
- •Глава 4. Электрометаллургия кремния и карбида кремния
- •4.1. Свойства кремния и его соединений
- •4.2. Теоретические основы восстановления кремния углеродом
- •4.3. Сортамент кристаллического кремния и качество исходных шихтовых материалов
- •4.4. Технология выплавки кристаллического кремния
- •4.5. Технология производства карбида кремния
Глава 4. Электрометаллургия кремния и карбида кремния
4.1. Свойства кремния и его соединений
Кремний
относится кVIa
группе Периодической системы элементов
Д.И.Менделеева, порядковый номер кремния
14, атомная масса 28,08, конфигурация
электронной оболочки 3s23p2,
проявляет степень окисления 4 (наиболее
устойчивая), 3, 2 и 1. Температура плавления
кремния 1415оС,
температура кипения 3250оС.
Кристаллическая решетка кремния
кубическая, гранецентрированная типа
алмаза (рис. 4.1). Сродство атома кремния
к электрону 1,22 эВ, электроотрицательность
по Полингу 1,8, атомный радиус 0,133 нм,
ионный радиус Si4+
0,040 нм (координационное число 4), ковалентный
радиус 0,1175 нм.
Рис. 4.1. Элементарная гранецентрированная кубическая решетка кремния, параметр
а = 0,54307 нм
В табл. 4.1 приводятся термодинамические константы кремния и некоторых его соединений.
Таблица 4.1. Термодинамические константы кремния и некоторых его соединений
Формула вещества |
∆Н кДж/моль |
∆G кДж/моль |
S Дж/(моль∙K) |
С Дж/(моль∙K) |
Si |
– |
– |
18,84 |
20,06 |
Siгаз |
452,2 |
407,9 |
167,98 |
22,27 |
SiO2(-кварц) |
–911,59 |
–857,49 |
41,89 |
44,47 |
SiОгаз |
–103,42 |
–130,299 |
211,61 |
29,89 |
SiC-куби- ческий |
–66,15 |
–63,768 |
16,62 |
26,88 |
SiC-гексаго- нальный |
–62,81 |
–60,377 |
16,497 |
28,81 |
Кремний плавится с уменьшением объема на 9%. Плотность кремния составляет 2,33 г/см3. В интервале 1687—1973К зависимость плотности от температуры описывается выражением (г/см3):
dSi = 2,49 – 2,722∙10-4 (Т – 1687).
Cистема Si-O (рис. 4.2). Растворимость кислорода в твердом кремнии очень мала, поэтому на диаграмме состояния эта область не показана. Температурная зависимость растворимого кислорода в жидком кремнии имеет вид:
lg[%O]Si = –6975/T + 1,5205.
Изменение
энергии Гиббса реакции растворения
молекулярного кислорода в жидком кремнии
описывается уравнением: ∆G
= –339663 + 69,9Т,
(Дж/моль
О2).
Рис. 4.2. Диаграмма равновесного состояния системы Si–O
Изменение энергии Гиббса реакций образования кремнезема с учетом агрегатного состояния кремния характеризуется следующими уравнениями:
Sіт + O2 = SiO2(т),
∆G
= –883500
–
12,56ТlgТ
+ 218,7Т,
Дж/моль;
Siж + O2 = SiO2(т),
∆G
= –932500
– 12,77ТlgТ
+ 250,3Т,
Дж/моль.
Наиболее стабильной фазой является SiO2 (кварц), tпл = 1726 оС и tкип = 2275оС, кремнезем имеет несколько модификаций, устойчивых в определенных температурных интервалах (табл. 4.2).
Таблица
4.2.
Характеристика основных фазовых
превращений кремнезема при р
= 105
Па (Qп
– теплота фазового превращения)
Превращение |
t, оС |
∆V, % |
–Qп, Дж/моль |
-кварц -кварц |
574 |
+0,80 |
1047 |
-кварц -тридимит |
870 |
+14,70 |
502 |
-тридимит -кристобалит |
1470 |
+14,70 |
837 |
-кристобалит расплав |
1720 |
+12,60 |
1793 |
Превращение кварца при нагреве (охлаждении) сопровождается сравнительно большим изменением объема, приводящим иногда к растрескиванию кварца (кварцита), как компонента шихты, на колошнике ванны печи. Последовательность фазовых переходов кварца представлена на приведенной ниже схеме:
870оС 1470оС 1720оС
-кварц → -тридимит → -кристобалит → расплавленный
кремнезем
574оС
163оС
180-275оС
-кварц -тридимит -кристобалит кремнеземистое
стекло (получается
117оС
при
быстром
-тридимит охлаждении)
Не все модификации кремнезема имеют одинаковое значение для характеристики поведения кварцита при выплавке ферросилиция и других кремнистых ферросплавов.
