И-0-ІЄ
ІИ
а-е-ні
о-и-
а-я.
в, а-и-
о-
)ях
і"-'
te-
го
ас їх
ЦЯ
т-ч-а-
ва
ty
»jft т
і
І
Напрямок
осей ланцюжків збігається з віссю С
кристала.
Кожний четвертий, сьомий, десятий і т.
д. атом розташований над першим атомом
в ланцюжку, так що проекція ланцюжка
на площину, перпендикулярну осі ланцюжка,
є рівнобічним трикутником (рис. 32,а).
Рентгенографічні дослідження показали,
що сірий «металічний» селен має
тільки одну гексагональну структуру.
Домішки
сторонніх атомів по-різному впливають
на швидкість кристалізації селену.
1. Домішки
талію, лужних металів, амінів (анілін)
та
галоїдів С12,
Вг2,
т2
каталітично прискорюють криста-
лізацію
і збільшують провідність, впливаючи
на рухо-
мість носіїв.
Пояснити
це можна тим, що домішки вступають в
реакцію з селеном, руйнують кільцеву
структуру, скорочують довжину
ланцюжків і цим сильно зменшують
в'язкість, полегшуючи тим самим перебудову
структури. Селен з домішкою талію або
лужних металів кристалізується з
розплаву в сірий 5е зразу в процесі
охолодження, без спеціальної тривалої
термообробки.
2. Домішки
фосфору і миш'яку різко
сповільнюють
кристалізацію, збільшують
в'язкість розплавленого се-
лену.
При 5% фосфору селен майже неможливо
закри-
сталізувати, доводиться
застосовувати багатократну за-
калку
в рідкому повітрі. Домішка телуру
збільшує опір
—105
раз при концентрації (1н-5)10-6.
Домішка
ртуті збільшує опір, а домішка вісмуту
зменшує його. Додавання сірки (до 5%)
збільшує електропровідність селену.
Методом
рентгенівського аналізу була досліджена
швидкість перетворення селену з однієї
модифікації в іншу при різних температурах.
Було
встановлено, що перетворення червоного
кристалічного (моноклінного) селену
в сірий гексагональний при температурі
120° С повністю завершується протягом
однієї години, при 80° — триває 15 діб, а
при 65° — більше ніж 17 діб. Склоподібний
селен повільно кристалізується при
28° в моноклінний, при 43° — в гексагональний,
а при проміжних температурах — в суміш
двох кристалічних форм.
Для
напівпровідникових приладів сіру
металічну модифікацію одержують
нагріванням інших форм, пере-
84
важно
склоподібного селену, до 180—210°
С і
витримують при цій температурі від
однієї до трьох годин.
Одержання
селену.
Селен —
рідкісний
елемент. Середній вміст селену у
земній корі складає кілька стомільйонних
частин процента. Концентрація селену
в сульфідних рудах коливається в
середньому від
0,001
до
0,01%.
/
Основною сировиною для добування селену
(і телуру) є анодні щлами (грязі), які
випадають на дно електролітичних
ванн під час рафінування міді (0,2—0,8%
від
ваги анодів). Другим важливим джерелом
є шлами, які осаджуються в газоходах і
пиловловлювачах сірчанокислотних
заводів при випалюванні піритів, що
містять селен. Власні мінерали селену
відомі у вигляді селенідів свинцю,
міді, ртуті, вісмуту, срібла. У
елементарному вигляді селен
зустрічається серед сірки вулканічного
походження.
Анодні
шлами містять сполуки міді, срібла,
сірки, селену, телуру, свинцю, миш'яку,
сурми, заліза, нікелю, а також золото,
пісок і інші речовини.
Найбільш
досконалим способом переробки анодних
шламів є сульфатизація шламу сірчаною
кислотою при температурі 200—230°
С. В
процесі сульфатизації селен окислюється
до Se02,
а
аніон SO2,-
відновлюється
до SOf,-.
