Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Raschet_osnovnykh_parametrov_poluprovodnikov

.pdf
Скачиваний:
23
Добавлен:
11.03.2016
Размер:
865.99 Кб
Скачать

91,606

сm2

 

 

p min

 

 

 

p max p min

 

 

 

 

V sec

 

 

 

 

 

 

18,003

 

 

3

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

10

N

 

 

 

 

сm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

pref

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Блок решения системы

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

: Find (

 

 

, N

 

 

 

)

 

 

 

 

 

 

 

 

уравнений Given – Find

 

 

 

 

 

 

p

pref

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

pref

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p 0.722

 

Npref

 

 

9.678 10

20 1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

L

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p max p min

 

 

 

 

 

Искомое аппроксимацион-

p (Na ) : p min

 

 

 

 

ное выражение для по-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

движности дырок в GaP в

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

a

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зависимости от концентра-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

pref

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ции акцепторов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

9. Строим графики экспериментальной зависимости и аппроксимацию для T = 300 К (рис. 7).

Рис. 7. Экспериментальная и аппроксимационная зависимости подвижности дырок от концентрации акцепторов в GaP при темпера-

туре 300 К 21

Пример 4. Корректировка температурной зависимости подвижности дырок в Si для заданной концентрации акцепторной примеси

(Na1).

Пусть задана концентрация акцепторной примеси Na1 2 1017 см 3 , для которой нет экспериментальной зависимости p (T ). Имеется экспе-

риментальная зависимость (см. рис. 2) для образца Si с близкой концен-

трацией примесей

 

Na 2.4 1016

 

см 3 ; Nd 2.3 1015 см 3 .

 

Полученная

ранее длянеетемпературная зависимость имеетвид

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T

 

 

bb

 

сm

2

 

, где aa

 

 

 

 

7

 

 

 

μ

 

(Т) : aa

 

 

 

 

 

 

 

 

1.848 10

 

.

р

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

K

 

 

 

 

V s

 

 

 

 

 

 

 

1.939

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

bb

 

 

 

 

 

 

 

Определим значение подвижности дырок при T = 300 К и заданной

концентрации акцепторной примеси

Na1 2 1017

см 3

из концентра-

ционной зависимости p (Na ).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p (Na ) : p min

 

p max p min

 

 

 

 

 

 

Na1 2 1017

 

сm 3

 

 

 

 

N

a

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

(Na1) 345.897

 

сm2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V sec

 

 

 

 

 

 

Npref

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

μp (Na1)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

сm2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

aap1 :

 

 

V sec

 

 

 

 

,

 

aap1 : 1.189 107

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T

bbp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

K

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T

 

bbp

сm2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и окончательно μp1(T) : aap1

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V sec

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

K

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

т. е. получено скорректированное аппроксимационное выражение темпера-

турной зависимости подвижности дырок в кремнии именно для заданной

концентрации акцепторной примеси Na1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

22

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4. ТРЕБОВАНИЯ К РАБОТЕ И РЕКОМЕНДАЦИИ ДЛЯ ПОЛЬЗОВАТЕЛЕЙ MathCAD

1. Использовать общепринятые размерности физических величин в

тексте и на графиках, например [см2 / (В с)] или [м2 / (В с)] . Не до-

пускается использование произвольных размерностей, которые автоматически присваивает программа MathCAD, например для подвижно-

сти с2 А кг 1, вместо общепринятой м2 / (В с) .

2.Построенные графики должны полностью соответствовать исходным экспериментальным зависимостям, т.е. иметь такие же шкалы

ичисленные значения, а также название, обозначение трасс и размерностей величин.

3.На аппроксимационные, экспериментальные зависимости и формулы должны быть литературные ссылки (номер из списка литературы в квадратных скобках).

4.Список литературы с использованием библиографических правил обязателен.

5.Все рассчитанные величины должны сравниваться с литературными или Internet-источниками. Допускается расхождение до 10 %.

6.Не переопределять без необходимости используемые величины.

7.Для величин, связанных с электронами, применять в нижнем индексе букву «n», а для дырок – букву «p».

8.Нижний индекс используем для обозначения величин, имеющих много значений, например, для задания диапазона изменения концен-

трации примесей Nd . Нижний индекс переменной величины ставится

через точку, а не с помощью кнопки

панели Матрицы, это эле-

мент матрицы. В случае локальной величины используем обозначение без нижнего индекса, например табличное значение плотности состояний в зоне проводимости при Т = 300 К обозначается как Nc.

