2012 Драгунов Микро- и наноэлектроника

3

1 ˜ )

1

)

&

G9 9 9

G9

9 9

& ˜ G9

1 ˜ )

d

G7

& ˜ G9

G[

6

©

ª

©

ª

©

ª

±

©

ª

x

N 7

§

QQ SS

·

N 7

§

1

$

1

·

'M

OQ ¨

¸

OQ ¨

'

¸

T

¨

¸

T

¨

¸

©

QL

¹

©

QL

¹

N ±

T ±

7 ±

QQ SS ±

Q S

QL ±

1

$ 1' ±

x

H

H

§

·

:

¨

¸ 'M

T

©

1

$

1' ¹

:

H H

'M

T

1c 1c

$

'

H ±

H ±

1c

1c

±

$

'

©

ª

9 f 1 / ; M

1

±

/

±

*,'/

*DWH LQGXFHG 'UDLQ /HDNDJH

/''

9

˜ > @˜ / >

@ > @ 9

IE

> @

R[

S ±

9IE |

/''

y

*,'/

( ˜ > @

9 9

/

(

/ ;

O

/''

&

R[

M

9&

±

O/'' ±

/''

/R[ ; M O/''

'1

1

1 ±

&Q

I

9

1 ˜ ) ˜ ˜ & ˜9

˜ ˜ ˜ ˜

&Q

I

I

±

9

&

©

ª

6L *D$V

1c

˜

±

$

1c

˜

±

'

1

$

± 1'

±

/

E

6L2