
Raschet_osnovnykh_parametrov_poluprovodnikov
.pdf
91,606 |
сm2 |
|
|
p min |
|
|
|
p max p min |
|
|
|
|
|||||||||||||||||
V sec |
|
|
|
|
|
|
18,003 |
|
|
3 |
|
p |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
10 |
N |
|
|
|
|
сm |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
pref |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Блок решения системы |
|||||||
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
: Find ( |
|
|
, N |
|
|
|
) |
|
|
|
|
|
|
|
|
уравнений Given – Find |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
p |
pref |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
pref |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
p 0.722 |
|
Npref |
|
|
9.678 10 |
20 1 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
L |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p max p min |
|
|
|
|
|
Искомое аппроксимацион- |
||||||||||||||
p (Na ) : p min |
|
|
|
|
ное выражение для по- |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
|
|
|
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
движности дырок в GaP в |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
a |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
зависимости от концентра- |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
pref |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ции акцепторов |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9. Строим графики экспериментальной зависимости и аппроксимацию для T = 300 К (рис. 7).
Рис. 7. Экспериментальная и аппроксимационная зависимости подвижности дырок от концентрации акцепторов в GaP при темпера-
туре 300 К 21
Пример 4. Корректировка температурной зависимости подвижности дырок в Si для заданной концентрации акцепторной примеси
(Na1).
Пусть задана концентрация акцепторной примеси Na1 2 1017 см 3 , для которой нет экспериментальной зависимости p (T ). Имеется экспе-
риментальная зависимость (см. рис. 2) для образца Si с близкой концен-
трацией примесей |
|
Na 2.4 1016 |
|
см 3 ; Nd 2.3 1015 см 3 . |
|
Полученная |
|||||||||||||||||||||||||||||
ранее длянеетемпературная зависимость имеетвид |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
T |
|
|
bb |
|
сm |
2 |
|
, где aa |
|
|
|
|
7 |
|
|
|
||||||||||||||
μ |
|
(Т) : aa |
|
|
|
|
|
|
|
|
1.848 10 |
|
. |
||||||||||||||||||||||
р |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
K |
|
|
|
|
V s |
|
|
|
|
|
|
|
1.939 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
bb |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
Определим значение подвижности дырок при T = 300 К и заданной |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
концентрации акцепторной примеси |
Na1 2 1017 |
см 3 |
из концентра- |
||||||||||||||||||||||||||||||||
ционной зависимости p (Na ). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
p (Na ) : p min |
|
p max p min |
|
|
|
|
|
|
Na1 2 1017 |
|
сm 3 |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
N |
a |
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
(Na1) 345.897 |
|
сm2 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V sec |
||||||
|
|
|
|
|
|
Npref |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
μp (Na1) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
сm2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
aap1 : |
|
|
V sec |
|
|
|
|
, |
|
aap1 : 1.189 107 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
T |
bbp |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
K |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T |
|
bbp |
сm2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
и окончательно μp1(T) : aap1 |
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
V sec |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
K |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
т. е. получено скорректированное аппроксимационное выражение темпера- |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
турной зависимости подвижности дырок в кремнии именно для заданной |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
концентрации акцепторной примеси Na1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
22 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|

4. ТРЕБОВАНИЯ К РАБОТЕ И РЕКОМЕНДАЦИИ ДЛЯ ПОЛЬЗОВАТЕЛЕЙ MathCAD
1. Использовать общепринятые размерности физических величин в
тексте и на графиках, например [см2 / (В с)] или [м2 / (В с)] . Не до-
пускается использование произвольных размерностей, которые автоматически присваивает программа MathCAD, например для подвижно-
сти с2 А кг 1, вместо общепринятой м2 / (В с) .
2.Построенные графики должны полностью соответствовать исходным экспериментальным зависимостям, т.е. иметь такие же шкалы
ичисленные значения, а также название, обозначение трасс и размерностей величин.
3.На аппроксимационные, экспериментальные зависимости и формулы должны быть литературные ссылки (номер из списка литературы в квадратных скобках).
4.Список литературы с использованием библиографических правил обязателен.
5.Все рассчитанные величины должны сравниваться с литературными или Internet-источниками. Допускается расхождение до 10 %.
6.Не переопределять без необходимости используемые величины.
7.Для величин, связанных с электронами, применять в нижнем индексе букву «n», а для дырок – букву «p».
8.Нижний индекс используем для обозначения величин, имеющих много значений, например, для задания диапазона изменения концен-
трации примесей Nd . Нижний индекс переменной величины ставится
через точку, а не с помощью кнопки |
панели Матрицы, это эле- |
мент матрицы. В случае локальной величины используем обозначение без нижнего индекса, например табличное значение плотности состояний в зоне проводимости при Т = 300 К обозначается как Nc.
