7.2 Пьезорезисторные акселерометры
Акселерометр АНЭ 211 – пьезорезистивный акселерометр с воздушным демпфированием. Чувствительный элемент выполнен в виде полного моста методом травления на кремниевой мембране. Такая схема обеспечивает возможность измерения постоянных ускорений одного направления. Имеет универсальное крепление: клеевое или при помощи шпильки М5. Предназначен для измерения вибрационных и ударных ускорений в широком диапазоне частот.
Технические данные Таблица 3
|
|
АНЭ 211 |
АНЭ 211-01 |
АНЭ 211-02 |
АНЭ 211-03 |
|
Коэффициент преобразования по напряжению, мВ/g*В |
0,6 |
0,3 |
0,1 |
0,06 |
|
Частотный диапазон, Гц |
0 ... 2000 |
0 ... 2000 |
0 ... 2000 |
0 ... 2000 |
|
Собственная частота, кГц |
4 |
4 |
4 |
4 |
|
Относительный коэффициент поперечного преобразования, не более, % |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
Нелинейность амплитудной характеристики, не более, % |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
Физические характеристики |
||||
|
Вид электрической схемы |
мостовая |
|||
|
Тип чувствительного элемента |
Кремниевая мембрана |
|||
|
Масса, (без кабеля), г |
6 |
6 |
6 |
6 |
|
Материал корпуса |
Сплав ВТ1-0 |
|||
|
Соединитель (разъем) |
РС7ТВ |
|||
|
Крепление |
шпилька М5 или клеевое |
|||
|
Защита от внешней среды |
пыле-, влагонепроницаемый корпус |
|||
|
Тип применяемого усилителя |
ВТ-5518 |
|||
|
|
АНЭ 211 |
АНЭ 211-01 |
АНЭ 211-02 |
АНЭ 211-03 |
|
Эксплуатационные характеристики |
||||
|
Рабочий диапазон температур, оС |
-50...+50 |
-50...+50 |
-50...+50 |
-50...+50 |
|
Верхний предел ускорений: вибрация, g удар, g |
250 500 |
500 1000 |
1250 2500 |
2500 5000 |
|
Деформационная чувствительность (250 на установочной плоскости), g/µstr |
0,006 |
0,006 |
0,006 |
0,006 |
|
Электромагнитная чувствительность (50 Гц, 80 А/м), % |
0,00002 |
0,00002 |
0,00002 |
0,00002 |
|
Акустическая чувствительность (6 кПа), % /кПа |
0,05 |
0,05 |
0,05 |
0,05 |
|
+10
% +5 0 -5 -10 0,1 1 10 100 1000 10к Гц |
Рис. 19. Типовая частотная зависимость
|
+10
% +5 0 -5 -10 -50 -25 0 +25 +50 tºC |
Рис. 20. Типовая температурная зависимость