Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ВПЭ.pdf
Скачиваний:
129
Добавлен:
15.02.2016
Размер:
1.53 Mб
Скачать

4.4Движение электронов и ионов в газе

4.4.1Дрейфовое движение электронов и ионов

Электроны в разряде испытывают многочисленные столкновения с атома- ми или молекулами газа. Поскольку столкновения эти носят случайный харак- тер, то в каждом элементарном объёме имеются электроны с различными ско- ростями, разными направлениями движения.

При наличии электрического поля на хаотическое движение заряженных частиц накладывается направленное движение вдоль силовых линий поля.

При этом вследствие столкновений электронов и ионов с атомами газа на- правленное движение происходит с некоторой средней скоростью, зависящей от напряжённости электрического поля. Установим характер этой зависимости. Пусть в некотором объёме движется электрон с хаотической тепловой скоро- стью Ve. Время пробега электрона t составит:

t =

l e

(4.24)

V

 

 

 

e

 

За это время сила электрического поля F = eE сместит электрон на рас- стояние Dx в направлении поля. Столкнувшись затем с атомом газа, электрон изменит направление своего движения. Полагая все направления движения по- сле столкновения равновероятными, можно считать, что после столкновения скорость электрона в направлении поля равна нулю. Тогда величина Dx может быть найдена из уравнения равноускоренного движения:

Dx = a × t 2

2

Выражая ускорение а через силу F и массу электрона m получим:

Dx = e × E × t 2

2 × me

(4.25)

(4.26)

Средняя скорость направленного движения может быть найдена путём де-

ления значения Dx на время пробега t:

 

V = 0,5×

e × l e

× E

(4.27)

 

ex

me × Ve

 

 

 

 

 

Таким образом, скорость направленного движения электронов (скорость дрейфа) пропорциональна напряжённости электрического поля E. Коэффици- ент пропорциональности в уравнении (4.27) называется подвижностью элек- тронов:

be = 0,5×

e × le

(4.28)

me × Ve

 

 

Учитывая зависимость длины пробега от давления газа уравнение для под- вижности можно переписать следующим образом:

85

be = 0,5×

e × l0

×

1

 

(4.29)

me × Ve

p

 

 

 

Полученное выражение является приближённым по ряду причин:

 

Во-первых, вывод проведён для одного электрона с конкретными значе- ниями длины пробега и скоростью теплового хаотического движения. В дейст- вительности электроны имеют различные скорости, различные длины свобод- ного пробега, причём усреднение соответствующих величин не исключает по- грешности, ибо усреднять нужно не Ve и le в отдельности, а их отношение.

Во-вторых, предположение о нулевой начальной скорости дрейфа строго говоря, неверно, так как каждый конкретный электрон имеет после столкнове- ния некоторую составляющую в направлении поля.

В-третьих, вывод проведён в предположении, что электрическое поле не влияет на скорость теплового хаотического движения электронов, что справед- ливо лишь при больших давлениях и малых напряжённостях поля. Строгое ре- шение задачи в общем виде весьма затруднительно, однако некоторые из пере-

численных выше факторов могут быть учтены:

 

 

be

= 0,815 ×

 

 

e × l0

×

1

 

(4.30)

 

me × Ve

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Это уравнение также является приближённым и наиболее хорошо описы-

вает результаты в области средних и больших давлений.

 

Аналогично уравнению подвижности электронов можно получить и урав-

нение подвижности положительных ионов:

 

 

bi

= a ×

 

 

e × l i

 

 

 

 

(4.31)

 

 

mi × Vi

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Подвижность положительных ионов много меньше подвижности электро-

нов. Отношение подвижностей определяется величиной:

 

 

be

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

 

l

 

e

×

 

 

mi

 

 

 

 

 

(4.32)

 

bi

 

 

 

 

me

 

 

 

 

 

 

li

 

 

 

 

 

 

 

4.4.2. Диффузия заряженных частиц в условиях разряда

Диффузионное движение заряженных частиц подчиняется общим законам диффузии, известным из кинетической теории газов и описывается следующи- ми уравнениями:

nx = n × Vx = -D × dndx

(4.33)

dn = D × d 2 n dx dx2

где n - концентрация частиц в элементарном объёме с координатой х;

86

Vx - средняя скорость движения частиц в направлении диффузии; nx - поток диффундирующих частиц;

D - коэффициент диффузии.

Если направленное движение заряженных частиц происходит как под влиянием градиента концентрации, так и электрического поля, то результи- рующая скорость будет равна геометрической сумме скоростей:

V

= -D

 

×

 

1

 

×

dne

- b

 

× E

 

 

ne

 

 

 

ex

 

e

 

 

 

 

dx

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(4.34)

V

= -D

 

 

×

 

1

×

dni

 

+ b

 

× E

 

 

 

 

 

 

ix

i

 

ni

 

 

dx

 

i

 

 

В газовом разряде часто встречается такой случай, когда действие гради- ента концентрации и напряжённости поля взаимно компенсируются. Движение электронов при этом оказывается беспорядочным, скорость направленного движения равна нулю:

- D ×

1

×

dne

- be × E = 0

(4.35)

ne

dx

 

 

 

 

Это уравнение позволяет установить изменение концентрации nе электро- нов при переходе из точки с координатой Х1 и потенциалом U1 в точку с коор-

динатой Х2 и потенциалом U2:

 

-

be

× E × dx =

dne

 

 

 

 

 

 

(4.36)

