондів на платівці з нижньою провідною гра­ницею (до обчислення функції 6\).

0.7 0.5

2,0

0.В

Провід грант

а

на

ІЯ

1 I./S 5

Рис. 105. Графік попра­вочної функції [з:

а — розташування зондів; б —графік функції.

Рис. 108. Графік попра­вочної функції 6V

а — розташування зондів; б — графік функції.

"ПІТ.

/

> 1

/

іровідна граниш

і

а

/

01 0.2030.4Ц507Í0 2 3 45 7 10 w/s

1.0 0.7] 0.5 0А

^ 0J

І 0.2

1.6

12

0.05

ом

003 0.02

0.01

Рис. 106. Графік поправочної функції

а — розташування зондів; о — графік функції.

20.0

10,0 7.0

Ж 4.0 ^3.0 2.0

1.0

Рис. 109. Графік попра­вочної функції Об:

а — розташування зондів; б — графік функції.

.ЇМ

л

B7A

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]