З
одержаного сульфатного продукту при
температурі 400—500°
С відганяють
сублімацією Se02.
Вилучення
телуру з шламів провадиться попутно з
селеном, тільки процеси окислення і
відгонки відбуваються при вищих
температурах (селективна сублімація).
Цим способом із шламів можна видобути
до 93%
наявного
селену і 70%
телуру.
Se02
з
водою утворює селенисту кислоту НгБеОз;
елементарний
селен з неї вилучають, осаджуючи
сірчистим газом S02.
Осаджений
селен прогрівають водяною парою, щоб
він зсівся. Далі селен промивають,
висушують, дрібно розмелюють і
розфасовують.
Селен,
одержаний безпосередньо осадженням з
розчинів, називається технічним
і
залежно від процентного вмісту має три
марки:
Сел.
1 містить
селену не менше 98,5%
Сел.
2 , .
„ 97,5,
Сел.
З
. ...
95,0.
Для
дальшої очистки
селен рафінують
дистиляцією або хімічними засобами.
Селен,
що використовується для виробництва
випрямлячів і фотоелементів, має
марку «Селен для випрямлячів», який
згідно з діючими до цього часу Ту МХП
1511-50
мусить
бути в плитках скловидної
\
До
бануумно-
Рис.
33.
Розріз
установки для дистиляції технічного
селену.
структури,
блискучого чорного кольору без будь-яких
кристалічних включень. Вміст селену в
ньому не менше 99,992%,
сірки
—
не
більше 0,001%,
телуру
—
не
більше 0,003%,
нелеткого
залишку —
не
більше 0,008%.
Особливо
шкідливими є домішки важких металів
2п,
РЬ,
Бп, Ві, Ag
і
ін.
Для
одержання селену для випрямлячів
застосовують подвійну дистиляцію
технічного селену. Схематичний
розріз установки для дистиляції подано
на рис. 33.
В
процесі дистиляції селен позбавляється
домішок, які переважно присутні в ньому
у вигляді селенідів.
Реторта,
труби і конденсатор виготовляються з
нержавіючої сталі. Нагрівання
апаратури може здійснюватись гарячими
газами або електричним струмом, який
проходить по нагрівних елементах опору
в тепловій ізоляції. Найкраще вести
дистиляцію під вакуумом (форвакуум).
При цих умовах температура дистиляції
знижується до 400°
С
Вихід
чистого продукту становить
приблизно
ЗО—35%.
В
літературі описано багато способів
очистки селену (як хімічними
засобами, так і фізичними) з використанням
адсорбентів для вилучення домішок,
фракційної адіабатичної дистиляції
селену або БеОг тощо. Серед них чимало
запатентованих. Бібліографія з
цього питання до 1954
р.
зібрана в книзі Д.
М.
Юхтанова [52].
Вироблені
в остан
ній
час нові норми чистоти селену, який
одержують в Радянському Союзі для
наукових потреб, дуже високі. Наприклад,
селен марки ВЗ мусить мати нормовані
домішки 18
елементів:
А1,
Ві,
Са, Ре, Іп, Са, Со,
Мп,
Аб,
№.
Бп,
Б, Те не більше 1
■ 10-4%,
а
Л^, Си,
Нд,
Ag,
СІ
не більше 1
• 10_5%
кожного
(див. табл.
26).
Для
селену досі не існує достатньо чутливих
методів аналізу на йа, Іп, Мд, СІ та Бп,
тому на черзі дня стоїть їх розробка.
Безпосередньо
зв'язані з чистотою селену і нормованою
кількістю домішок такі характеристики
селенових випрямлячів, як допустима
напруга на одну пластину та густина
струму. Табл.
10
відображає
зростання допустимої зворотної
напруги і густини струму у випрямлячах
в зв'язку з прогресом в очистці селену
за останні 25
років.
