
- •Микроэлектроника
- •1. Основные термины и определения
- •2. Конструктивно-технологические типы интегральных микросхем
- •3 Технологические основы микроэлектроники
- •3.1 Общие сведения о технологии изготовления полупроводниковых микросхем
- •3.2 Эпитаксия
- •3.3. Легирование.
- •3.4. Термическое окисление и свойства пленки диоксида кремния
- •3.5. Травление
- •3.6. Проводники соединений и контакты в полупроводниковых микросхемах
- •3.7. Литография.
- •4.Элементы интегральных схем.
- •4.1. Введение.
- •4.2. Особенности структур биполярных транзисторов
- •4.3. Транзисторы с комбинированной изоляцией
- •4.4. Разновидности n-p-n-транзисторов
- •4.5. Модель интегрального биполярного транзистора
- •4.6. Полевые транзисторы
- •4.7. Интегральные диоды.
- •4.8. Полупроводниковые резисторы.
- •4.9. Конденсаторы и индуктивные элементы
- •Литература
4.5. Модель интегрального биполярного транзистора
На рис. 4.10 приведена модель интегрального транзистора типа n-р-n, аналогичная модели Эберса – Молла дискретного транзистора. Она учитывает, что в структуре интегрального транзистора кроме основного n-р-n транзистора имеется паразитный p-n-p транзистор (см. рис. 3.3).
Диоды VD1 – VD3 моделируют свойства эмиттерного, коллекторного и изолирующего р-n переходов соответственно. Вольт-амперные характеристики этих диодов аппроксимируются формулами
,
,
,
где
,
,
– параметры модели, имеющие смысл
тепловых обратных токов эмиттерного,
коллекторного и изолирующего переходов.
Положительными считаются токи
,
,
,
соответствующие прямым включениям
переходов. Положительные направления
токов во внешних выводах эмиттера, базы,
коллектора и подложки показаны стрелками
на рис. 4.10. Они совпадают с направлениями
токов в активном режиме, как для основного,
так и для паразитного транзисторов.
Напряжения между внешними выводами
эмиттер – база
,
коллектор – база
,
коллектор – подложка
и напряжения на р-п
переходах
,
,
считаются положительными, если
соответствующий переход включен в
прямом направлении.
Взаимодействие
переходов транзистора учитывается
четырьмя генераторами тока. Генератор
тока
,
включенный
параллельно диоду VD2,
учитывает
передачу тока из эмиттера в коллектор,
а генератор тока
– из подложки в коллектор. Здесь
– инверсный коэффициент передачи
паразитного p-n-p
транзистора.
Генератор тока
,
шунтирующий диод VD1,
определяет
передачу тока из коллектора в эмиттер,
а генератор тока
,
включенный параллельно диоду VD3,
–
из
базы в подложку (
– нормальный коэффициент передачи
паразитного транзистора) .
Статические
параметры модели – тепловые обратные
токи переходов и коэффициенты передачи
тока связаны между собой двумя
соотношениями:
=
и
=
.
Таким образом, из семи перечисленных
параметров независимыми являются пять.
Модель
интегрального биполярного транзистора
содержит четыре резистора:
,
,
и
,
учитывающих влияние сопротивлений
полупроводниковых областей эмиттера,
базы, коллектора и подложки соответственно.
Из-за резисторов напряжения на переходах
,
,
отличаются от напряжений между
соответствующими внешними выводами.
Сопротивления перечисленных резисторов
являются параметрами модели. Численно
они могут отличаться от объемных
сопротивлений соответствующих областей
транзистора.
Модель
включает также барьерные и диффузионные
емкости переходов: эмиттерного
,
коллекторного
и изолирующего
,
что позволяет использовать ее для
анализа работы транзистора в импульсном
режиме . Барьерные и диффузионные емкости
зависят от напряжений
,
,
.
Поэтому в модели могут использоваться
усредненные постоянные значения емкостей
– тогда они являются параметрами модели.
Для повышения точности модели могут
производиться различные аппроксимации
зависимостей
и
.
В
этом случае заметно возрастает количество
параметров модели, которые необходимо
измерить. Например, зависимость барьерной
емкости от напряжения на данном переходе
обычно аппроксимируют функцией
,
имеющей три параметра:
– емкость при нулевом напряжении на
переходе;
– контактная разность потенциалов
перехода;
– безразмерный коэффициент, лежащий в
пределах от 1/3 до 1/2. Диффузионные емкости,
существенные лишь при прямых напряжениях
на переходах, представляют функциями
вида
.
Эта модель пригодна для анализа транзистора при большом сигнале, поскольку в ней учитываются нелинейные характеристики элементов (диодов и конденсаторов). Она применяется для расчета импульсных и цифровых микросхем.
Модель
интегрального биполярного транзистора,
представленную на рис. 4.10, можно несколько
упростить, если учесть, что изолирующий
переход всегда смещен в обратном
направлении. Поэтому полагают
и
.
Кроме того, обычно пренебрегают резистором
,
ввиду
малости его сопротивления.
Для
расчета аналоговых микросхем используют
малосигнальные модели транзистора,
соответствующие активному режиму его
работы, когда эмиттерный переход включен
в прямом, а коллекторный – в обратном
направлениях. От моделей для дискретных
транзисторов они отличаются дополнительными
конденсатором
,
учитывающим барьерную емкость изолирующего
перехода, генератором тока утечки этого
перехода и резистором
.