3. Экспериментальная установка
Для записи оже-спектров используется электронный спектрометр с четырехсеточным энергоанализатором задерживающего поля (рис. 3). Принцип работы энергоанализатора рассмотрен в методических указаниях [4]. Электронная пушка, расположенная на оси энергоанализатора формирует электронный пучок диаметром 200 мкм с энергией до 1,5 кэВ.
Рис. 3. Блок-схема экспериментальной установки 1 - энергоанализатор; 2 - коллектор электронов; 3 - электронная пушка; 4 - образец; 5 - сверхвысоковакуумная камера; 6 - система откачки и контроля вакуума; 7 - блок управления электронной пушки; 8 - генератор пилообразного напряжения; 9 - разделительный трансформатор; 10 - генератор переменного напряжения; 11 - двухкоординатный самописец; 12 - удвоитель частоты; 13 - синхронный детектор; 14 - основной усилитель. |
Управление питанием электронной пушки и энергоанализатора осуществляется блоком 7. Энергоанализатор, электронная пушка и образец располагаются в сверхвысоковакуумной камере, в которой поддерживается давление приблизительно 10-7 Па.
На
бланке самописца 11 кривая распределения
электронов записывается в виде
дифференциальной кривой 
.
Для этого на вторую и третью сетки
энергоанализатора, кроме постоянной
составляющей задерживающего напряжения,
подается с генератора преременного
напряжения 10 небольшое по амплитуде
синусоидальное модулирующее напряжение.
После усиления сигнал с коллектора
детектируется с помощью синхронного
детектора 13. Поскольку опорным сигналом
синхронного детектора является сигнал
с частотой в два раза большей, чем частота
напряжения модуляции, то на бланке
самописца региструется первая гармоника
сигнала коллектора, которая пропорциональна
первой производной кривой распределения
электронов по энергии. Подробно с методом
электрического дифференцирования
кривой распределения электронов по
энергии можно ознакомиться в методических
указаниях к лабораторным работам [4].
Литература
1. Davis L.E., MacDonald N.C. et al., Handbook of Auger Electron Spectroscopy, 2nd edition, Physical Electronics inc., Eden Prarie, Minn, 1976.
2. Sommerjai G., Chemistry in Two Dimensions: Surfaces, Cornell University Press, Ithaca, New York, 1981.
3. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха.- М.: Мир, 1987.- 600 с.
4. Физические основы, аппаратура и методы электронной спектроскопии: Метод. указания к лабораторным работам по курсу “Физические основы электронной техники” . Сост. Паршин А.С.- Красноярск: САА, 1993. - 28 с.
5. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности.- М.: Мир, 1989.- 564 с.
6. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок.- М.: Мир, 1989.- 564.
7. Еловиков С.С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: Учеб. пособие.- М.: Изд-во МГУ, 1992.- 94 с.
8. Luth H. Surfaces and Interfaces of Solids, Second Edition, Springer Verlag, Berlin Heidelberg, 1993. - 487 p.