Некоторые модели растровых электронных микроскопов

Растровые электронные микроскопы серии МикроСкан МС-20

Этот микроскоп серии является малогабаритным, полностью компьютеризированным прибором второго поколения и имеет следующие модификации:

• МС20.1 – РЭМ общего применения (базовая модель);

• МС20.2 – РЭМ – микролитограф;

• МС20.3 – измерительный РЭМ для диагностики и количественных измерений параметров микроструктур;

• МС20.4 – РЭМ для катодолюминесценции (КЛ) и КЛ – спектроскопии;

• МС20.5 –РЭМ для измерения линейных размеров;

• МС20.6 - низковакуумный РЭМ для биологии и медицины.

Основные технические характеристики базовой модели

Разрешающая способность в режиме ВЭ	от 5 до 10 нм
Рабочий отрезок	от 5 до 40 мм
Диапазон ускоряющих напряжений	от 0.1 до 30 кВ
Диапазон увеличений	от 10 до 300 000 крат
Диапазон тока пучка	от 1пА до 1мкА
Перемещение объекта	X=±40 мм, Y=±40 мм, Т: от–5 до +60°, R=360°, Z: от8 до 35 мм
Рабочий вакуум в камере обьектов: высоковакуумный режим - низковакуумный режим -	1∙10-5 Торр 1 - 20 Торр
Время получения рабочего вакуума	20 мин
Готовность прибора после смены объекта	5 мин
Потребляемая мощность	220 В(+- 10%), 50/60 Гц, 2 кВА
Водяное охлаждение	2 л/мин, давление: от 0.05 до 0.2 Мпа, температура: 20°±5° С
Размеры главной консоли прибора (a х b х h)	650 х 650 х 850 мм
Масса	200 кг

Требования к персональному компьютеру:

1. РС - РII - 350 (PIII-1000 рекомендуется).

2. Наличие шины ISA.

3. ОС - Win 95, 98, Me.

4. RAM 128 Mb (256 Мб рекомендуется).

5. Video Adapter (SVGA) 8 Mb (16 Мб рекомендуется). Желательна поддержка видеорежима True Color.

Растровыее электронные микроскопы фирмы jeol

• РЭМ JSM-6610. Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы – удобные, простые в управлении, исключительно надежные приборы с компьютерным контролем и превосходными техническими характеристиками.

• РЭМ микроскопы JSM-6510. Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы – удобные, простые в управлении, исключительно надежные.

• Аналитический РЭМ JSM-7001F. Основной особенностью этого растрового электронного микроскопа является электронная пушка на базе катода Шоттки - особой конструкции пушка, "погружённая" в конденсорную линзу

• РЭМ/ФИП высокого разрешения JIB-4500F Multibeam.

• РЭМ/ФИП сверхвысокого разрешения JSM-7500F. Растровый электронный микроскоп высокого разрешения с возможностью анализа углеродных наноматериалов и диэлектрических композитов на их основе без напыления проводящих покрытий на поверхность образца за счёт работы микроскопа в низковольтном режиме.

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения jib-4500f Multibeam фирмы jeol с ионной пушкой для микротравления

Новая простая в эксплуатации система РЭМ/ФИП объединяет в себе ионную оптику и самую популярную в мире колонну РЭМ. РЭМ JIB-4500 Multibeam обеспечивает высокую производительность в различных вариантах применения, от наблюдения образцов до их ионного микротравления.

Система фигурного ионного травления позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствие с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла. Она поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к данным (файлы изображений).

Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки образцов в камеру образцов без нарушения вакуума обеспечивает быструю загрузку образцов через шлюз Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм

Контроль травления в реальном времени. Получение изображения в РЭМ одновременно с процессом ионного травления. Эффективная подготовка образцов тонких фольг оптимальной толщины для просвечивающего электронного микроскопа

Полный набор портов для установки всех видов приставок. Большой столик позволяет проводить травление образцов диаметров до 76 мм. Набор портов для установки различных аналитических приставок, включая энергодисперсионный спектрометр, детектор системы дифракции отраженных электронов и др. Все порты расположены в оптимальных положениях для непрерывной работы со всеми видами приставок.

Выполнение серии последовательных тонких срезов и реконструкция трехмерного изображения. Наблюдение за последовательно выполняемыми тонкими срезами. Реконструкция трехмерных изображений на основе серии тонких срезов

Вспомогательная телекамера для наблюдения за камерой образцов для уточнения перемещений образца эффективна для уточнения взаиморасположения образца по отношению к различным частям камеры образцов, включая систему инжекции газа.

Дружественный, простой в понимании компьютерный интерфейс пользователя. Современный, четко читаемый Графический интерфейс пользователя.

Параметры	Значения
Тип источника электронов	Гексаборид-лантановый катод (LaB6)
Низковакуумный режим	есть
Пространств. разрешение	2,5 нм при 30 кВ ускоряющего
Энергия электронного луча	от 0,3 до 30 кэВ
Увеличение	от 5 до 300 000 крат
Ток луча	1 мкА максимум
Детекторы	Детектор вторичных электронов, детектор отражённых электронов
Аналитические приставки - опции	Система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов
Система вакуумной откачки	2 гетероионных насоса, турбомолекулярный насос, 2 форвакуумных насоса
Система шлюзования	есть
Источник ионов	Жидкометаллический источник ионов галлия
Пространственное разрешение при сканировании ионным пучком	5 нм при 30 кВ ускоряющего
Ускоряющее напряжение ионной пушки	от 1 до 30 кВ
Увеличение при сканировании ионным пучком	30 крат (для широкого поля зрения), от 100 до 300 000 крат
Максимальный ток ионной пушки	30 нА при 30 кВ ускоряющего напряжения
Дополнительное оборудование	Инфракрасная телекамера в камере образцов, система инжекции газа для прецизионного электронности-мулированного напыления под электронным пучком