
- •Введение
- •1. Общие сведения о датчиках физических величин
- •1.1. Основные характеристики датчиков
- •1.2. Классификация датчиков
- •2. Датчики деформации
- •2.1. Принцип действия
- •2.2. Конструкции тензодатчиков и их параметры
- •2.2.1. Конструкции металлических датчиков
- •2.2.2. Конструкции полупроводниковых датчиков
- •2.2.3. Основные параметры тензорезисторов
- •2.2.4. Тензодиоды и тензотранзисторы
- •2.3. Области применения и типы датчиков
- •Контрольные вопросы
- •3. Датчики температуры
- •3.1. Принцип действия
- •3.1.1. Термопары
- •3.1.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.1.3. Термисторы
- •3.1.4. Позисторы
- •3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
- •3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
- •3.2.1. Термопары
- •3.2.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.2.3. Термисторы
- •3.2.4. Позисторы
- •3.3. Области применения и типы датчиков
- •3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
- •Контрольные вопросы
- •4. Твердотельные датчики газов
- •4.1. Принцип действия твердотельных датчиков газов
- •4.1.1. Термокондуктометрические датчики
- •4.1.2. Термохимические (каталитические) ячейки
- •4.1.3. Электрохимическая (топливная) ячейка
- •4.1.4. Полупроводниковые датчики газов
- •4.2. Конструкции и параметры датчиков
- •4.2.1. Термокондуктометрическая измерительная ячейка
- •4.2.2. Термохимическая (каталитическая) ячейка
- •4.2.3. Конструкция и параметры топливных элементов
- •4.2.4. Конструктивные и технологические особенности твердотельных датчиков газов
- •Контрольные вопросы
- •5. Датчики магнитного поля
- •5.1. Принцип действия
- •5.2. Преобразователи Холла
- •5.2.1. Технология изготовления и конструкции
- •5.2.2. Основные параметры и свойства
- •5.2.3. Применение преобразователей Холла
- •5.3. Полупроводниковые магниторезисторы
- •5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
- •5.5. Магнитодиоды
- •5.6. Биполярные магнитотранзисторы
- •Контрольные вопросы
- •6. Оптические датчики
- •6.1. Принцип действия полупроводниковых приемников излучения
- •6.2. Основные характеристики фотоприемников
- •6.3. Фоторезисторы
- •6.3.1. Технология изготовления и конструкция
- •6.3.2. Характеристики и параметры
- •6.4. Фотодиоды
- •6.5. Полупроводниковые фотоэлементы
- •6.6. Фототранзисторы
- •6.7. Датчики ик-излучения
- •Контрольные вопросы
- •7. Датчики влажности
- •7.1. Единицы измерения влажности
- •7.2. Методы измерения влажности
- •7.3. Конденсационные датчики
- •7.4. Психрометрические датчики
- •7.5. Сорбционные датчики влажности
- •7.5.1. Кулонометрические датчики
- •7.5.2. Пьезосорбционные датчики
- •7.5.3. Импедансные датчики
- •Контрольные вопросы
- •8. Датчики микроэлектромеханических систем
- •Контрольные вопросы
- •Заключение
- •Библиографический список
3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
3.2.1. Термопары
Диапазон температур, в котором применима термопара, ограничиваются при низких температурах снижением термоэлектрической способности, а при высоких – опасностью проникновения примесей из внешней среды, испарением одного из компонентов сплава термопары, рекристаллизацией, плавлением и др. В табл. 3.1 указаны рабочие диапазоны температур для термопар основных типов и точность стандартных термопар. Максимальная рабочая температура будет тем ниже, чем тоньше проволока. У термопар типов B, R, S проволока должна быть изолирована от металлического корпуса слоем окиси алюминия для предотвращения диффузии паров металла оболочки в проводники термопары. Если термопара облучается потоком нейтронов, нельзя применять металлы, в которых могут произойти ядерные превращения, например, родий и медь; железо и никель в этих условиях стабильны.
а б в
Рис. 3.1. Элементы, используемые в качестве датчиков
температуры: а – диод; б – транзистор, включенный по схеме диода; в – пара транзисторов, включенных по схеме диода
Спай термопары должен иметь малый объем, чтобы не было неравномерностей температуры в различных точках. Чтобы избежать контакта за пределами измерительных спаев, проволока пропускается через керамические изоляторы, которые должны быть химически инертными и иметь большое сопротивление при высокой температуре.
Таблица 3.1
Основные типы термопар и их технические характеристики
Термопара |
Диапазон температур, ºС |
Термоэдс, мВ |
Погрешность |
Cu -константан, тип Т |
(–270) – 370 |
(-6,258) – +19,027 |
±2 % (–100) – ( –40) ºС ±0,8 % (–40) – 100 ºС ±0,75 % 100 – 350 ºС |
Fe-констан- тан, тип I |
(–210) – 800 |
(–8,096) – 45,498 |
±3 % 0 – 400 ºС ±0,75 % 400 – 800 ºС |
Хромель-алюмель, тип К |
(–270) – 1250 |
(–5,354) – 50,633 |
±3 % 0 – 400 ºС ±0,75 % 400 – 1250 ºС |
Хромель-константан, тип Е |
(–270) – 870 |
(–9,835) – 66,473 |
±3 % 0 – 400 ºС ±0,75 % 400 – 870 ºС |
Платиноро-дий (Rh 10 %) - Pt, тип S |
(–50) – 1500 |
(–0,236) – 15,576 |
±2,5 % 0 – 600 ºС ±0,4 % 600 – 1500 ºС |
Платиноро-дий (Rh 13 %) - Pt, тип R |
(–50) – 1500 |
(–0,226) – 17,445 |
±1,4 % 0 – 538 ºС ±0,25 % 538 – 1500 ºС |
Платиноро-дий (Rh 30 %)- платинородий (Rh 6 % ), тип В |
0 – 1700 |
0 – 12,426 |
±0,5% 870 – 1700 ºС |
Вольфрам-рений(Re 5 %)-вольф-рам-рений (Re 2 %) |
0 – 2760 |
0 – 38,45 |
|
Отечественной промышленностью выпускаются следующие типы термопар: хромель – копель, тип ТХК; хромель – алюмель, тип ТХА; платинородий (10 %) – платина, тип ТПП; платинородий (30 %) – платинородий (6 %), тип ТПР; вольфрам-рений (5 %) – вольфрам-рений (20 %), тип ТВР. Градуировочные таблицы для этих термопар приведены в ГОСТ Р 8.585 – 2001. Рабочий спай термопары может быть открытым или закрытым (защищенным от окружающей среды), что увеличивает тепловую инерционность термопары. Тепловая инерционность термопары определяется постоянной времени, для этого она погружается в воду с температурой, отличной от температуры окружающей среды. Постоянная времени – это время, в течение которого температура термопары изменится на 63 % (в е раз). Постоянная времени промышленных термопар составляет от 5 до 180 с.
Значительно снизить постоянную времени позволяют тонкопленочные термопары, полученные соединением двух пленок разных металлов. Такие термопары бывают двух типов типов: в виде пленок на съемном носителе и в виде матрицы с датчиком, встроенным в тонкий многослойный материал. Толщина металлической фольги, используемой в таких термопарах, составляет около 5 мкм, это объясняет малое значение постоянной времени таких термопар – 10 мс.