 

 

ne

 

 

 

 

 

 

 

De

 

 

 

 

 

 

После интегрирования получается:

 

 

be

× (U2 - U1 ) = ln

ne2

 

(4.37)

 

 

ne1

 

De

 

 

 

 

 

или

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

be

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ne2 = ne1 × e

 

 

×(U2 -U1 )

 

 

 

De

 

(4.38)

Для распределения концентраций тех же частиц справедливо распределе-

ние Больцмана:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e×(U2 -U1 )

 

 

 

 

ne2 = ne1 × e

k×Te

 

 

 

 

 

(4.39)

Уравнения (4.38) и (4.39) описывают один и тот же процесс и являются

тождественными. Это позволяет приравнять показатели экспонент:

 

 

be

× (U2 - U1 ) =

 

 

e

× (U2 - U1 )

(4.40)

 

 

k

 

 

 

 

 

De

 

× Te

 

Отсюда вытекает важное соотношение, связывающее величины be и De, характеризующие направленное движение электронов, с температурой Te элек- тронного газа, которая характеризует беспорядочное хаотическое движение:

87

 

be

=

 

e

 

(4.41)

 

D

e

 

k × T

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

Это уравнение носит название соотношения Эйнштейна. Аналогичная

формула может быть записана и для ионов:

 

 

bi

 

=

 

e

 

(4.42)

 

D

i

k × T

 

 

 

 

 

 

 

i

 

В условиях электрического разряда в газах, когда в объёме плазмы нахо- дятся электроны и ионы в равных концентрациях, диффузионное движение за- ряженных частиц имеет специфические особенности. Так как коэффициент диффузии электронов значительно больше, чем у ионов, электроны быстрее достигают стенки и создают избыточный отрицательный заряд, который уско- ряет диффузию ионов и замедляет движение электронов. Уравнения движения соответствующих частиц при этом выглядят следующим образом:

V

= -D

 

×

 

1

 

×

dne

- b

 

× E

 

 

ne

 

 

 

ex

 

e

 

 

 

 

dx

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(4.43)

V

= -D

 

 

×

 

1

×

dni

 

+ b

 

× E

 

 

 

 

 

 

ix

i

 

ni

 

 

dx

 

i

 

 

Процесс накопления избыточного отрицательного заряда на стенке будет продолжаться до тех пор, пока электронный и ионный потоки не выровняются. Поскольку концентрации электронов и ионов равны, то равны должны быть и скорость их направленного движения Vx. Из приведенных выше уравнений можно получить:

 

 

 

× (b

 

+ b

 

) = -D

 

× b

 

×

 

1

×

dn

- D

 

× b

 

×

1

×

dn

(4.44)

 

V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x

 

i

 

e

 

 

e

 

i

 

 

n dx

 

i

 

e

 

n dx

 

или

 

De × bi + Di

× be

 

 

1

 

 

dn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

= -

 

×

×

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(4.45)

 

V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x

 

 

 

bi + be

 

 

 

 

n dx

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Это уравнение соответствует обычному диффузионному, если обозначить

величину:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

De × bi

+ Di

× be

= Da

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(4.46)

 

 

 

bi

+ be

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Da - коэффициент амбиполярной (двуполярной диффузии ).

Так как bi << be, то уравнение для коэффициента амбиполярной диффузии можно упростить:

D

a

=

k

× b

i

× (T

+ T )

(4.47)

 

 

 

e

e

i

 

 

 

 

 

 

 

 

При этом De и Di заменены исходя из соотношения Эйнштейна. В услови- ях неизотермической плазмы, Te >> Ti, тогда:

88

D

a

=

k

 

× b

i

× T

(4.48)

 

 

 

e

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

Анализ

этого выражения

показывает, что коэффициент амбиполярной

диффузии значительно меньше коэффициента диффузии электронов, так как bi << be, но больше коэффициента диффузии ионов, ибо Te >> Ti.

Контрольные вопросы

1.Сформулируйте смысл количественных характеристик столкновений (сечение, коэффициент скорости, Таунсендовский коэффициент).

2.Как можно аналитически описать зависимость сечения процесса от энергии электрона.

3.Какие столкновения являются упругими и от чего зависит доля энергии, теряемой электроном при столкновении.

4.Чем отличаются неупругие столкновения первого и второго рода.

5.Какое излучение называется резонансным.

6.Чем отличаются функции возбуждения при изменении и без изменения

спина.

7.Сформулируйте принцип Франка - Кондона.

8.Объясните вид функции ионизации атомов и молекул электронным уда-

ром.

9.От чего зависит степень термической ионизации газа.

10.Сформулируйте условие возникновения фотоионизации.

11.Как зависит скорость ступенчатого процесса от концентрации электро-

нов.

12.Что такое пеннинговская ионизация.

13.Укажите основные типы процессов образования отрицательных ионов.

14.Какой вид имеют кривые зависимости сечения прилипания электронов от их энергии: а) для порогового процесса, б) для беспорогового процесса.

15.Назовите основные пути рассеяния энергии при электрон - ионной и ион - ионной рекомбинации.

16.Как меняется концентрация электронов во времени в рекомбинационно распадающейся плазме.

17.Как зависит скорость рекомбинации от температуры.

18.В чем особенности рекомбинации заряженных и нейтральных частиц.

19.Как связаны подвижность и коэффициент диффузии электронов и ио-

нов.

20.В чем заключаются особенности амбиполярной диффузии.

89