Лабораторная работа № 5

5.3.Порядок выполнения лабораторной работы

Изготовление заготовки зонда

Для выполнения лабораторной работы следует подготовить две заготовки, которые в дальнейшем будут заточены разными способами.

Инструменты и материалы:

●Вольфрамовая проволока диаметром 0.15 мм;

●Устройство для изготовления заготовки зонда;

●Ножницы.

Рис. 5-12. Устройство для изготовления заготовки зонда

1. Выпрямите проволоку на длину приблизительно 3 сантиметра;

Рис. 5-13

2.Вставьте проволоку до упора в металлический капилляр со стороны мерной канавки устройства.

Рис. 5-14

5-11

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

3.Загните проволоку на угол приблизительно 180 градусов, прижимая ее пальцем к металлическому капилляру;

Рис. 5-15

4.Вытащите проволоку из капилляра. Отрежьте проволоку кусачками, на расстоянии 13–14 мм от загнутого конца (см. Рис. 5-16).

13 – 14 мм

Рис. 5-16. Заготовка зонда

5. Для формирования угла АВС вставьте проволоку со стороны точки В

(см. Рис. 5-17) в отверстие, расположенное в центре приспособления. Протащите проволоку сквозь отверстие.

5-12

Лабораторная работа № 5

6.Для изготовления зонда вставьте проволоку до упора в устройство со стороны торца без капилляра (Рис. 5-19).

7.Загните проволоку на 90 градусов, прижав ее пальцем к торцу (Рис. 5-20).

Рис. 5-19 Рис. 5-20

Рис. 5-21. Заготовка для зонда

Подготовка к заточке

1.Подготовьте УЗЗ к работе:

a.Подключите УЗЗ к электрической сети.

b.Соедините УЗЗ с компьютером при помощи USB. Убедитесь, что режим травления выключен (голубой индикатор на верхней кнопке не горит).

c.Откройте окно видеокамеры и выберите для отображения изображение с видеокамеры УЗЗ.

2.Приготовьте 5 %-й раствор KOH:

ПРИМЕЧАНИЕ. При выборе концентрации раствора следует иметь ввиду

что, чем меньше концентрация щелочи, тем острее будет зонд, но при этом увеличивается время травления. В данной работе времена будут указаны для 5 % раствора.

a.Насыпьте щелочь в пробирку так, чтобы она занимала объем около 1 мл

(Рис. 5-22).

5-13

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

Рис. 5-22

b.Налейте полную пробирку воды.

c.Закройте пробирку и взболтайте раствор, дождитесь пока щелочь полностью растворится.

3.Налейте раствор в чашку Петри, заполнив ее примерно на 3/4. Установите чашку Петри в выемку на основании УЗЗ как показано на Рис. 5-23.

Рис. 5-23. Чашка Петри установлена в УЗЗ

1 – рычаг, опускающий кольцо; 2 – винт регулировки вертикального положения кольца; 3 – чашка Петри

4.Проверьте, что кольцо, опускаясь, достает до раствора. Для этого опускайте кольцо, вращая винт 2 против часовой стрелки (до щелчка). Затем нажмите на рычаг 1. При необходимости долейте раствор.

5.Вставьте заготовку зонда со стороны точки В (Рис. 5-21) в металлический

держатель, входящий в комплект УЗЗ. Утопите заготовку до упора

(Рис. 5-24).

5-14

Лабораторная работа № 5

Рис. 5-24. Заготовка зонда вставлена в держатель

6. Опустив кольцо, вставьте держатель с заготовкой зонда в гнездо УЗЗ

(Рис. 5-23).

7.Опустите кольцо в раствор, налитый в чашку Петри, нажав на рычаг 1, затем

поднимите кольцо. В результате на кольце должна образоваться пленка раствора. Если пленка лопнула, снова опустите кольцо в раствор.

8.Поднимите кольцо на нужную высоту, поворачивая винт на верхней части УЗЗ по часовой стрелке. Расстояние до кольца (длина зонда) не должно превышать 5–6 мм (Рис. 5-25).

ПРИМЕЧАНИЕ. Видеокамера в СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II расположена таким образом, что при длине зонда более 6 мм кончик зонда не попадает в поле зрения видеокамеры, что затрудняет подвод образца к зонду.

9.Убедитесь, что заготовка зонда не касается кольца. При необходимости поправьте положение заготовки пинцетом. Проверьте, что отсутствует контакт кольца с держателем заготовки.

5 мм

Рис. 5-25. Длина зонда не должна превышать 5–6 мм

10.Если вы хотите наблюдать за процессом травления в видеокамеру,

подключите ее компьютеру при помощи USB-кабеля; в окне видеокамеры выберите для отображении сигнал с видеокамеры УЗЗ. Отрегулируйте положение видеокамеры УЗЗ так, чтобы кольцо было в её поле зрения.

5-15