Семестровый план / 5 курс / ССиМИ ИТС-53

Кожевников А.П. Гидропневмопривод оборудования микроэлектроники. Уч. пособие. http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/srs.shtml – М.: МИЭТ 1987, с. 3-23, 28-35, 47-54, 59-66

Блинов И.Г., Никольская Т.Г. Промышленные роботы в микроэлектронике. Уч. пособие. http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/srs.shtml – м.: МИЭТ, 1983, с. 12-24, 32-37, 42-56

№

Содержание

1. 1

Вводная. Материальные потоки при производстве изделий микроэлектроники. Составляющие потоков. Особенности организации материальных потоков при производстве микросхем. Предмет и задачи курса.

Л. 2, с. 3-4, 6-8; Л.4.

2. 2

Общая характеристика процессов и систем автоматического манипулирования изделиями. Стадии манипулирования Оценка степени подготовленности изделия к автоматизированному производству. Требования к средствам манипулирования.

Л.1, с. 14-22; Л.4.

3. 3

Методы и устройства автоматической ориентации изделий. Устройства предварительной ориентации подложек в установках совмещения и экспонирования.

Л.1, с.23-36; Л.4.

4. 4-6

Транспортные устройства и системы автоматических машин и линий. Классификация устройств. Транспортирование п/п пластин при производстве микросхем. Виды систем транспортирования. Требования к транспортирующим устройствам.

Л.1, с.68-86; Л.2 с.5-6, 8-38; Л4.

5. 7-9

Системы загрузки-выгрузки в технологическом оборудовании микроэлектроники. Магазинные, магазинно-бункерные и бункерные загрузочные устройства (ЗУ). Функциональные механизмы ЗУ. Захватные устройства. Вакуумные захваты. Подъемная сила захвата. Шлюзовые загрузочные устройства. Мероприятия по снижению пылевыделения.

Примеры загрузочных устройств в вакуумном плазмохимическом, физико-термическом оборудовании.

Л. 1, с.37-52, 56-58; Л.2, с.39-64; Л.4.

6. 10-12

Промышленные роботы (ПР). Области применения. Классификация ПР. Основные технические показатели. Состав и кинематика. Оценка точности позиционирования. "Чистые" роботы. Мероприятия по снижению пылевыделения при работе ПР.

Л.1, с. 58-60; с.5-24; Л.4.

7. 13

Сервисные системы в гибком автоматизированном производстве. Операционные, межоперационные и межучастковые транспортные и складские системы. Конвейерно-адресные системы. Роботизированные комплексы.

Л.5.

8. 14-16

Приводные устройства технологического оборудования. Электромеханический пневматический, гидравлический и электромагнитный приводы. Приводы точных микроперемещений: магнитострикционный, пьезоэлектрический. Основные показатели (характеристики) приводов. Требования к приводам. Применение.

Л.4, с.3-8, 13-23, 47-55.

9. 17

Заключительная. Л.4.

№

Содержание

1. 1

Расчет вибрационного загрузочного устройства.

Л.5, с.3-12.

2. 2

Расчет механизма поворота в многопозиционном технологическом оборудовании

Л.5, с.13-22.

3. 3

Расчет передач движения в вакуум

Л.5, с. 22-33.

Контрольная работа.

4. 4

Расчет захватных устройств

Л.5, с.33-45; Л.6.

5. 5

Расчет ленточного конвейера с плоским настилом.

Л.5, с.46-53.

6. 6

Расчет элементов гидропривода

Л.4; Л.5, с.54-58.

Контрольная работа.

7. 7,8

Расчет элементов пневмопривода. (5 часов)

Л.5, с.58-63; Л.6.

Контрольная работа.

1. 1

Изучение вибрационного транспортирования.

Описание работы.

2. 2

Изучение конструкции и работы промышленного робота НЦТМ. (5 часов)

Описание работы.

3. 3

Изучение пневматического привода промышленного робота

Описание работы.

4. 4

Изучение пьезоэлектрического привода сборочного миниробота

Описание работы.

№

Темы ЭМИРС

Используемый ПП

СРС 1

Расчет и конструирование механизма поворота в многопозиционном оборудовании.

MS WORD

СРС 2

Расчет передачи движения в вакуум.

MS WORD

СРС 3

Расчет ленточного конвейера с плоским настилом.

MS WORD

СРС 4

Расчет конструирования вибрационных загрузочных устройств.

MS WORD

СРС 5

Расчет элементов гидропривода.

MS WORD

СРС 6

Расчет элементов пневмопривода.

MS WORD

СРС 7

Расчет захватных устройств.

MS WORD