Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ВПЭ.pdf
Скачиваний:
142
Добавлен:
15.02.2016
Размер:
1.53 Mб
Скачать

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Ивановский государственный химико-технологический университет

В.И. Светцов

ВАКУУМНАЯ И ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

Учебное пособие

Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-

технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники»

Иваново 2003

УДК 621.38

Вакуумная и плазменная электроника: Учеб. пособие / В. И. Светцов;

Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2003. 172 с. ISBN 5-230-01605-1

Учебное пособие «Вакуумная и плазменная электроника» предназначено для студентов специальности 251000 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», изучающих дисциплину «Физическая электроника и электронные приборы» и студентов, обучающихся по направлению 550700 «Электроника и микроэлектроника» при изучении дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника».

Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского государственного химико-технологического университета.

Рецензенты:

кафедра электроники и микроэлектронных систем Ивановского государственного энергетического университета;

кандидат химических наук С.С. Галактионов (Российский химико- технологический университет им. Д.И. Менделеева).

Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-

технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники».

ISBN 5-230-01605-1

ã Ивановский государственный

 

химико-технологический

 

университет, 2003

ПРЕДИСЛОВИЕ

Изучение физики явлений и физических основ работы приборов вакуум- ной и газоразрядной электроники является необходимым элементом подготов- ки инженеров - технологов электронной техники.

Данное пособие предназначено для студентов специальности 251000 "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники", изучающих дисциплину "Физическая электроника и электронные приборы" и студентов, обучающихся по направлению 550700 "Электроника и микроэлектроника" при изучении дисциплины "Вакуумная и плазменная элек- троника". Пособие может быть полезно и для студентов других приборных и технологических специальностей, а так же практических инженеров.

Учебное пособие подготовлено на основе курса лекций, читаемых авто- ром студентам специальности 251000 и направления 550700. Оно включает два основных раздела, каждый из которых сопровождается контрольными вопро-

сами и набором заданий и задач для практических занятий и самостоятельной работы. При подготовке пособия использована учебная и монографическая ли- тература, список которой приведен, а так же периодические издания по элек- тронной технике.

Авторы выражают благодарность Д.И. Балашову за подготовку справоч- ного раздела, рисунков и оформление рукописи.

3