3. Устройство микроскопа мис-11

Двойной микроскоп МИС-11 предназначен для измерения параметров шероховатости в соответствии с ГОСТ 9847-79 методом светового сечения. Устройство микроскопа показано на рис. 1. По колонке, закрепленной в основании 8 микроскопа, перемещается кронштейн 6 с держателем 9 тубусов проецирующего 1 и наблюдательного 2 микроскопов. Их оси расположены под углом , а биссектриса угла перпендикулярна к контролируемой поверхности. Перемещение кронштейна осуществляется при освобожденном винте кронштейна с помощью гайки 10. В верхней части микроскопа 1 установлен осветитель, а у микроскопа 2 - окулярный винтовой микрометр 7. Для фокусировки микроскопов на контролируемое изделие служит маховик 11 грубой подачи и маховик 12 точной (микрометрической) подачи. С помощью двух микрометрических головок 13 столик 4 с изделием может передвигаться в двух взаимно перпендикулярных направлениях, а также поворачиваться вокруг вертикальной оси и фиксироваться винтом 14.

Рис.1. Двойной микроскоп МИС-11

4. Описание оптической схемы двойного микроскопа мис-11.

Оптическая схема двойного микроскопа Линника указана на рис. 2. Источник 1 с помощью конденсора 3 освещает щель 4 (0,1 х 1 мм). Линзы 6,7 и микрообъектив 9 проектируют щель на изделие. Изображение щели наблюдается в микроскоп, состоящий из микрообъектива 9, линзы 7 и окуляра 10 с измерительным устройством (окулярный винтовой микрометр).

Рис. 2. Оптическая схема двойного микроскопа.

1 – источник света; 2 – защитное стекло; 3 – конденсор; 4 – щель; 5 – фильтр; 6,7 – линзы; 8 – объект контроля; 9 – микрообъективы; 10 – окуляр; 11 – измерительный нож (в приборах теневого свечения)

4. Контроль дефектов поверхностей методом светового сечения

Схема метода контроля дефектов поверхностей методом светового сечения показана на рис. 3. На поверхность изделия проектируется изображение узкой светящейся щели и затем рассматривается в отраженных лучах (обычно под углом к нормали). При наличии неровностей на поверхности изделия в поле зрения прибора наблюдается деформация изображения щелиl, пропорциональная их высоте H.

Рис. 3. Схема контроля методом светового сечения:

а – принцип измерений; б – поле зрения при дефекте в виде ступеньки

К двойному микроскопу МИС-11 прилагаются четыре пары сменных объективов (табл.1), которые не всегда идентичны. Поэтому перед измерениями должна быть определена цена деления круговой шкалы барабана 15 винтового окулярного микрометра 7.

Таблица 1. Характеристики сменных объективов к двойному микроскопу МИС-11.

Параметр объектива	Сменный объектив
	ОС-39	ОС-40	ОС-41	ОС-42
Фокусное расстояние	25	13,89	8,16	4,25
Апертура	0,13	0,3	0,37	0,5
Увеличение, крат	5,9	10,5	18	34,5
Общее увеличение, крат с МОВ-1 х 15	87	157	270	517
Линейное поле зрения, мм	2	1,08	0,67	0,33
Пределы измерения высот неровностей, мкм	6,3–62,5	3,2–18,7	1,6–10	0,8–3,2
Цена деления барабана МОВ при измерении, мкм: - высот неровностей - шагов неровностей	0,821–0,861 1,161–1,218	0,450–0,474 0,636–0,67	0,269–0,285 0,38–0,403	0,139–0,145 0,197–0,205
Допускаемая погрешность, %	7,5 – 13,5	10,5 – 18	13,5 – 21	21 – 24