Вважають,
що в найближчий час буде доведено
допустиму зворотню напругу до 150
в
на пластину при збереженні досягненої
досить значної густини струму.
До
1954 р. переважна
кількість робіт по'селену була виконана
на недостатньо чистому матеріалі, і
тому дані цих робіт не відображають
властивостей чистого селену.
Від
цих робіт вигідно відрізняються
роботи Екарта [60],
який
застосував для очистки селену вакуумну
фракційну багаторазову дистиляцію
і одержав селен надзвичайно висо-
1
Тплаб
7
\
\
\
\
\
\
1.5
2.0 2.5 ЗЮ'3
Рис.
35.
Графік
температурної залежності
електропровідності селену (у вакуумі),
очищеного багаторазовою фракційною
дистиляцією (за Екартом)."
г4г
кої
чистоти. Його установка для очистки
селену зображена на рис. 34.
Вона
складається з трьох частин: дистиляційної
колби 10,
колони
9,
дистиляційної
насадки 6.
88
Усі
ці частини, кожна зокрема, підтримувались
при певній температурі автоматичним
регулюванням струму в печах. Установка
зроблена з ієнського скла, з'єднання
гарячих шліфів сухе.
Режим
дистиляції встановлювався по швидкості
падіння крапель селену через сопло
4
і
міг регулюватися температурою верхньої
камери. Продуктивність установки
при швидкості 60
крапель
на хвилину, температурі близько 450°
С і
тиску —
10 мм
рт.
ст. досягала 200
смг
селену
за півтори години. Після п'ятикратної
дистиляції спектральним аналізом можна
було виявити лише сліди бору. У такому
селені після зберігання в апаратурі
довгий час з'являлися домішки.
Виміри
температурної залежності електропровідності
(рис. 35)
чистого
гексагонального селену у вакуумі
показали, що ширина забороненої зони
в середньому дорівнює 2,58
ев
і
є такою ж, як і для розплавленого селену.
Питома провідність сірого кристалічного
селену у високому вакуумі при кімнатній
температурі порядку 10~п
ом~1
•
см~К
На
повітрі провідність цього ж селену
оборотно змінювалась, зростаючи на 5—6
порядків.
Автор вважає, що це зростання спричинене
киснем, який захоплюється селеном.
Можна
сподіватися, що монокристали селену,
очищені до такого ж ступеня чистоти,
як наприклад, германій, виявлять
нові цінні напівпровідникові якості.
Поки що монокристали, вирощені з розплаву
і з пари селену різного ступеня чистоти,
ніякими, особливо позитивними,
властивостями порівняно до полікристалічного
селену
не відзначаються.
Деякі
хімічні
властивості.
За хімічними властивостями селен
подібний до сірки, але менш активний.
Кисень при кімнатній температурі на
нього не діє; при нагріванні селен
утворює сполуки БеО, БеОо та БеОз.
Найбільш стійкою сполукою, яка утворюється
при спалюванні селену в кисні або на
повітрі, є БеОг —
біла
кристалічна речовина з температурою
плавлення 340°
С,
яка сублімує при 315°
С.
БеОг добре розчиняється у воді, утворюючи
селенисту кислоту НгБеОз настільки
активну, що вона здатна розчиняти
навіть золото.
Соляна
і розбавлена сірчана кислоти на селен
не діють; азотна кислота окислює його
до ЭеОг,
а
луги розчиняють з утворенням солей.
З металами селен утворює
�999999999999999991
кЬанцциц
і'
кґ
9999999999999999
селеніди,
з воднем при температурах вище 200°
С утворює
Нг5е. Селеноводень —
це
горючий газ з неприємним запахом гнилої
редьки, дуже отруйний для людей.
Елементарний
селен не отруйний, проте відомі випадки,
коли, попадаючи на поранену шкіру, він
спричинював виразки, які повільно
загоювалися. Усі сполуки селену шкідливі
і небезпечні для людей, тому будь-яка
робота з ним та його сполуками мусить
провадитися в приміщеннях з доброю
вентиляцією і у витяжних шафах. Із
сіркою селен утворює сполуки ЗегБ та
БеБг.