9. Графики в программе MathCAD имеют равномерную шкалу и принятую по умолчанию систему единиц СИ, а именно – метр, Вольт, Ампер, секунда, килограмм, Джоуль и т. д.
23
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
1. Температурные зависимости удельной электропроводности собственного и примесного полупроводников. Нарисовать в аррениусов-
ских координатах ln ( ) f (1/ T ) .
2.Нарисовать графики температурной зависимости удельной электропроводности ln ( i ) f (1 / T ) для собственного Si и Ge.
3.При каких условиях удельное электрическое сопротивление полупроводника достигает максимального значения при T = 300 К?
4.При каких условиях удельное сопротивление полупроводника будет возрастать при нагревании?
5.Физический смысл ширины запрещенной зоны. Как ее можно экспериментально определить?
6.Чем определяется собственная концентрация носителей заряда
вполупроводнике? В каком полупроводнике собственная концентра-
ция носителей заряда выше, если Eg (Ge) 0.66 эВ, Eg (Si) 1.12 эВ,
Eg (GaAs) 1.44 эВ?
7.К чему на зонной диаграмме Е(х) стремится уровень Ферми в полупроводнике n-типа с ростом температуры?
8.Определить условие, при котором уровень Ферми в собственном полупроводнике не зависит от температуры.
9.Как изменится положение уровня Ферми относительно границ разрешенных зон в примесном полупроводнике при увеличении концентрации примеси?
10.Как образуются в примесном полупроводнике основные носители заряда? Объяснить с использованием зонной энергетической диаграммы Е(х).
11.Как зависит концентрация основных носителей заряда в примесном полупроводнике p-типа от температуры? Нарисовать в аррениу-
совских координатах ln ( p) f (1/ T ) для двух концентраций акцепторной примеси, различающихся, например, в 10 раз.
12.Что такое подвижность носителей заряда, от каких физических параметров она зависит, в какие формулы входит?
13.Что такое коэффициент диффузии носителей заряда? Как он зависит от температуры, в каких единицах измеряется?
14.Какую часть электрического тока переносят дырки в собствен-
ном Si, если подвижность электронов равна 1350 см2В 1с 1, а дырок – 450 см2В 1с 1 ?
24
15.Как изменится удельное электрическое сопротивление полупроводника с концентрацией доноров Nd, если в него добавить равное количество акцепторной примеси Na?
16.Что такое основные и неосновные носители заряда? Как они образуются в примесном полупроводнике p-типа?
17.Определить условия, при которых распределение Ферми– Дирака переходит в распределение Максвелла–Больцмана?
18.Что такое собственная концентрация носителей заряда? Как образуются такие носители?
19.Причины образования диффузионного и дрейфового токов.
20.Как связаны рекомбинационные параметры – диффузионная длина и время жизни носителей заряда?
21.Как образуются носители заряда в полупроводниках p-типа, n-типа и собственном полупроводнике?
22.Нарисовать зонную энергетическую диаграмму E(x) для полупроводника p-типа. Указать расположение носителей заряда и уровня Ферми.
23.Нарисовать зонную энергетическую диаграмму E(x) для полупроводника n-типа. Указать расположение носителей заряда и уровня Ферми.
24.В каком примесном полупроводнике возможна ситуация, когда сопротивление образца p-типа больше сопротивления образца n-типа, если концентрация акцепторов Na превышает концентрацию доноров Nd в 20 раз. Воспользоваться справочной табл. 1.
25
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника. – М.: Высшая школа, 1991.
2.Гуртов В.А. Физика твердого тела для инженеров: учеб. пособие / В.А. Гуртов, Р.Н. Осауленко; науч. ред. Л.А. Алешина. – М.: Техносфера, 2012.
3.Гуртов В.А. Твердотельная электроника: учеб. пособие. – М.: Техно-
сфера, 2007.
4.Петров К.С. Радиоматериалы, радиокомпоненты и электроника: учеб. пособие – СПБ.: Питер, 2004.
5.Епифанов Г.И. Физика твердого тела: учеб. пособие. – СПб.: Лань,
2011.
6.Маллер Р., Кейминс Т. Элементы интегральных схем. – М.: Мир, 1989.
7.Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие. – М.: Юрайт, 2011.
8.Физические величины. Справочник / А.П. Бабичев, Н.А. Бабушкина, А.М. Братковский и др.; под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейликова. – М.: Энергоатомиздат, 1991.
