Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Методичка к курсовому проекту.doc
Скачиваний:
9
Добавлен:
25.08.2019
Размер:
579.58 Кб
Скачать

Метод нанесения: иэ

Тисп. = 1270 0 С

Тподл. = 300 0 С

1- 2= 210 – 10000 нм.

Рассчитаем интегральный коэффициент отражения :

min = ; min = = 0,005 = 0,5 %

Расчет зависимостей R1,3 = f() и R1,3 = f() произведем по формуле (2.9 - 2.12), подставив значения: n1 = 1; n2 = 1,38; n3 = 1,65; n2h2 =0/2; 0 = 560 нм.

На основе полученных данных составим таблицы 3.1 и 3.2 и построим график R1,3 = f () (рис. 3.1) и R1,3 = f () ( рис. 3.2 ).

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.1

n2h2

0

/4

/2

3 /4

0

3/2

2

cos2

1

-1

1

-1

1

R1,3

0,06

0,0051

0,06

0,0051

0,06

Т13

0,94

0,9949

Рисунок 3.1

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.2

340

450

560

874

1188

1500

0,82

0,62

/2

0,32

0,23

0,18

cos2

0,42

-0,72

-1

-0,42

0,12

0,42

R1,3

0,044

0,0132

0,0051

0,0221

0,0367

0,044

Рисунок 3.2

Дальнейший расчет конструкцией покрытий ведется в соответствии с изложенной в разделе 2 методикой.

Для выбора оптимального просветляющего покрытия необходимо построить спектральные зависимости энергетического коэффициента отражения R = f () для всех покрытий в единой системе координат (рис. 3.3).

Оптимальным является покрытие, имеющее минимальный коэффициент отражения в заданной области спектра. Выбранное покрытие обозначается по ОСТ 3 – 1901 – 94 и для него составляется технологический процесс нанесения покрытия.

Рисунок 3.3

  1. Методика расчета отражающих покрытий.

    1. Расчет однослойного отражающего покрытия.

Рисунок 4.1

n2h2 = 0 / 4, ( 4.1 )

n 1 < n 2 > n 3 , ( 4.2 )

n п = nв ( 4.3 )

Формулы (4.1 – 4.3) являются условиями идеального отражающего слоя, где:

  • n 1 - показатель преломления окружающей среды;

  • n 2 - показатель преломления пленки;

  • n 3 - показатель преломления подложки;

  • n в – показатель преломления пленкообразующего

материала (с n высоким)

  • h2 - толщина просветляющего слоя;

  • 0 – заданная рабочая длина волны.

Интегральный коэффициент отражения рассчитывается по формуле Френеля:

min = ( 4.4 )

Энергетический коэффициент отражения системы воздух – пленка – подложка R1,3 вычисляется по формуле (4.8);

, ( 4.5 )

, ( 4.6 )

, ( 4.7 )

R1,3 = |r1,3|2 , ( 4.8 )

где = ( 4.9 )

При 0 =  =