Литература

1. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. Учебник для вузов. - М.: Высш. школа. 1982

2. Механические вакуумные насосы /Е.С. Фролов, И.В. Автономова, В.И. Васильев и др. – М.: Машиностроение. 1989

3. Кузнецов В.И. Механические вакуумные насосы. – М.: Госэнергоиздат. 1959

4. Фролов Е.С. Турбомолекулярные вакуум-насосы. – М.: Машиностроение, 1980

Вакуум, мм рт.ст.

1

Механические с масляным уплотнением

двухступенчатые

ДВН одноступенчатые

ДВН двухступенчатые

0³ 10² 10¹ 10⁰ 10^-1 10^-2 10^-3 10^-4 10^-5 10^-6 10^-7 10^-8

Механические с масляным уплотнением

одноступенчатые

Турбомолекулярные (ТВН)

Рис.16. Области действия различных откачных устройств

10