Фізичні
властивості
селену
різних модифікацій подаємо в табл.
11.
Сіра
і червона кристалічні модифікації
селену виявляють фотоелектричну
чутливість. Опір їх під дією світла
істотно зменшується. Енергія активації
носіїв, визначена по фотопровідності
у червоному селені, дорівнює 1,6
ев,
Хі/з=
0,85
мк.
По
Моссу [73]
оптична
енергія активації носіїв фотоструму
визначається величиною кванта енергії,
якому відповідає та довжина хвилі
X'/, >
ПРИ
якш
величина фотопровідності спадає до
половини свого значення в максимумі
(з боку довших хвиль) або останнього
плато на кривій чутливості (див. стор.
131).
Фото-е.
р.
с. в
сірому селені при сильному освітленні
може досягати 1
в,
але
к.
к.
д. селенових фотоелементів не перевищує
0,1
%.
Характерною
особливістю селену є повільне відновлення
порушеного стану рівноваги після
освітлення, тиску, прикладеного сильного
електричного поля —
інерційність
властивостей, що є негативною рисою
селену. Це зв'язано з малою рухливістю
носіїв струму. Термо-е. р.
с.
селену досить велика, дорівнює 600
мкв/град
при
кімнатній температурі і зростає при
підвищенні її.
Технологічно
важливою характеристикою селену, яка
використовується для очистки і при
виготовленні приладів, є температурна
залежність пружності пари селену,
подана в табл.
12.
Застосування
селену.
Попит на селен в народному господарстві
більшості країн великий, а видобуток
його обмежений. Вважають, що річна
світова продукція селену досягає
1000
т.
З
цієї кількості приблизно 45%
витрачається
на виробництво селенових випрямлячів
та фотоелементів. Крім напівпровідникової
промис-
з-
3
ч
«
-
О
я
и
£
а.
а
«
ч
о)
-ся
«ООО)
СО.
а
о
«
II
ї«2
З
а
я
=;
2
м
.2
са
'§
«з
о
а,
о
ю
ті"
8
е.
с
га
я
н
а
>>
о
к
о
* о
З
»
а
о
а.
са
.
к . а
гав
й
5
• Э • «)
в
н
ї
с
« к
Я я
,
<-
со «=Я
_
а.
к
о.
я
"
.5 „
«і
5
5 5 ^„-
СОЕ-СОЕ-Со
см
к
Продовження табл. И
Числові значення величин селену
Властивість
Одиниця виміру
Склоподібного
Червоного кристалічного
Гексагонального
Сховане
тепло плавлення
Теплоємність
при температурі
(15—77)°С
Теплопровідність
Коефіцієнт
лінійного теплового роз-
ширення
при 180°С
Твердість
по мінералогічній шкалі
Твердість
по Брінеллю
Модуль
пружності
Модуль
зсуву
Стискуваність
при />=«100 10+3/сг
.
кал
г
кал
г ■ град кал
см-сек-град
1
град
відн.
один.
кГ
мм2
кГ
мм2
кГ
мм2
V
0,075ч-0,Ю6
(2,93-=-3,28)-Ю-4
37-10-6
498
0,082
(74-18,3)-Ю-4
15,4
0,078
(5,74-5,2)-Ю-4
_І_С
74,09-Ю-6
И
С 17,89-Ю-6
ср.
49-10-6
2
75
5500
660
0,295
Числові значення величин селену
Властивість
Одиниця виміру
Склоподібного
Червоного кристалічного
Гексагонального
Тепло
перетворення в сірий гексаго-
нальний
(виділяється)
Магнітна
сприйнятливість
Діелектрична
стала (кімнатна темпе-
ратура)
Електропровідність
Зміна
опору при всебічному стиску-
ванні
в 1000 атм
Ефективна
рухливість носіїв при
300°К
Ширина
забороненої зони ....