9. Графики в программе MathCAD имеют равномерную шкалу и принятую по умолчанию систему единиц СИ, а именно – метр, Вольт, Ампер, секунда, килограмм, Джоуль и т. д.

23

КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ

1. Температурные зависимости удельной электропроводности собственного и примесного полупроводников. Нарисовать в аррениусов-

ских координатах ln ( ) f (1/ T ) .

2.Нарисовать графики температурной зависимости удельной электропроводности ln ( i ) f (1 / T ) для собственного Si и Ge.

3.При каких условиях удельное электрическое сопротивление полупроводника достигает максимального значения при T = 300 К?

4.При каких условиях удельное сопротивление полупроводника будет возрастать при нагревании?

5.Физический смысл ширины запрещенной зоны. Как ее можно экспериментально определить?

6.Чем определяется собственная концентрация носителей заряда

вполупроводнике? В каком полупроводнике собственная концентра-

ция носителей заряда выше, если Eg (Ge) 0.66 эВ, Eg (Si) 1.12 эВ,

Eg (GaAs) 1.44 эВ?

7.К чему на зонной диаграмме Е(х) стремится уровень Ферми в полупроводнике n-типа с ростом температуры?

8.Определить условие, при котором уровень Ферми в собственном полупроводнике не зависит от температуры.

9.Как изменится положение уровня Ферми относительно границ разрешенных зон в примесном полупроводнике при увеличении концентрации примеси?

10.Как образуются в примесном полупроводнике основные носители заряда? Объяснить с использованием зонной энергетической диаграммы Е(х).

11.Как зависит концентрация основных носителей заряда в примесном полупроводнике p-типа от температуры? Нарисовать в аррениу-

совских координатах ln ( p) f (1/ T ) для двух концентраций акцепторной примеси, различающихся, например, в 10 раз.

12.Что такое подвижность носителей заряда, от каких физических параметров она зависит, в какие формулы входит?

13.Что такое коэффициент диффузии носителей заряда? Как он зависит от температуры, в каких единицах измеряется?

14.Какую часть электрического тока переносят дырки в собствен-

ном Si, если подвижность электронов равна 1350 см2В 1с 1, а дырок – 450 см2В 1с 1 ?

24

15.Как изменится удельное электрическое сопротивление полупроводника с концентрацией доноров Nd, если в него добавить равное количество акцепторной примеси Na?

16.Что такое основные и неосновные носители заряда? Как они образуются в примесном полупроводнике p-типа?

17.Определить условия, при которых распределение Ферми– Дирака переходит в распределение Максвелла–Больцмана?

18.Что такое собственная концентрация носителей заряда? Как образуются такие носители?

19.Причины образования диффузионного и дрейфового токов.

20.Как связаны рекомбинационные параметры – диффузионная длина и время жизни носителей заряда?

21.Как образуются носители заряда в полупроводниках p-типа, n-типа и собственном полупроводнике?

22.Нарисовать зонную энергетическую диаграмму E(x) для полупроводника p-типа. Указать расположение носителей заряда и уровня Ферми.

23.Нарисовать зонную энергетическую диаграмму E(x) для полупроводника n-типа. Указать расположение носителей заряда и уровня Ферми.

24.В каком примесном полупроводнике возможна ситуация, когда сопротивление образца p-типа больше сопротивления образца n-типа, если концентрация акцепторов Na превышает концентрацию доноров Nd в 20 раз. Воспользоваться справочной табл. 1.

25

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1.Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника. – М.: Высшая школа, 1991.

2.Гуртов В.А. Физика твердого тела для инженеров: учеб. пособие / В.А. Гуртов, Р.Н. Осауленко; науч. ред. Л.А. Алешина. – М.: Техносфера, 2012.

3.Гуртов В.А. Твердотельная электроника: учеб. пособие. – М.: Техно-

сфера, 2007.

4.Петров К.С. Радиоматериалы, радиокомпоненты и электроника: учеб. пособие – СПБ.: Питер, 2004.

5.Епифанов Г.И. Физика твердого тела: учеб. пособие. – СПб.: Лань,

2011.

