- •2.1. Теория
- •Постоянная составляющая
- •Постоянный наклон
- •Неидеальность сканера, вычитание поверхности второго порядка
- •Шумы аппаратуры
- •Горизонтальные полосы на изображении
- •Линейные фильтры
- •Сглаживание
- •Градиентные фильтры
- •Фильтры резкости (Контрастирующие фильтры)
- •Нелинейные фильтры
- •2.1.4. Количественный анализ СЗМ изображений
- •Построение гистограммы изображения
- •Определение параметров шероховатости поверхности
- •Построение Фурье-спектра изображения
- •2.2. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Задание 1. Планаризация изображения
- •Задание 2. Применение фильтров
- •Задание 3. Преобразование Фурье
- •Задание 4. Фурье-фильтрация
- •2.3. Контрольные вопросы
- •2.4. Литература
- •5. Изготовление зондов для СЗМ методом электрохимического травления
- •5.1. Теория
- •Зонды для туннельных микроскопов
- •Изготовление зондов методом электрохимического травления
- •Изготовление зондов методом перерезывания проволоки
- •Искажения, связанные с формой зонда
- •Устройство заточки зондов для СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II
- •Определение остроты зонда
- •5.2. Задание
- •5.3. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Изготовление заготовки зонда
- •Подготовка к заточке
- •Заточка зонда
- •1-й способ (одноступенчатая заточка)
- •2-й способ (многоступенчатая заточка)
- •Подготовка к измерениям
- •Определение формы резонансного пика
- •Анализ результатов
- •5.4. Контрольные вопросы
- •5.5. Литература
- •6. Исследование поверхности твердых тел методами сканирующей туннельной микроскопии
- •6.1. Теория
- •Принцип работы сканирующего туннельного микроскопа
- •Факторы, влияющие на качество изображения в СТМ
- •Конструкция датчика туннельного тока СЗМ Наноэдюкатор II
- •6.2. Задание
- •6.3. Порядок выполнения работы
- •Подготовка прибора к работе
- •Определение максимального измеряемого тока
- •Определение величины минимального измеряемого тока
- •Получение рельефа поверхности методом постоянного туннельного тока
- •Подготовка к сканированию
- •6.4. Контрольные вопросы
- •6.5. Литература
- •7. Зондовая литография
- •7.1. Теория
- •7.1.1. Физические основы зондовой литографии
- •7.1.2. Виды зондовой литографии
- •7.1.2.1. СТМ литография
- •7.1.2.3. Силовая литография
- •7.2. Задание
- •7.3. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Подготовка к работе
- •Предварительное сканирование
- •Подбор параметров литографии
- •Векторная силовая литография
- •Растровая силовая литография
- •Завершение работы
- •7.4. Контрольные вопросы
- •7.5. Литература
- •8. Калибровка сканеров
- •8.1. Теория
- •Устройство и принцип работы сканера на основе пьезотрубок
- •Сканирование
- •Сканеры с емкостными датчиками положения
- •Обратная связь по осям X и Y
- •8.2. Задание
- •8.3. Проведение лабораторной работы
- •Подготовка образца
- •Подстройка датчиков положения
- •Калибровка сканера
- •Сканирование калибровочной решетки
- •Проверка калибровок
- •Изменение калибровочных параметров
- •Проверка калибровок
- •8.4. Контрольные вопросы
СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие
Шумы аппаратуры
Шумы аппаратуры, нестабильности контакта зонд-образец при сканировании, внешние акустические шумы и вибрации приводят к тому, что СЗМ-изображения,
наряду с полезной информацией, имеют шумовую составляющую. Частично шумы СЗМ-изображений могут быть удалены программными средствами с помощью
применения различных фильтров.
Горизонтальные полосы на изображении
Наличие горизонтальных полос на изображении является характерным искажением СЗМ-изображений. Присутствие таких искажений связано с тем, что
СЗМ-изображения получаются путем построчного сканирования, и время между измерениями в соседних точках одной строки существенно меньше времени между измерениями соседних точек в направлении, перпендикулярном направлению
сканирования.
При удалении горизонтальных полос, несколько (от одной до пяти)
расположенных рядом горизонтальных строк заменяются суперпозицией ближайших соседних строк посредством кубической аппроксимации.
2.1.3.Основные методы фильтрации СЗМ-изображений
Изображение является функцией двух пространственных координат. Обычно изображения, сформированные различными информационными системами, искажаются действием помех. Ослабление действия помех достигается фильтрацией.
При фильтрации значение функции (сигнала) в каждой точке исходного изображения, искаженного помехой, заменяется некоторым другим значением,
которое признается в наименьшей степени искаженным помехой.
Идеология фильтрации основывается на рациональном использовании данных, как из рассматриваемой точки, так и из ее окрестности.
Линейные фильтры
Линейные фильтры основаны на использовании преобразования исходной функции, при котором производится свертка функции с ядром фильтра.
Математически, свертка исходной двумерной функции Z(i,j) c ядром фильтра K(k,l), имеющим размер N×M элементов (где N и M – нечетные), описывается как:
где:
S – сумма элементов ядра, определяемая как |
. |
Z'(i,j) – результирующее изображение, полученное после применения фильтра.
2-6
