3.2. Описание фрагмента

На рис. 3.1 изображен топологический чертеж n‑МОП-транзистора, который на языкеASPописывается следующим текстом:

КОМТ, М(1000) *("Контакт К с металлом MN")

S(10) E(0/0, W1.5, H2) *("Контакт К")

S(5) E(-1.5/-1.5, W4.5, H5) *("Металл MN")

ММЭР, М(1000) *("Пример описания транзистора на языке ASP")

S(4) K(0/0, X10.5, Y14, X0) *("Активная область FN")

S(1) H(2) T(6.5/-1, Y7, X4, Y15) *("Затвор Z")

S(6) T(6.5/-2, Y0) T(4/14, Y16) *("3акрылки PSI")

S(2) H(4) T(6.5/-1, Y7, X4, Y15) *("Область PM")

Р(КОНТ, (2/2) (7/10) ) *("Контакты KONT")

В описании фрагмента первым всегда идет заголовок описания фрагмента. Следующим за ним должны быть операторы масштаба и слоя. Остальные операторы могут следовать в произвольном порядке. Концом описания фрагмента является начало описания следующего фрагмента либо конец файла, т. е. описания фрагментов не могут вкладываться.

Рис. 3.1. n-МОП-транзистор

Заголовок описания фрагмента– имя, являющееся именем фраг­мента, которое используется в операторах ссылки.

Примеры: KONT, NMOP, TRN, TRP, TR1G, SUM.

Оператор масштаба.Масштаб – это целое положительное число, показывающее, во сколько раз размеры топологического чертежа больше размеров соответствующего кристалла. Оператор масштаба может неоднократно присутствовать в описании фрагмента. Его действие распространяется до следующего оператора масштаба либо до конца фрагмента.

Синтаксис: M(масштаб)

Примеры: M(1000) – масштаб 1000:1

M(500) – масштаб 500:1

M(200) – масштаб 200:1

Замечание. Все размеры топологического чертежа даются в миллиметрах. Пусть в ЯОТ задан размер 10 мм. Тогда при M(1000) размер изделия будет 10 мкм,при М(500) – 20 мкм, при М(200) – 50 мкм,

Комментарий.Комментарий не несет никакой топологической информации и может быть использован топологом по своему усмотрению в любом месте.

Синтаксис: *(имя, "Текст комментария")

Примеры: *("Это комментарий")

(NAME, "Фрагмент ТКМ")

В последующих комментариях можно опускать признак комментария «*». Это правило действует до следующего топологического примитива либо конца фрагмента. Текст комментария заключается в кавычки "". В комментариях допускается использовать пробелы, русские буквы и дополнительные специальные символы. Внутри текста комментария кавычки запрещены.

Указатель слоя.Указатель слоя (маски) задает принадлежность всех последующих графических примитивов заданному топологическому слою. Действие указателя слоя распространяется до следующего указателя слоя либо конца фрагмента.

Синтаксис: S(номер слоя)

Номер слоя представляет собой целое положительное число в интервале от 1 до 99.

Примеры: S(5) S(12)

Графические примитивы.Графические примитивы описывают непосредственно топологические фигуры. Каждый графический примитив принадлежит какому-либо топологическому слою. Следовательно, в описании фрагментауказатель слоядолжен предшествоватьлюбому графическому примитиву.Все значения координат в описании графических примитивов задаются числами, использованиепеременных не допускается.В описании графических примитивов может присутствовать имя. Имена не несут какой-либо топологической информации и могут быть использованы для идентификации графического примитива либо для любых других целей.

Экспозиция.Экспозиция (или прямоугольник) – наиболее распространенная топологическая фигура. Экспозиция может быть наклонена на любой угол относительно ее левой нижней точки. Она выводится на графические дисплеи, графопостроители и фотошаблоны. Экспозиция описывается через координаты левой нижней точки, ширину, высоту и угол поворота относительно левой нижней точки.

Синтаксис: E(имя, левая нижняя точка, ширина, высота, угол поворота)

Примеры: E(10/20, W15, H10.5, A45.5)

- левая нижняя точка X=10, Y=20;

- ширина 15, высота 10.5;

- угол поворота 45.5 градуса.

(MAN, 25/30, H10, W5.7)

- левая нижняя точка X=25, Y=30;

- ширина 15.7, высота 10;

- угол поворота 0 градусов.

В последующих экспозициях можно опускать признак экспозиции «E». Это правило действует до следующего типа топологического примитива либо конца фрагмента. Обязательными параметрами в экспозиции являются координаты левой нижней точки, ширина и высота. Если угол поворота равен 0, этот параметр может быть опущен. Первыми в описании экспозиции всегда следуют координаты левой нижней точки. Порядок следования описателей ширины, высоты и угла поворота произволен. При этом ширине должен предшествовать символ «W», высоте – символ «H», углу поворота – «A».

