ЭМИ - Лекции / ЭМИ_Лекции- Вакуумная теника-4-2011

Вакуумные насосы

Рис. П.3 Схема пластинчато-роторного вакуумного насоса

Предельное давление двухступенчатого насоса составляет 10^-3 Па

Рис. П.3 Схема золотникового вакуумного насоса

Предельное давление двухступенчатого насоса составляет 10^-3 Па.

Рис. П.3 Схема эжекторного вакуумного насоса

2 – сопло Лаваля

Предельное давление насоса составляет 10^-5 Па.

Рис. П.3 Схема диффузионного вакуумного насоса

Минеральные масла ВМ 1, ВМ 5. Эти масла имеют давление насыщения Ps = 10 ^{- 6} Па.

Предельное давление насоса составляет 10 ^{- 6} Па.

Рис. П.3 Схемы ионно-сорбционных вакуумных насосов

Ионизация остаточных газов. Хемосорбция на твердой поверхности активного металла.

Предельное давление насоса составляет 10^-8 Па.