Показник
заломлення
Довгохвильова
границя основної
смуги поглинання
при 298°К
кал
г
од.
СйБ
мк
13,5
при
130°С 16,4
при
217°
-1,3
-6,30
при
■10)
Мгц
■ю-13
«„=(4,7—5,5)-10"
ир
=0,1—
0,2
2,31—(4,б4-8,8)Х
Х10-4ГС
3,13
при
Х=0,5 мк
2,56
при
Х=0,9 мк
2,45
при
Х=3 мк
0,657
2,2
при
150°С —0,5
—0,32
ЗО
и„
^ 1
при
40°С
=
84-10 при
(з домішкою йоду) ,74-1,90
Екартом
[65]
5,97-(40-
190Х
1
2,2за
t
:
!
(
88888888
носіїв
рекомбінувала поблизу струмового
електрода (це забезпечується на механічно
шліфованій поверхні, де швидкість
рекомбінації дуже висока);
3)
поверхня, на якій розміщуються зонди,
повинна бути плоскою, не щербатою і без
поверхневої провідності;
Рис.
101. Прилад для вимірювання питомого
опору кристалів чо-тирьохзондовим
методом:
11—>
чотирьохзондова головка; 2
—
кристал; 3
—
столик-підставка; 4,
5,
6
—
мікрометричні гвинти.
усі
чотири зонди мають контактувати з
поверхнею в точках, які лежать на
одній прямій;
діаметр
контакту зонда з напівпровідником
повинен бути малим, порівнюючи з
віддаллю
між зондами;
границя
між електродами (зондами) і напівпровідником
повинна бути напівсферичною і малою
в діаметрі. Практично чотири зонди
монтуються у вигляді спеціальної
чотирьохзондової головки, подібно до
зображеної на рис. 100.
Віддаль
між зондами звичайно роблять біля 1 мм,
діаметр
зондових дротинок 200 мк;
кінці
зондів заточують електролітичним
травленням до діаметра заокруглення
кінця 10—15 мк.
Виготовляють
зонди переважно
з
вольфраму, а головку з якогось хорошого
ізоляційного1
матеріалу,
наприклад, плексигласу, ескапону,
ебоніту.
Головку
закріплюють в тримачі з мікрометричним
гвинтом, за допомогою якого встановлюють
зонди на площині зрізу кристала та
переміщують її, коли це потрібно, по
вертикалі.
Можна
чотирьохзондову головку закріпити
нерухо-
мо, а переміщувати кристал.
Конструкція такого типу,
здійснена
В. 1. Чаловим,
зображена на рис.
101
та 100.
Кристал
2
закріплюється
на спеціальному столику-підставці 3,
з'єднаному
з трьома мікрометричними гвинтами
4,
5, 6. Вони
дають можливість переміщувати
кристал відносно нерухомої головки
1
у
трьох взаємно перпендикулярних
напрямах.
Вальдес
встановив, що величина струму, який
протікає через струмові зонди, впливає
на вимірюваний опір германію у
тим
більшій мірі, чим менша віддаль між
зондами.
На
рис. 102 наведена залежність зміни
питомого Опору в Др % від сили струму
через зовнішні зонди при віддалі
між зондами приблизно 1 мм;
оптимальною
є сила струму 1 ма.
Виміри
можна провадити як на п-
так
і р-матеріалі з питомим опором від 0,001
до 50 ом
- см і
більше. Цим методом можна поміряти
питомий опір матеріалу по обидва боки
від р — п-переходу, не розрізаючи кристал
на частини.
Метод
чотирьох зондів можна застосовувати
і тоді, коли доводиться зонди розміщувати
поблизу границі напівпровідника з
металом або ізолятором, тобто поблизу
провідної чи непровідної границі або
на тонкій платівці. В цих випадках
формула (52) для обчислень р
ускладнюється.