9.Баранский П.И., Клочков В.П., Потыкевич И.В. Полупроводниковая электроника. Свойства материалов / Справочник. – Киев: Наукова думка, 1975.
10.http://www.matprop.ru/ или http://www.ioffe.ru/ (большая база данных по свойствам полупроводников на английском языке). Фрагмент базы данных на русском языке находится на сервере кафедры КТРС по адресу S:\Дорогой Сергей Викторович\База данных IOFFE\…\semicond\index.htm.
26
Приложение
Основные используемые обозначения
Символ |
Физическая величина |
Единица |
|
измерения |
|||
|
|
||
A |
Коэффициент в температурной зависимости ширины |
эВ К 1 |
|
|
запрещенной зоны в уравнении (3) |
|
|
B |
Коэффициент в температурной зависимости ширины |
K |
|
запрещенной зоны в уравнении (3) |
|||
|
|
||
Dn |
Коэффициент диффузии электронов |
м2 с 1 |
|
Dp |
Коэффициент диффузии дырок |
м2 с 1 |
|
EF |
Энергия Ферми |
эВ |
|
Eg |
Ширина запрещенной зоны |
эВ |
|
Eg0 |
Ширина запрещенной зоны при 0 К |
эВ |
|
h |
Постоянная Планка |
Дж·с |
|
k |
Постоянная Больцмана |
Дж К 1 |
|
mdn |
Эффективная масса плотности состояний электронов |
кг |
|
в зоне проводимости |
|||
mdp |
Эффективная масса плотности состояний дырок в |
кг |
|
валентной зоне |
|||
Na |
Концентрация акцепторов (фиксированная величина) |
м 3 |
|
Na |
Концентрация акцепторов (переменная величина) |
м 3 |
|
Nd |
Концентрация доноров (фиксированная величина) |
м 3 |
|
Nd |
Концентрация доноров (переменная величина) |
м 3 |
|
ni |
Собственная концентрация носителей заряда в полу- |
м 3 |
|
проводнике |
|||
|
|
||
nn |
Концентрация свободных электронов (основных но- |
м 3 |
|
сителей заряда) в n-области |
|||
|
27 |
|
|
Окончание таблицы |
||
|
|
|
|
Символ |
Физическая величина |
Единица |
|
измерения |
|||
|
|
||
np |
Концентрация свободных электронов (неосновных |
м 3 |
|
носителей заряда) в p-области |
|||
NV |
Эффективная плотность состояний в валентной зоне |
м 3 |
|
NС |
Эффективная плотность состояний в зоне проводи- |
м 3 |
|
|
мости |
|
|
pn |
Концентрация свободных дырок (неосновных носи- |
м 3 |
|
телей заряда) в n-области |
|||
pp |
Концентрация свободных дырок (основных носите- |
м 3 |
|
лей заряда) в p-области |
|||
q |
Элементарный заряд электрона |
Кл |
|
T |
Температура |
К |
|
Vdn |
Дрейфовая скорость электронов |
м с 1 |
|
Vth |
Тепловая скорость электронов |
м с 1 |
|
n |
Подвижность электронов |
м2 В 1 с 1 |
|
p |
Подвижность дырок |
м2 В 1 с 1 |
|
i |
Удельное электрическое сопротивление собственно- |
Ом·м |
|
го полупроводника |
|||
|
|
||
φ |
Напряженность электрического поля |
В м 1 |
28
|
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
Введение ....................................................................................................... |
3 |
|
1. |
Движение носителей заряда в кристалле.............................................. |
4 |
2. |
Основные формулы и соотношения....................................................... |
9 |
3. |
Порядок выполнения работы................................................................ |
11 |
4. |
Требования к работе и рекомендации для пользователей |
|
|
MathCAD................................................................................................ |
23 |
5. |
Контрольные вопросы........................................................................... |
24 |
Библиографический список ...................................................................... |
26 |
|
Приложение................................................................................................ |
27 |
29
РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Методические указания
Редактор Л.Н. Ветчакова
Выпускающий редактор И.П. Брованова Компьютерная верстка Л.А. Веселовская
Налоговая льгота – Общероссийский классификатор продукции Издание соответствует коду 95 3000 ОК 005-93 (ОКП)
___________________________________________________________________________________
Подписано в печать 19.03.2015. Формат 60 × 84 1/16. Бумага офсетная. Тираж 50 экз. Уч.-изд. л. 1,86. Печ. л. 2,0. Изд. № 325/14. Заказ № Цена договорная
___________________________________________________________________________________
Отпечатано в типографии Новосибирского государственного технического университета
630073, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20
30