По скорости модификационных превращений кварца выделяют две группы переходов. К первой группе отнесены протекающие быстро переходы в какой-либо главной форме SiO2, причем в двух направлениях, т.е. энантиотропно. На схеме они указаны вертикальными стрелками с указанием температур. Высокая скорость этих переходов объясняется малыми изменениями параметров решеток. Так, при переходе -кварц -кварц объем увеличивается всего на +0,8%, тогда как переход -кварц -тридимит сопровождается изменением объема на +14,7%.
Вторая группа переходов, протекающих медленно, расположена в горизонтальном ряду вследствие глубокой перестройки кристаллических решеток. Например -кварц может быть расплавлен, находясь в неустойчивом состоянии. При обычных условиях устойчивой формой является -кварц (см. схему), поэтому в природе существует кварц и много разновидностей кварцевых минералов именно в -форме (горный хрусталь, жильный кварц, кварцевые пески, песчаники, кварциты, халцедон, кремень и др.).
Основной кристаллохимической структурной единицей кварца является кремнекислородный тетраэдр [SiО4]4- (рис. 4.3), атом кремния в котором находится в центре тетраэдра и по его вершинам*. Расстояние между атомами кремния и кислорода Si–О равно расстоянии 0,162 нм, а ближайшие атомы кислорода находятся друг от друга на 0,264 нм, угол ОSiO равен 109028/. Заряд тетраэдра равен –4. Тетраэдры [SiО4]4- могут соприкасаться, образуя различные более сложные структурные конфигурации.
Рис.
4.3.
Схема элементарного тетраэдра SiO
Современные
представления о расплавах силикатов.
Бинарные
и более сложные силикаты, по О.А.
Есину,
являются полианионными жидкостями,
представленными набором анионов SiiO
(где z
= 2у
- 4i),
находящихся в химическом равновесии.
На первых стадиях развития О.А.Есиным
учения о расплавленных силикатах
допускалось, что в двой-
___________________
*Тетраэдр [SiO4]4- имеет соразмерность, свойственную золотой пропорции (золотому сечению). В золотом треугольнике >OSiO (рис. 4.3) соотношение длин связей О Si и О О равно 0,6136 нм. Принимая расстояние О О за 1 находим, что отрезок 0,264 нм разделен на две части 0,6136 и 0,3864, а угол ОSiO равен 109028/.
ной
системе МеО–SiО2
как анионы SiiO,
так и ионы О2-
разделены катионными оболочками. Позднее
был обоснован подход к разработке теории
строения силикатов и шлаков, согласно
которому структура расплава определяется
равновесием трех форм атома кислорода:
одно-, двухсвязанного и свободного 2О–
=
Оо
+ О2–
Согласно
полимерной модели два мономера SiO
могут образовывать усложненный аниондимер
по схеме
SiО
+
SiО
= Si2О
+
O2–.
В
соответствии с моделью тример Si3О
при одном самозамыкании отщепляет ион
О2-
по схеме
Si3О
= Si3О
+
О
и становится кольцеобразным. При количественной обработке модели не учитывали изомеры, поэтому О.А. Есин дал трактовку общей модели, включающей всевозможные структуры анионов и их изомерные формы.
Система Si–S. Растворимость серы в твердом кремнии при температуре, близкой к точке плавления, очень низкая и характеризуется следующими данными: при 1573 K – 410-8% (ат), при 1673 K она возрастает до 6∙10-8% (ат). Кремний с серой образует сульфиды SiSгаз и SiS2(газ).
Зависимость изменения энергии Гиббса реакции образования сульфида серы от температуры представлена уравнением:
Siт
+
S2газ
= SiSгаз;
∆G
= –52250
+ 38,36Т;
Пары серы при температуре свыше 900оС взаимодействует с SiC по реакции:
SiС + 4Sгаз = SiS2 + СS2.
Рассмотренные реакции имеют важное значение для интерпретации поведения серы, содержащейся в шихтовых материалах и, прежде всего, в коксе (до 2 %), при выплавке кристаллического кремния, карбида кремния SiС и других кремнистых ферросплавов.