В неї слід вводити множником відповідні
поправочні функції/,, обчислені для
різних випадків розташування зондів
на поверхні, а саме:
Р
= Ро//(т).
де
р0-—питомий
опір зразка, обчислений за формулою
(52);
/і
—
множник, який є функцією віддалі / зондів
від границі (або товщини платівки ш) і
віддалі я між зондами.
//:
0.95
0.9 0,85
""0,75
0,7
065
3. Лінія
дотику зондів перпендикулярна до
провідної
границі (рис. 105,о)
Р
=
Ро/з
(у).
/
— віддаль
до провідної границі від найближчого
зонда. Графік функції /з зображений на
рис. 105,6.
4. Лінія
дотику зондів паралельна до провідної
гра-
ниці (рис. 106,о)
р
=
РоЛ
(т)
•
Графік
функції ¡4
подано
на рис. 106,6.
5. При
вимірюванні р
на
тонких платівках, які ле-
жать на
металічній основі —
добре
провідному шарі,
зонди розташовані
так, як на рис. 107,
108,а
Рис.
103. Графік поправочної функції (і:
а
—
розташування зондів; б
—
графік функції.
Теорія
розглядає шість основних випадків, в
яких вживаються поправочні функції,
відмінні від одиниці.
1. Лінія
дотику зондів до поверхні
перпендикулярна
непровідній границі
(рис. 103,а).
Р
= Ро/і (у) •
Графік
поправочної функції зображено на рис.
103,6. Тут і
віддаль
до непровідної границі від найближчого
зонда.
2. Зонди
паралельні до непровідної границі
(рис.
104,а).
Графік
функції їг^-уі
подано
на рис. 104,6; / — віддаль між границею
і лінією дотику зондів до поверхні.
244
де
и — товщина напівпровідникової
платівки. Графік
функції зображено
на рис. 108,6.
6.
При вимірюванні р на платівках, коли
нижня границя є непровідною
(розташування зондів таке, як у випадку
С5);
хю
—
товщина платівки, віддаль від площини
дотику зондів до непровідної границі
Р
= Ро —Ш
=
РоЛ (7)
■
Графік
функції С-6
подано на рис. 109.
Значення
поправочних функцій /,
для
обчислення
питомого
опору в різних випадках для різних —
або
—
наведені
в табл.
32.
Для
кремнію
чотирьохзондову головку у такому
вигляді, як для германію, застосовувати
не можна. Причина в тому, що на шліфованій
поверхні кремнію завжди існує ізолюючий
поверхневий шар з опором -106
ом,
який
хоч і пробивається електричним розря-
ар
Рис;
104. Графік поправочної функції /2:
а
—
розташування зондів; 6 — графік
функції.
w
ri'-rlL
'-Ух
'<ЙЗ
r
т
а
2
З б
\дна
...Слабко
[границя)
Рис.
107. Розташування зондів на платівці
з
нижньою
провідною границею (до обчислення
функції 6\).
0.7
0.5
2,0
0.В
Провід
грант
а
на ІЯ
1
I./S
5
Рис.
105. Графік поправочної функції [з:
а
—
розташування зондів; б —графік функції.
Рис.
108. Графік поправочної функції 6V
а
— розташування зондів; б — графік
функції.
"ПІТ.
/
>
1
/
іровідна
граниш
і
а
/
01
0.2030.4Ц507Í0
2
3 45
7 10 w/s
1.0
0.7]
0.5
0А
^
0J
І
0.2
1.6
12
0.05
ом
003
0.02
0.01
Рис.
106. Графік поправочної функції
а
—
розташування зондів; о
—
графік функції.
20.0
10,0
7.0
Ж
4.0
^3.0 2.0
1.0
Рис.
109. Графік поправочної функції Об:
а
— розташування
зондів; б
— графік
функції.
.ЇМ
л
B7A