Ширина и высота – положительные числа, не равные нулю. Угол поворота измеряется в градусах и лежит в пределах от 0 до 90. Оператор масштаба на величину угла поворота не действует.

Контур.Контур является основной топологической фигурой. Он выводится на графические дисплеи, графопостроители и фотошаблоны. Контур описывается черев координаты его угловых точек.

Синтаксис: H(имя, ломаная)

Примеры: K(10/10, Х20, 30/20, У40, Х10)

(NAME, 25/15, У-10, Х40, У15)

Замечание. В контуре начальная и конечная точки совпадают. Однако при кодировании контура нет необходимости задавать координаты начальной точки в конце списка координат – замыкание производится автоматически.

В последующих контурах можно опускать признак контура «K», Это правило действует до следующего типа топологического примитива либо конца фрагмента.

Трасса.Трасса является основной топологической фигурой. Трасса выводится на графические дисплеи, графопостроители и фотошаблоны. Важнейшей частью описания трассы являетсяоператор ширины.

Синтаксис: H(ширина трассы)

Пример: H(10.5)

Ширина трассы – это положительное число без знака. Оператор ширины действует на все следующие после него трассы и может встречаться неограниченное количество раз в описании фрагмента.

Трасса описывается черев координаты угловых точек ее осевой линии.

Синтаксис: T(имя, ломаная)

Примеры: H(10.5)

T(10/10, X20, 30/20, Y40)

В последующих трассах можно опускать признак трассы «T», Это правило действует до следующего типа топологического примитива либо конца фрагмента.

Оператор ссылки.Оператор ссылки предназначен для организации ссылок из фрагментов более высокого уровня на фрагменты более низкого уровня.

Синтаксис:

P( имя, (размещение) (размещение) ... (размещение))

или P( имя, размещение)

Размещение: координаты точки привязки, ориентация, параметры матрицирования.

Параметры матрицирования: величина шага и количество шагов вдоль осей «X» и «Y».

Примеры: P(PKA01, (10/20, R2) (50/25.20, Х10/3, У12/2) )

- фрагмент – «РКА01»;

- точка привязки – X=10, Y=20;

- ориентация – R2 и

- фрагмент – «PKA01»

- точка привязки – X=50, Y=25;

- ориентация – Z0;

- матрицирование:

«X»: шаг – 10, количество – 3;

«Y»: шаг – 12, количество – 2

(PKA02, 25/30)

- фрагмент – «PKA02»;

- точка привязки – X=25, y=30;

- ориентация – Z0.

В последующих операторах ссылки можно опускать признак «P». Это правило действует до следующего топологического примитива либо конца фрагмента. Имя в операторе ссылки является обязательным и показывает имя фрагмента, устанавливаемого в данную точку привязки. Если имя сложное, второе имя не несет какой-либо топологической информации и может быть использовано для любых других целей. В одном операторе ссылки можно установить какой‑либо один фрагмент произвольное число раз, при этом каждое размещение заключается в скобки. Если фрагмент устанавливается только один раз, размещение можно не заключать в скобки. В размещении первыми всегда записываются координаты точки привязки, затем ориентация. Последними – параметры матрицирования.

Ориентация показывает отражение либо поворот фрагмента. Имеются следующие типы ориентаций:

Z0 – основная ориентация (без отражения или поворота);

Z1 – отражение относительно прямойY=0;

Z2 – отражение относительно прямой Y=X;

Z3 – отражение относительно прямой X=0;

Z4 – отражение относительно прямой Y=-X;

R1 – поворот на 90⁰относительно точки привязки;

R2 – поворот на 180⁰относительно точки привязки;

R3 – поворот на 270⁰относительно точки привязки.

Фрагмент сначала ориентируется, затем матрицируется в соответствии с заданными параметрами и только после этого устанавливается в заданную точку привязки.

Если ориентация опущена, по умолчанию берется Z0. Поворот осуществляется против часовой стрелки. На рис. 3.2 показаны типы ориентаций и вид топологических фигур после преобразования.

Рис. 3.2. Типы ориентаций

Параметры матрицирования показывают величину шага и количество шагов вдоль осейXи Y. Каждому параметру матрицирования должен предшествовать символXлибо Y, в зависимости от того, к какой из осей относится данный параметр. Величина шага – это действительное число, не равное 0. Количество шагов – целое положительное число, большее или равное 1. Если необходимо провести матрицирование только вдоль какой-либо одной оси, параметры матрицирования вдоль другой не указываются. Если мат­ри­цирование не нужно, параметры матрицирования не ука­зы­ва­ют­ся.