6.Маллер Р., Кейминс Т. Элементы интегральных схем. – М.: Мир, 1989.

7.Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие. – М.: Юрайт, 2011.

8.Физические величины. Справочник / А.П. Бабичев, Н.А. Бабушкина, А.М. Братковский и др.; под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейликова. – М.: Энергоатомиздат, 1991.

9.Баранский П.И., Клочков В.П., Потыкевич И.В. Полупроводниковая электроника. Свойства материалов / Справочник. – Киев: Наукова думка, 1975.

10.http://www.matprop.ru/ или http://www.ioffe.ru/ (большая база данных по свойствам полупроводников на английском языке). Фрагмент базы данных на русском языке находится на сервере кафедры КТРС по адресу S:\Дорогой Сергей Викторович\База данных IOFFE\…\semicond\index.htm.

26

Приложение

Основные используемые обозначения

Символ

Физическая величина

Единица

измерения

 

 

A

Коэффициент в температурной зависимости ширины

эВ К 1

 

запрещенной зоны в уравнении (3)

 

B

Коэффициент в температурной зависимости ширины

K

запрещенной зоны в уравнении (3)

 

 

Dn

Коэффициент диффузии электронов

м2 с 1

Dp

Коэффициент диффузии дырок

м2 с 1

EF

Энергия Ферми

эВ

Eg

Ширина запрещенной зоны

эВ

Eg0

Ширина запрещенной зоны при 0 К

эВ

h

Постоянная Планка

Дж·с

k

Постоянная Больцмана

Дж К 1

mdn

Эффективная масса плотности состояний электронов

кг

в зоне проводимости

mdp

Эффективная масса плотности состояний дырок в

кг

валентной зоне

Na

Концентрация акцепторов (фиксированная величина)

м 3

Na

Концентрация акцепторов (переменная величина)

м 3

Nd

Концентрация доноров (фиксированная величина)

м 3

Nd

Концентрация доноров (переменная величина)

м 3

ni

Собственная концентрация носителей заряда в полу-

м 3

проводнике

 

 

nn

Концентрация свободных электронов (основных но-

м 3

сителей заряда) в n-области

 

27

 

 

Окончание таблицы

 

 

 

Символ

Физическая величина

Единица

измерения

 

 

np

Концентрация свободных электронов (неосновных

м 3

носителей заряда) в p-области

NV

Эффективная плотность состояний в валентной зоне

м 3

NС

Эффективная плотность состояний в зоне проводи-

м 3

 

мости

 

pn

Концентрация свободных дырок (неосновных носи-

м 3

телей заряда) в n-области

pp

Концентрация свободных дырок (основных носите-

м 3

лей заряда) в p-области

q

Элементарный заряд электрона

Кл

T

Температура

К

Vdn

Дрейфовая скорость электронов

м с 1

Vth

Тепловая скорость электронов

м с 1

n

Подвижность электронов

м2 В 1 с 1

p

Подвижность дырок

м2 В 1 с 1

i

Удельное электрическое сопротивление собственно-

Ом·м

го полупроводника

 

 

φ

Напряженность электрического поля

В м 1

28

 

ОГЛАВЛЕНИЕ

 

Введение .......................................................................................................

3

1.

Движение носителей заряда в кристалле..............................................

4

2.

Основные формулы и соотношения.......................................................

9

3.

Порядок выполнения работы................................................................

11

4.

Требования к работе и рекомендации для пользователей

 

 

MathCAD................................................................................................

23

5.

Контрольные вопросы...........................................................................

24

Библиографический список ......................................................................

26

Приложение................................................................................................

27

29

РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Методические указания

Редактор Л.Н. Ветчакова

Выпускающий редактор И.П. Брованова Компьютерная верстка Л.А. Веселовская

Налоговая льгота – Общероссийский классификатор продукции Издание соответствует коду 95 3000 ОК 005-93 (ОКП)

___________________________________________________________________________________

Подписано в печать 19.03.2015. Формат 60 × 84 1/16. Бумага офсетная. Тираж 50 экз. Уч.-изд. л. 1,86. Печ. л. 2,0. Изд. № 325/14. Заказ № Цена договорная

___________________________________________________________________________________

Отпечатано в типографии Новосибирского государственного технического университета

630073, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20

30

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]