Свойства углерода. Атомный номер углерода 6, атомная масса 12,011. При нормальном давлении углерод не плавится.
Для перехода углерода в жидкое состояние необходимы высокие температуры и давления. Как следует из рис. 4.4. условия равновесия перехода углерода твердое жидкое состояние определяются линией, разграничивающей области 1 и 2. Например, для получения углерода в жидком виде при 3000 K необходимо давление >400 ГПа.
Рис. 4.4. Диаграмма состояния
углерода:
1 – жидкость; 2 – стабильный алмаз; 3 – стабильный графит; 4 – стабильный алмаз и метастабильный графит; 5 – стабильный графит и метастабильный алмаз; 6 – гипотетическая область иных твердых модификаций углерода; 7 – точки, соответствующие условиям прямого превращения графита в алмаз; 8 – области образования алмазов с использованием металлов; 9 – область опытов по образованию алмаза при низком давлении
Система С–О. Взаимодействие углерода и киcлорода при определенных условиях может приводить к образованию СО и СО2. Для реакции 2С + О2 = 2СО константа равновесия имеет вид:
KР
=
,(4.1)
при
аС
= 1, KР
=
.
Температурная
зависимость lgKP
определяется
по уравнению lgKP
=
56324/Т
+
36,89 и ∆G
= –236000 – 168,8Т,
Дж/моль О2.
Для реакции С + О2 = СО2 константа равновесия:
KP
=р,(4.2)
при
аС
= 1, KP
=
lgKP
= 86255/Т
+ 0,184,
∆G
= –394210 – 0,842Т,
Дж/моль
О2.
Монооксид углерода СО может взаимодействовать с кислородом по реакции 2СО + О2 = 2СО2, константа равновесия которой
(4.3)
lgKР = 123520/Т – 41,5,
∆G=
–565000 + 189,86Т,
Дж/моль.
Углерод и диоксид углерода могут взаимодействовать по реакции СО2 + С = 2СО, константа равновесия которой
(4.4)
lgKР= –37330/Т + 38,160,
∆G=
170780 – 174,58, Дж/моль.
На
рис. 4.5. показана зависимость∆G
(Т)
для реакции (4.1) – (4.4).
Рис. 4.5. Зависимость изменения энергии Гиббса от температуры реакций взаимодействия в системе С–О
Анализ
уравнений показывает, что термодинамическая
вероятность протекания реакции (4.3)
уменьшается, а реакции (4.1) увеличивается
с повышением температуры. Изменение
температуры вследствие незначительного
изменения энтропии реакции слабо влияет
на термодинамическую вероятность
протекания реакции (4.2). Прямые ∆G
= f(Т)
на
рис. 4.5 для реакций (4.1), (4.2) и (4.3) пересекаются
в точке, соответствующей температуре
976 K.
В условиях избытка углерода и
при
Т
>1300
K
единственным продуктом взаимодействия
углерода
с кислородом является СО. При избытке
кислорода углерод и
СО
окисляются до СО2.
Система Si–С. Диаграмма состояния системы Si–С представлена на риc. 4.6. Растворимость углерода в твердом кремнии очень низкая, а в жидком состоянии существенно увеличивается. Зависимость [%C] = f(1/T) имеет вид*
[%C] = 3359exp(22147/Т).
В этой системе образуется карбид SiС состава 70%Si и 30% С, который при 2545оС превращается по перитектической реакции.
Рис. 4.6. Диаграмма равновесного состояния системы Si–C
Реакция
взаимодействия твердого кремния
с
углеродом Siт
+ Ст
= SiСт
характеризуется изменением энергии
Гиббса ∆G
= –53510 + 69,5Т,
а для реакции с участием жидкого кремния
Siж + Ст = SiСт
уравнение
изменения энергии Гиббса имеет вид: ∆G
= –100600 + 34,9Т.
Газовая фаза над карбидом SiC
имеет сложный состав, зависящий от
температуры. Так, при 2000 K
газовая фаза содержит, % (объемн.): 86,5
Si;
6,1 SiС2;
7,4 SiС.
Плотность карбида кремния равна 3,22 г/см3.
Удельное электрическое сопротивление карбида кремния при температурах до 1273 K составляет 1,3 Ом∙м. Карбид кремния бесцветен, наличие примесей окрашивают его в зеленый или черный цвет.
_____________________
*Klevan O.S., Engh T.A. INFACON – 7.(1995). P.441-450.